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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             Kut@z>SK  
    J(5#fo{Q.g  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 97pfMk1_  
    f2 ?01PM,Q  
    8^pu C  
    wW, n~W  
    超构光栅结构和建模 F):1@.S  
    'd]t@[#  
                                                                            
    +' SG$<Xv  
    J|u_45<  
    VirtualLab Fusion提供: eWr2UXv$  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; r<[G~n  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 BUUc9&f3o  
    ^g=j`f[T  
    光栅周围介质   =J`M}BBx  
    i|xC#hV  
                                                                            
    ub]s>aqy   
    %-L T56T  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 GK[9Cm"v  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 l\37/Z  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ~?Zm3zOCc2  
    fLZ99?J  
    光栅堆栈内部材料 <q`|,mc  
    H`4KhdqR  
                                                                          
    };g<|v*o  
    M9.FtQhK/  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 <m> m"|G  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 A}[x ))r  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 $U"pdf  
    8M,$|\U  
    单柱几何配置 L0qL\>#ejr  
    -Np}<O`./  
                                                                        
    S;tvt/\!Z  
    P1&Irwb`  
    柱子的分布                                                                           x$z>.4  
    _adW>-wQ!d  
    +o]J0Gu  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 GHQm$|3I  
    • 有几种方法可以做到这一点: ) 3ZkKv;zY  
    • 逐个柱子,手动; ;P^}2i[q>[  
    • 一次性定义在等距网格; 0 *]ZC'pm  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 Y+gNi_dE  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 A#gy[.Bb  
    6('CB|ga  
    数值参数设置 !O4)Y M  
    fs2y$HN  
                                                                          
    @xr}(.  
    @[#)zO  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 mOJ-M@ME  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 tlgg~MViS  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 CYdYa|  
    R] l2,0:  
    例1:一维Blazed 超构光栅 U.1&'U*  
    P&Wf.qr{:  
    材料和介质的配 2]Ei4%jo  
    |`d-;pk!%  
                                                                        
    xu@+b~C\  
    see the full Application Use Case 6 )lWuY]e  
    q:m qA$n  
    柱子几何及分布                                                                           x??H%'rP  
       Wu)An  
    +*G<xW :M  
                                                                                     {Hz;*1?$k  
    空间频率数                                                                             A27!I+M  
                                                                               ->W rBO  
    |Ew&.fgz  
    :H/Rhx=  
    j rg B56LL  
    例2:二维光束分离超构光栅 {(Ba  
    Y ^5RM  
    材料和介质的配置                                                                             = cI> {  
    juMHc$d17  
    o97*3W]  
    `82^!7!  
    柱子几何及分布                                                                           ",]A.,  
    A",R2d  
    (R!`Z%  
     
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