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摘要 Kut@z>SK J(5#fo{Q.g 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 97pfMk1_ f2?01PM,Q
8^puC wW,
n~W 超构光栅结构和建模 F):1@.S 'd]t@[#
+' SG$<Xv J|u_45< VirtualLab Fusion提供: eWr2UXv$ Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; r<[G~n Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 BUUc9&f3o ^g=j`f[T 光栅周围介质 =J`M}BBx i|xC#hV
ub]s>aqy %-L
T56T • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 GK[9Cm"v • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 l\37/Z • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ~?Zm3zOCc2 fLZ99?J 光栅堆栈内部材料 <q`|,mc H`4KhdqR
};g<|v*o M9.FtQhK/ • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 <m> m"|G • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 A}[x))r • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 $U"pdf 8M,$|\U 单柱几何配置 L0qL\>#ejr -Np}<O`./
S;tvt/\!Z P1&Irwb` 柱子的分布 x$z>.4 _adW>-wQ!d +o]J0Gu • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 GHQm$|3I • 有几种方法可以做到这一点: )3ZkKv;zY • 逐个柱子,手动; ;P^}2i[q>[ • 一次性定义在等距网格; 0*]ZC'pm • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 Y+gNi_dE • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 A#gy[.Bb 6('CB|ga 数值参数设置 !O4)YM fs2y$HN
@xr}(. @[#)zO • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 mOJ-M@ME • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 tlgg~MViS • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 CYdYa| R]l2,0: 例1:一维Blazed 超构光栅 U.1&'U* P&Wf.qr{: 材料和介质的配置 2]E i4%jo |`d-;pk!%
xu@+b~C\ see the full Application Use Case 6 )lWuY]e q:mqA$n 柱子几何及分布 x??H%'rP Wu)An +*G<xW :M {Hz;*1?$k 空间频率数 A27!I+M ->W rBO |Ew&. fgz :H/Rhx= j rg B56LL 例2:二维光束分离超构光栅 {( Ba Y ^5RM 材料和介质的配置 =cI> { juMHc$d17
o97*3W] `82^!7 ! 柱子几何及分布 " ,]A., A",R2d (R!`Z%
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