切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 771阅读
    • 0回复

    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             [-(^>Y  
    ~WA@YjQ]  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 /^=1]+_!  
    IMM;LC%rD9  
    ! ._q8q\  
    =~:IiK/#  
    超构光栅结构和建模 <H-Nft>O  
    CW1l;uwtU  
                                                                            
    "uH>S+%|b  
    (cj9xROx  
    VirtualLab Fusion提供: 0|e[o"  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布;  +n1!xv]  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 >LBA0ynh {  
    *7Vb([x4;  
    光栅周围介质   J v}  
    [8QK @5[  
                                                                            
    YZ~MByu  
    M`Y^hDl6  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 f:-)S8OJ  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 0U=wGI O  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 g *$2qKm  
    O84]J:b  
    光栅堆栈内部材料 $PJ==N  
    3?o4  
                                                                          
    M5#wz0  
    'lIs`Zc5N  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ZthT('"a  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 ^50dF:V(1  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 217G[YE-  
    7(@xk_Pl  
    单柱几何配置 9E7G%-  
    4  OPY  
                                                                        
    ' i+L  
    GxdAOiq;  
    柱子的分布                                                                           P~ObxY|  
    ;!<}oZp{  
    xXJ*xYn "}  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 Ph3;;,v '  
    • 有几种方法可以做到这一点: _xKn2?d8g  
    • 逐个柱子,手动; $zP5Hzx  
    • 一次性定义在等距网格; MblRdj6  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 =MNp;  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 9c^,v_W@  
    v,<14w  
    数值参数设置 ImN'o4vo  
    REW[`MBQ  
                                                                          
    J&8KIOz14Z  
    wOAR NrPx2  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 fJS:46  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 a=2.Y?  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 Mj@2=c  
    lDL&":t  
    例1:一维Blazed 超构光栅 ]BO:*&O  
    $a_y-lY  
    材料和介质的配 !!C/($  
    Z- feMM  
                                                                        
    y[m,t}gi  
    see the full Application Use Case Qx)b4~F?  
    ` -_!%m/  
    柱子几何及分布                                                                           'rB% a<  
       (=j;rfvP  
    U WT%0t_T  
                                                                                     of B:7  
    空间频率数                                                                             ,@ '^3u  
                                                                               9nR\7!_  
    TUfj\d,  
    ZJ3g,dc  
    A-!e$yz>  
    例2:二维光束分离超构光栅 '|[!I!WB`  
    v~mVf.j1  
    材料和介质的配置                                                                             g~DuK|+  
    Tz1^"tx9  
    B|m)V9A%-  
    s|\)Y*B`  
    柱子几何及分布                                                                           .OdtM X y  
    u`'" =Y_E  
    b1C)@gl!Z  
     
    分享到