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摘要 [-(^>Y ~WA@YjQ] 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 /^=1]+_! IMM;LC%rD9
! ._q8q\ =~:IiK/# 超构光栅结构和建模 <H-Nft>O CW1l;uwtU
"uH>S+%|b (cj9xROx VirtualLab Fusion提供: 0|e[o" Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; +n1!xv] Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 >LBA0ynh
{ *7Vb([x4; 光栅周围介质 Jv} [8QK @5[
YZ~MByu M`Y^hDl 6 • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 f:-)S8OJ • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 0U=wGIO • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 g*$2qKm O84]J:b 光栅堆栈内部材料 $PJ==N 3?o4
M 5#wz0 'lIs`Zc5N • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ZthT('"a • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 ^50dF:V(1 • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 217G[YE- 7(@xk_Pl 单柱几何配置 9E7 G%- 4 OPY
'i+L GxdAOiq; 柱子的分布 P~ObxY| ;!<}oZp{ xXJ*xYn"} • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 Ph3;;,v ' • 有几种方法可以做到这一点: _xKn2 ?d8g • 逐个柱子,手动; $zP5Hzx • 一次性定义在等距网格; MblRdj6 • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 =MNp; • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 9c^ ,v_W@
v,<14w 数值参数设置 ImN'o4vo REW[`MBQ
J&8KIOz14Z wOAR NrPx2 • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 fJS:46 • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 a=2.Y? • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 Mj@2=c lDL&":t 例1:一维Blazed 超构光栅 ]BO:*&O $a_y-lY 材料和介质的配置 !!C/($ Z- feMM
y[m,t}gi see the full Application Use Case Qx)b4~F? `
-_! %m/ 柱子几何及分布 'rB%a< (=j;rfvP UWT%0t_T ofB:7 空间频率数 ,@ '^3u 9nR\7!_ TUfj\d, ZJ3g,dc A-!e$yz> 例2:二维光束分离超构光栅 '|[!I!WB` v~mVf.j1 材料和介质的配置 g~DuK|+ Tz1^"tx9
B|m)V9A%- s|\)Y*B` 柱子几何及分布 .OdtM
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