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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             HIGq%m=-x  
    4ww]9J  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 gx03xPeu  
    Iu~\L0R427  
    FLoNE>q  
    2 nb:)  
    超构光栅结构和建模 S~qZr  
    1[*UYcD  
                                                                            
    Nf3.\eR  
    G>YAJ o  
    VirtualLab Fusion提供: KtS)'jf  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; r4x3$M c  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 iDl;!b&V.  
    zPEg  
    光栅周围介质   Cp^@zw*/  
    +,:^5{9{  
                                                                            
    + SZYg[  
    jNwjK0?  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 d1!i(MaV!  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 DlMe5=n -u  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 .%'(9E  
    V~GWl1#7  
    光栅堆栈内部材料 x?x`oirh  
    " +KJop  
                                                                          
    SUWD]k>PH  
    J" j.'.  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 *O:r7_ Y0  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 yix'rA-T  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 B) $c|dUV  
    I O%6 O  
    单柱几何配置 nfb]VN~(  
    3`O?16O  
                                                                        
    lX:|iB  
    >}~#>Ru  
    柱子的分布                                                                           0Q"u#V Sp  
    2c<&eX8"  
    eLwTaW !C  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 N-lGa@ j  
    • 有几种方法可以做到这一点: ?6Cz[5\  
    • 逐个柱子,手动; ~5ZvOX6L2  
    • 一次性定义在等距网格; Xf =XBoN|  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 W$dn_9W  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。  "SN4*  
    ]!:oYAm  
    数值参数设置 #5sD{:f`  
    qP!eJ6[Nh"  
                                                                          
    Xqp|VbDca  
    yTE%hHH]&[  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 3>zN/ f  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 wI M{pK  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 RO\gax  
    L+B?~_*  
    例1:一维Blazed 超构光栅 p6EDQwlf  
    <0|9Tn2O  
    材料和介质的配 iK;dU2h  
    M"q[p  
                                                                        
    -@^Zq}  
    see the full Application Use Case 78n=nHS  
    \u`)kJ5o1  
    柱子几何及分布                                                                           `Yc _5&"  
       x+? 9C  
    dGZntT 2D  
                                                                                     #Z=tJ  
    空间频率数                                                                             J?)RfK|!  
                                                                               J2GcBzRH  
    7RU}FE  
    OwzJO  
    dN Y"]b  
    例2:二维光束分离超构光栅 'f8(#n=6qP  
    KHKS$D  
    材料和介质的配置                                                                             '2J0>Bla  
    78n}rT%k1  
    BUUf;Vv  
    6XEZ4QP}  
    柱子几何及分布                                                                           ydl jw  
    m(D]qYwh  
    ,zcQS-e2  
     
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