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摘要 HIGq%m=-x 4ww]9J 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 gx03xPeu Iu~\L0R427
FLoNE>q 2nb:) 超构光栅结构和建模 S~qZr 1[*UYcD
Nf3.\eR G>YAJo VirtualLab Fusion提供: KtS)'jf Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; r4x3$M c Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 iDl;!b&V. zPEg 光栅周围介质 Cp^@zw*/ +,:^5{9{
+ SZYg[ jNwjK0? • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 d1!i(MaV! • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 DlMe5=n-u • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 .%'(9E V~GWl1#7 光栅堆栈内部材料 x?x`oirh "+KJop
SUWD]k >PH J" j.'. • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 *O:r7_ Y0 • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 yix'rA -T • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 B)$c|dUV I O%6 O 单柱几何配置 nfb]VN~( 3`O?16O
lX:|iB >}~#>Ru 柱子的分布 0Q"u#V Sp 2c<&eX8" eLwTaW !C • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。
N-lGa@ j • 有几种方法可以做到这一点: ?6Cz[5\ • 逐个柱子,手动; ~5ZvOX6L2 • 一次性定义在等距网格; Xf=XBoN| • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 W$dn_9W • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 "SN4* ]!:oYAm 数值参数设置 #5sD{:f` qP!eJ6[Nh"
Xqp|VbDca yTE%hHH]&[ • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 3>zN/f • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 wI M{pK • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 RO\gax L+B?~_* 例1:一维Blazed 超构光栅 p6EDQwlf <0|9Tn2O 材料和介质的配置 iK;dU2h M"q[ p
-@^Zq} see the full Application Use Case 78n=nHS \u`)kJ5o1 柱子几何及分布 `Yc_5&" x+? 9C dGZntT2D #Z=tJ 空间频率数 J?)RfK|! J2GcBzRH 7RU}FE OwzJO dNY"]b 例2:二维光束分离超构光栅 'f8(#n=6qP KH KS$D 材料和介质的配置 '2J0>Bla 78n}rT%k1
B UUf;Vv 6XEZ4QP} 柱子几何及分布 ydl jw m(D]qYwh ,zcQS-e2
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