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    [技术]用阿贝判据研究显微系统的分辨率 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-08-24
    摘要 O+"ac /r  
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    显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后，像面不会发生干涉，因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 q3S+Y9L  
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    1. 案例 X3B{8qx_>  
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    在VirtualLab Fusion中构建系统 euQ.ArF  
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    1. 系统构建模块 lddp^ #f  
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    2. 组件连接器 4c159wsnQ  
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          Y*LaBxt Q  
    几何光学仿真 S$[k Q|Am  
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    以光线追迹 J4aB Pq`  
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    1. 结果：光线追迹 -]S.<8<$  
    [j9E pi(  
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          =Ho"N`Qy  
    快速物理光学仿真 -<f;l _(  
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    以场追迹 A6"Hk0Hf  
     $_X|, v9  
    1. NA=1.4时的光栅成像 ]}PV"|#K{c  
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    2.  NA=0.75时的光栅成像 +R.N%_  
       Tg ?x3?kw  
    Vpp&|n9^  
    J5yidymrpW  
    3. NA=0.5时的光栅成像 ,mFsM!|  
       ;4#D,zlO^  
    >-)h|w i  
     
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