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摘要 2Eg* Yb 1 "4N%I 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 t]1j4S"pm
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KfpDPwP@ 设计任务 yGl
(Q Lk Ezw(J[).C 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 (3YqM7cqt
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 K$_ Rno" hYRG Ipu5 光栅级次分析模块设置 -N`j` zb| B EM_y:# sXm8KV
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 3\FPW1$i|[
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 LQ4GQ qS*
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 X;ef&n`U0
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 A[L+w9
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 %jEdgD%xV
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 5P_%Vp`B2 衍射分束器表面 O)C
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 "orZje9AC
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5_";EED 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) wWm 1G)
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 yv| |:wZC
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 h,B ]5Of
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 Z\8TpwD2
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 _U)BOE0o m}w~ d / 光栅级次和可编程光栅分析仪 J^[>F{8!n
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 _ +Ww1 f
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 "o&_tB;O
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设计与评估结果 [FLRrTcE
相位功能设计 "l~wzPY)
结构设计 , Zs:e.
TEA评价 _YzItge*
FMM评估 FyY D7E
高度标度（公差） 0-#SvTf>;: oLVy?M%{P 通用设置 B0I(/ 7
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 qPsf`nI7
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 r@L19d )J pk2OZ,14Mj 5D0O.v
纯相位传输设计 ^t4T8ejn P!yE{_%
 `.Z MwA <i34;`)b 结构设计 a$!|) +
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更深的分析 +O
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•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 b||
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•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 ' Ba Ba=
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 e"HA.t[A
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 [#$: X+lw F9(*M P| 使用TEA进行性能评估 W0%c J8~
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d*80eB9P 使用FMM进行性能评估 9^ITP!~e*
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 _bB:1l?V M:V'vme)+ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 e]-bB#-A
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进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 v|Y:'5`V
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