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摘要 /QXs-T}d bepYeT
直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Flujwh@rg =x0"6gTz>
abaQJ| V2s}<uG 设计任务 e#6&uFce o`K^Wy~+k# 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 Uaj` !^l4EL5#
i9\\evJs HCjn9 光栅级次分析模块设置 5d?!<(e6 ah/6;,T "26B4* 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 dI0bTw|s/ (: TGe v
H@2v<e@ %V %#y $l ^Em@6fz[ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Jh&~/ntmm_ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 j,56Lh%1 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 LA+$_U"Jk 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 o?va#/fk RC8)f8n
f1Yv hvWL 衍射分束器表面 YoF\MT]W Jl>at
YZBzv2'\x Xrj(,| 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 {FJX bL'#
[^U; ?b@q5Y
X&9^&U=e FU5LYXCs 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) T^'*_*m 3%[)!zKv
5xMA~I 0c 7TV>6i+7 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 tIxhSI^ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 co<2e#p; 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 )l!J$X+R yp[<9%Fi
d^Zo35X +Q SxYV 光栅级次和可编程光栅分析仪 sd]54&3A &?/N}g@K
,#E3,bu6_4 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 A*\o
c GhG%>U#&a 24H^hN9 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ~j/bCMEf! P\q <d lBlSNDs 设计与评估结果 zj~nnfoys 相位功能设计 J ?ztn 结构设计 "ib K1}- TEA评价 s6uF5]M;2 FMM评估 g[#k.CuP 高度标度(公差) zB#_:(1qK Mvy6"Q: 通用设置 jw/'*e N{1.gS t(J![wB} 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 C1X}3bB 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 !Qv5"_ vF9*tK' 5nM kd/ 纯相位传输设计 9GMH*=3[= %^a]J"Ydi8
y2z{rd "XGD:>Q. 结构设计 tt+>8rxF:; "
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iBl#J Q 更深的分析 vC{h2A •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 WW//heJe- •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 \p5|}<Sr) •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 a$ C2} 0zg 2g!lh
#d7N| 9_ k0H?9Z4k5 使用TEA进行性能评估 4^0d)+Ff J?._/RL8-
1pd 9s8CA 8h*t55 使用FMM进行性能评估 Qo'yS"g<9) 3.Ji5~
O {PW x1t{SQ-C 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 _,DO~L }sf YCz
w?kGi>7E |:./hdcad 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 4F}Pu<; ETM2p1ru0
d2RnQA 2ubmsbt$ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ~V @;(_T 0yn[L3x7
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