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摘要 8xx2+ p*|Ct 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ~Hvf"bvK| ?GGBDql
&Y-jK < i}~U/.P
设计任务 Tz{-L%*# P]H4!}M 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 p5#UH @VnK/5opS
C,,S<=L: 8[x{]l[ 光栅级次分析模块设置 >+Y@rj2 +m1*ou'K jR"ACup( 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ,p6o "- u(g9-O
\'+P5, Ex5LhRe>= 5$c*r$t_RK 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 -~]]%VJP| 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 k.wm{d]J 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 gZ6tbp,X 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ZX0!BS ^TAf+C^Ry
oEsqLh9a| 衍射分束器表面 .Kssc lSD1 14yzGhA
jUB`=d| QVe<Z A8N; 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ,Ofou8C6 F<(?N!C?@
9%DLdc\z; b\C1qM4
xvW# ~T] ~Z5Wwp]a 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) }M &hcw< RIq\IQ_|
z*`nfTw l Ns.{$'ll 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 mf\@vI 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 59k-,lyU, 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
iM"L%6*I^ =6[R,{|C
,m;G:3}48 z/|tsVK 光栅级次和可编程光栅分析仪 V(OD^GU _q`f5*Z[
#<yKG \X? 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 '|nAGkA zI'c 'X1, c6LPqPcN 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 %RXFgm!{f PB!*&T'! 5/i]Jni 设计与评估结果 j\2q2_f 相位功能设计 }c'T]h\S 结构设计 /0 86qB| TEA评价 tFX!s;N[ FMM评估 qoOq47F 高度标度(公差) RNb" O{3 wg|/-q- 通用设置 K(Ak+&[ n(jrK9] ;% 4N@Z 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Sxcp
[g; 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 k9iB-=X?4s E 7"`D\* 9~}.f1z 纯相位传输设计 7z3YzQ=Kg YBQ{/"v%|
E~1"Nh |%fM*F^7/ 结构设计 =VF%Z[Gm -qJO6OM
8Oo16LPD g UA_&_ YfVZ59l4y6 更深的分析 W_h!Puj_ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 y\< |