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摘要 %p&y/^=0I 0bIgOLP 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 /s=veiH ###>0(n
2\T\p<_20 Z`ww[Tbv~ 设计任务 [9NrPm3d )Z['=+s% 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 BIe:7cR% a1_ o
:rjfAe=s yq^Ma 光栅级次分析模块设置 H3ovF +"k?G >V]9<*c 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 1Ax;|.KQH $7i[7S4
/m 7~-~$V be5N{lPT@;
@';.$ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ~#}T| 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 {B6ywTK\` 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 @>V;guJC% 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 y=EVpd F*>#Xr~/
9tVV?Q@) 衍射分束器表面 lmL$0{Yr ]6A wd A
Zzz94` [+xsX*+ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 lCl5#L9 4neO$^i8J
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*kYGXT,f] J.M&Vj: 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) DrC"M*$! t4/ye>P &
mw;4/
/R T&b_*)=S 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 K:~tZ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 =adHP|S 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ftl?x'P% yO!M$aOn/
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:2,NKdD 光栅级次和可编程光栅分析仪 B.~]
7H5"( |g!d[ct]
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G5_\sY! 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 h&}iH TO"Md["GI kV4Oq.E 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ~T-uk hwJ>IQ1 Gsb^gd 设计与评估结果 9:-7.^`P 相位功能设计 @|Yn~PwKs 结构设计 vlE]RB TEA评价 f% )9!qeW FMM评估 *pv<ZF0> 高度标度(公差) A1,q3<<D% DZnqCu"J 通用设置 oZd 3H LCtVM70 HK~SD:d 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 #vga
qe9 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 yGAFQ|+ PM#3N2?|E kROIVO1|` 纯相位传输设计 (tg9"C Ddpcov
F@f4-NR> 6kdbbGO- 结构设计 {tY1$}R Dm5 Uy^F}
$8%"bR;Hu 8B?U\cfa^ >Bf3X&uS 更深的分析 -bHlFNRm •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 c3g`k"3*` •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 dgoAaS2M •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 t(uvc{K* *URT-+'
Z/ jmi QRf>lZP 使用TEA进行性能评估 L6{gwoZf3 1(IZ,*i
7_76X)gIV /YHO"4Z 使用FMM进行性能评估 pa+'0Y]71 _Tor9Tj
6Jb0MX"AVr ka\{?:r,8 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 N\g=9o|Q rD SYR\cg
T[k$ [ \?T9v 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 FrXP"U}Y ,mp<<%{u
iKJqMES ~at@3j}W 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 gI;"P kN g}D)MlXRq
8lYA6A P{6$".kIY VirtualLab Fusion技术 9>S)*lU&s KxX [8
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