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摘要 1]] #HTwX h ; S? 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Spt;m0W90
X 8212[7
 *ci%c^}V
wA?q/cw C 设计任务 -V O* P dId&tTMmC 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 yjj)+eJ(Q
>}'WL($5U
 gzeTBlXg 66%4p%#b4 光栅级次分析模块设置 Tmr %r' i3 z]bcg$m SWPb=[WEz
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 7o4B1YD
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 -/3D0`R
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+[Z cz4\9
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ]B>g~t5J
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 pCt0[R;?
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 v JPX`T|
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 8lfKlXR78
Z z@wbhMV
 cOo@UU P 衍射分束器表面 a<d$P*I(cH
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 =%ZR0cWPoI
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\>n Y%* 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) TDR2){I
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 `;H3['~$
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 cN vh2JI
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 #)
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`6QQS3fk!
 "pW@[2Dkx/ d6ABgQi0 光栅级次和可编程光栅分析仪 ; 6*Ag#Z
F|&=\Q
 G;Thz
光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 AB")aX2% E
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F|{F'UXj|
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 kV:C=MLI
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设计与评估结果 ti} G/*4
相位功能设计 nk^-+o lm
结构设计 $mZpX:7/u8
TEA评价 %5|DdpES
FMM评估 }}MZg m~U)
高度标度（公差） ga+Z6|t U7@)R J 通用设置 5X=ik7m^
h(H b+7g
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 -|x Y T+?%
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 F\( 7B# KuohUH+ ;_<K>r*
纯相位传输设计 8w]>SEGFs JHIXTy__
 z(d X< /a Hx'TG 结构设计 P|{Et=R`1
o YN p0Hc
 <=7N2t)s4
I sna
KcLM
RFzMah?Q=j
更深的分析 wc6v:,&
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 S+Vsy(
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 WA&&*ae5`
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Y\1XKAfB
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 d?_LNSDo J 8"" } 7D 使用TEA进行性能评估 *N|s+
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b/g"ws_ 使用FMM进行性能评估 #v QyECf
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 6a\YD{D] _ ZF sJeF'" 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 "-;l{tL
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 |L"!^Y#=D h]z>H~.<* 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 M$Of.
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_Z| 3qQ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 E?+MM0
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