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摘要 Z!Z{Gm3 Q[aF"5h% 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 D!#B*[| ^i2>Ax&T
Qds:*]vGS K"|~D0Qgo 设计任务 C[hNngb7R 8 a]g>g 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 |(TEG.<g wq,&0P-v
LAM{
,?~ @o*~\E<T 光栅级次分析模块设置 N 3O!8A_ t#8QyN $aB`A$'hK 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Q4*{+$A %Tu(>vnuj
Y:#B0FD,gC 2L[!~h2 Y2tBFeWY 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 p:$kX9mT& 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 #8
^b] 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 <gGO 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 w1(5,~OB 2TQZu3$c
iPY)Ew`Im 衍射分束器表面 Q9h=1G\K Csp$_uDi
| oM` ZZwIB3sNhf 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 :f%kkatO <HTz
ntB#2S aIQC[ry
!>ZBb\EyK ?azLaAG 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ~Ym*QSD {Y=k`t,
0-aaLC~Z> :?= 1aiS 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ahZ@4v 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ]N0B.e~D 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 }.U(Gxu$ n9 FA`e
^_V0irv ;;rx)|\<R 光栅级次和可编程光栅分析仪 {~R?f$}""j C`3XOth
J#4pA{01w 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 \fSruhD $!!y v'K {iq^CHAVK 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 <0hVDk~ '/Vm[L$d nRw.82eK. 设计与评估结果 8'zfq
]g 相位功能设计 Oml3=TV 结构设计 nGK=Nf.5 TEA评价 x*tCm8`{ FMM评估 W> Pcj EI 高度标度(公差) F3$8l[O_ p`Tl)[* 通用设置 5 ';[|f xO%yjG= <nV 3`L&] 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 tQyQ+1 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 |F'eT
4 RtxAIMzh? Dp#27Yzc 纯相位传输设计 %iYro8g!, !Q%r4Nr
CN-4FI)1D9 ;[g~h |{6 结构设计 &`>dY
/Y ,If"4C!w
v$q\3#5|' <; Td8O89_ x
0vW9*& 更深的分析 {- MhhRa5 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ,m7Z w_. •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 $(OL#>9Ly •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 (5y*Btd= c$u#U~~
FcOrA3tt 673G6Nk 使用TEA进行性能评估 UN^M.lqZX +:c}LCI9<
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]^a{?2ei 使用FMM进行性能评估 n4"xVDL G&M)n*o
*>o@EUArN z|S4\Ae 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 chE}`I? K
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v"J|Ebx 3rX8H`R 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 RzLeR%O Av/y
xFp9H'j{ M[R' 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 WS@8Z0@RD y>g`R^^
gJ$m'kC; Ye>+ VirtualLab Fusion技术 J+hifO (1Jc-`
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