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摘要 B!{d-gb "xcX'F^ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 f:*vr['d Sw^X2$h
~AYN a8u9aEB 设计任务 1XG!$4DW ?1L.:CS 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 GWsE; bn
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H? Yw5' 6NU
光栅级次分析模块设置 1}hIW":3Sr T +5X0 Nv kK8itO 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 YDC mI@ 64Lx-avf
qQ\Y/}F jR=s#Xz ,1'4o3 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 6cqP2!~ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 GdB.4s^ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 umz;F 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 f>BWG` V)Z70J<'
\txbhWN 衍射分束器表面 Sxjub&= ~HQ9i%exg
2|\A7. (R`B'OtGg 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 (SSRY 9 5J8r8` t
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zf3v5Hk 5cx#SD&5/ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) <2C7<7{7 +C7 ~b~ %
$R<Me kyR*D1N&) 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ^Rm 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 v}WR+)uFQ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 B|o2K}%f iy""(c
w[P4&?2: $mF_,| 光栅级次和可编程光栅分析仪 ;?C#IU RN=` -*E1
12Y 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 W0I#\b18 Z{?G.L*/ zB yqD$ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 SkU9ON :qC'$dO! X.`~>`8 设计与评估结果 H@]MXP[_ 相位功能设计 <\?wAjc, 结构设计 G
"P4- TEA评价 ybp -$e FMM评估 E*i#?u 高度标度(公差) &/,|+U[ 9@+5LZR 通用设置 Z|}G6]h @k&qb!Qah |Ph3#^rM? 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 K98i[,rP 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 I%urz!CNE* B=|cS;bM$3 e{Z &d
纯相位传输设计 7gRgOzWfV 1;VHM'
hMtf.3S7c S*yjee<@ 结构设计 E!S 78z: ,AT[@
EqI(|bFwy +>JjvYx}\ ~i 7^P9 更深的分析 ?6'rBH/w •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ?7{H|sI •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 $ImrOf^qt •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 qe5feky 47J5oPT2'
Z1"v}g irjP>3_e 使用TEA进行性能评估 dO%W+K mc4i@<_?
/hO1QT}xd GgKEP,O 使用FMM进行性能评估 0wS+++n$5 .9.2Be
yr,=.?C- Sfdu`MQR 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 (y^vqMz %j7XEh<'
Kv~U6_=1O g:EVhuK 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 <I;2{*QI2 G}p\8Q}'
)2M>3C6>f &\_iOw8 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 m4*@o?Ow 8U_{|]M
*z7dl5xJ jmeRrnC} VirtualLab Fusion技术 yq$,,#XDD= fum0>tff
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