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摘要 7^F?key? z$NLFJvy_- 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ;z68`P- ;b^@o,=
+j,;g#d Sa0\93oa 设计任务 -_3.]o/J 3A5" % 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 jv ";?*I6. qA30G~S
`W9_LROD I
zT%Kq 光栅级次分析模块设置 So:89T n!p&.Mt s5.2gu|"% 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 '&Ku Ba ?6Gq &
f} apn= >nxtQ Z+?j8(:n 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 4{Iz\:G:{/ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 6= 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 i<
ih : 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 G`pI{_-e y&
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eg3{sDv, 衍射分束器表面 #E#70vWp\O Xf0pQ]8\
U5klVl \rpu=*gt 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 l$FHL2?Cp
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lBCM;#P qAm%h\ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) c[5>kQ-nq .Ee8s]h5W
!} 1p:@ ISl'g'o 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 {f!m m3'2v 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 AOTI&v 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 -Xj+7}4 kxKBI{L
h\1_$ac QKVZ![Y!s 光栅级次和可编程光栅分析仪 6)TFb, gAE}3//
htaB!Q?V 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Q>.-u6(& 39OZZaWL .G^.kg , 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ZXco5,1 `Z{7Ut^) `0sa94H1[ 设计与评估结果 MPT[f 相位功能设计 ^,?]]=mE 结构设计 k\EMO\je TEA评价 i$ Zhk1 FMM评估 q*
m%Fv 高度标度(公差) 0n1y$*I4 5SDHZ?h 通用设置 2LgRgY{Bl VQX#P< d=xweU< 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 }C) 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 PPohpdd) A}$A~g5Ap GwpJxiFgk 纯相位传输设计 j88H3bi0 TIS}'c'C
;'nu9FU*O W1Ht8uYG3 结构设计 /9[nogP }lWEbQ)(!
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`/#6k> wKwireOs 更深的分析 YncY_Hu •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 lGs fs( •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 8TuOf(qE •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 #.) qQ8*( 7XdLZ4ub
#A?U_32z/2 f4uK_{ 使用TEA进行性能评估 ]` 3;8, O"Ar3>
Pg5 1}{ aN.Phn: 使用FMM进行性能评估 RM,r0Kv17Y 3 bGpK9M~
aWW|.#L A`IE8@&Z' 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 I,.>tC RzNv|
%<K`d 5y@JMQSO 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 \U,.!'+ J}lBKP:-*
<1V!-D4xu :tNH Cx 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 3%'$AM}+s A"p7N?|%
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