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摘要 tJ\
$% E7:xPNU 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 NBYJ'nA%;f K3yQ0k
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.,bpFcQ xh;V4zK@` 设计任务 g'(bk@<BP .-KI,IU 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 C$OVN$lL`8 ZEP?~zV\A
m9 h '!X< 1qRquY 光栅级次分析模块设置 lB,1dw2(T 4l$OO;B `^bP9X_a 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 O$,Fga )kpEcMlR
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I3u8$ c|&3e84U u "[f\l 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 S
/hx\TzC 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 IOy0WHl| 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 x'GB#svi 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 `q^#u mci> MEb
=&}@GsXdo 衍射分束器表面 DXs an $|N6I
"rv~I_zl Eb8pM>'qM 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 _f1o!4ocx 2}hJe+#v
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sg2;"E@ *WwM"NFHDd 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) m{\
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5'AP:3Gf" &N~Eu-@b 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Ez3fL&* 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 cS ~OxAS 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 :Sq]|) g6GkA.!X$
@N=vmtLP cU1o$NRx 光栅级次和可编程光栅分析仪 W__ArV2Z_ kwI``7g8*e
@- U\!Tf 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 \TV U0x
A~5B J<$@X JLS 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 nV'1 $L# acd[rjeT osW"wh_ 设计与评估结果 3:J>-MO 相位功能设计 VD;*UkapZx 结构设计 Un?|RF TEA评价 RRL{a6(? FMM评估 d:=' Xs 高度标度(公差) ){^J8]b7# ++cS^ Lo 通用设置 r&gvP|W% @DN/]P >jm(2P(R
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 `m,4#P-kj 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 Q6h+. gq=t7b b^o4Q[ 纯相位传输设计 X1j8tg 9vI~vl l
fvu{(Tb mRk)5{ 结构设计 odv2 (\ U3(+8}Q
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0+0 m,.Y:2?*V |[\;.gT K 更深的分析 o) )` "^ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 _imuyt".+ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 D"7}&Ry: •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 RSX27fb4 |RX#5Q>z
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Kc+ 使用TEA进行性能评估 Uh}PB3WZ
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>b) 使用FMM进行性能评估 }7 N6nZj` c -w #`
j G8;p41
a_?sJ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 9"~ FKMN y|`-)fY
`DM%a~^yg I G1];vX 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ,H=k5WA4m N'
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;ALWL~Xm MAh1tYs4D 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 (x=$b(I H& |/|\8F
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