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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-09
    摘要 B!{d-gb  
    "xcX' F^  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 f:*vr['d  
    Sw^X2$h  
    ~AY N  
    a8u 9aEB  
    设计任务 1XG!$ 4DW  
    ?1L.:CS  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 GWsE;  
    bn 6WjJ~Z+  
    ^Jb H?  
    Yw5'6NU  
    光栅级次分析模块设置 1}hIW":3Sr  
                           T +5X0 Nv  
    kK 8itO  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 YDC mI@  
    64Lx -avf  
    qQ\Y/}F  
    j R=s#Xz  
    ,1'4o3  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 6cqP2!~  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 GdB.4s^  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 umz;F  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 f >BWG`  
    V)Z70J <'  
    \tx bhWN  
    衍射分束器表面 Sxjub&=  
    ~HQ9i%exg  
    2|\A7.  
    (R`B'OtGg  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 (SSRY9  
    5J8r8` t  
    '=][J_  
    XC{eX&,2x  
    zf3v5Hk  
    5cx#SD&5/  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) <2C7<7{7  
    +C7 ~b~ %  
     $R<Me  
    kyR*D1N&)  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ^Rm  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 v}WR+)uFQ  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 B|o2K}%f  
    iy""(c  
    w[P4&?2:  
    $mF_,|  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 ;?C #IU  
    RN=` -*E1  
    12Y  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 W0I#\b18  
    Z{?G.L*/  
    zB yqD$  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 SkU9ON   
    :qC '$dO!  
    X.`~>`8  
    设计与评估结果 H@]MXP[_  
    相位功能设计 <\?wAjc,  
    结构设计 G "P4-  
    TEA评价 ybp -$e  
    FMM评估 E*i#?u  
    高度标度(公差)
    &/,|+U[  
    9@+5LZR  
    通用设置 Z|}G6]h  
    @k&qb!Qah  
    |Ph3#^rM?  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 K98i[,rP  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
    I%urz!CNE*  
    B=|cS;bM$3  
    e{Z &d  
    纯相位传输设计
    7gRgOzWfV  
    1;VHM'  
    hMtf.3S7c  
    S*yjee<@  
    结构设计 E!S 78 z:  
    ,AT[@  
    EqI(|bFwy  
    +>JjvYx}\  
    ~i 7^P9  
    更深的分析 ?6'rBH/w  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ?7{H|sI  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 $ImrOf^qt  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 qe5feky  
    47J5oPT2'  
    Z1"v}g  
    irjP>3_e  
    使用TEA进行性能评估 dO%W+K  
    mc4i@<_?  
    /hO1QT}xd  
    GgKEP,O  
    使用FMM进行性能评估 0wS+++n$5  
    .9.2Be  
    y r,=.?C-  
    Sfdu`MQR  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 (y^vqMz  
    %j7XEh<'  
    Kv~U6_=1O  
    g:EVhuK  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 <I;2{*QI2  
    G}p\8Q}'  
    )2M>3C6>f  
    &\_iOw8  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 m4*@o?Ow  
    8U_{|]M  
    *z7dl5xJ  
    jmeRrnC}  
    VirtualLab Fusion技术 yq$,,#XDD=  
    fum0>tff  
    ,cq F3   
    #Skv(IL  
     
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