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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-09
    摘要 +Vsd%AnN"l  
    o$[alh;c+W  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 9-6E(D-ux  
    ZR"BxE0_k  
    JPt0k  
    HT@/0MF{J  
    设计任务 0DIXd*oj&  
    "^3pP(8;~  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 Y7L1`<SC  
    + NpH k  
    ^|+;~3<J  
    )K"7=TvY  
    光栅级次分析模块设置 sm1(I7y  
                           J-3%.fX,  
    >kN%R8*Sx  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 I"Gr<?r  
    +:#x!i;W8[  
    v? VNWK2  
    ySXQn#}-,  
    'nR'o /!  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ? 016  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 D$W09ng-  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 2TxHY|4  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 pndAXO:v  
    nYF;.k  
    O*%@(w6  
    衍射分束器表面 }vGW lNd#g  
    G&?,L:^t  
    i[\`]C{gf  
    Vr1yj  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ='"hB~[  
    JXa5snh{h  
    N)tqjq  
    (tLAJ_v!.K  
    U<"@@``+N  
    mO1r~-~AJ  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) *53@%9 {u  
    oTjsiXS  
    -%g&O-i\  
    %l.5c Sn@  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 btZ9JZvMx  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 "{igrl8  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 }kK6"]Tj  
    o8A1cb4<T  
    Qv`Lc]'  
    &P,z$H{o@  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 Dno'-{-  
    ET[vJnReC  
    btV Tt5  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 $afE= qC*  
    R3`h$`G  
    l)^sE)  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 9BA*e-[  
    j0F'I*Z3  
    `1T?\  
    设计与评估结果 ~g_]Sskf7  
    相位功能设计 (> {CwtH][  
    结构设计 #,4CeD|(D,  
    TEA评价 F}C.F  
    FMM评估 2VgDM6h  
    高度标度(公差)
    X4bB  
    # {'1\@q  
    通用设置 eInx\/  
    k-`5T mW  
    6S2u%-]  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 wj$J} F  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
    42Vz6 k:  
    CI~P3"`]  
    XC D&Im  
    纯相位传输设计
    pFZ2(b&  
    7Y?=ijXXx\  
    JTw3uM, e  
    .-[d6Pnw  
    结构设计 rpZ^R}B%*v  
    bhqs%B!:  
    o_K. +^$  
    Bn5O;I13  
    9PM\D@A{  
    更深的分析 1lJY=`8qa  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 !&ly :v!  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 A{3?G -]*  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 "0&+ `7  
    bc{ {a  
    ;Az9p h  
    _eE hIQ9  
    使用TEA进行性能评估 %e71BZo~^s  
    7a4b,-93  
    t5qNfiKC  
    C]xKdPQj%  
    使用FMM进行性能评估 (}|QSf:  
    t.7KS:  
    )225ee>  
    S\F;b{S1  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 'rX!E,59  
    LWpM-eW1q  
    '4L0=G:A<q  
    **%/Ke[  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 h5x_Vjj  
    6^Q Bol  
    Wd R~  
    _I&];WM\  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 rTgCmr'&  
    [KT'aGK$  
    ZP]l%6\.  
    JIGoF  
    VirtualLab Fusion技术 \G!TC{6  
    h^tU*"   
    4^KeA".  
    iEtnwSt  
     
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