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摘要 iL,3g[g M9&tys[ KX 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 'h=
>ej* iMA) (ZS
ycE<7W SD.ze(P 设计任务 |@ldXuYb NXmj<azED 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 =u'/\nxCF H~G=0_S
F`-[h)e. h{JVq72R 光栅级次分析模块设置 D$mrnm4d <.v6w*+{/ a<o0B{7{BM 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 @<6-uk3S u?J(l)gd
`nM4kt7 A!Yqj~ 3+$O#> 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 8n:D#`K 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 (gmB$pwS 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 mPD'" 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 A+}4N%kh _0f[.vN
;C{_T:LS 衍射分束器表面 N-Z 9
Grub1=6l
vOj$-A--qU Hb$q}1+y 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 5;Z~+$1 Rd$<R
.o8Gi*PEY MmK\|CtV
s6]f#s5o G`P+J 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) zc{C+:3$^ Wm,,OioK
>@%!r ;'Q{ ywr 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 GkC88l9z 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 !INr 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 C;ye%&g> xV6j6k
onlyvH4 4<Y?#bm' 光栅级次和可编程光栅分析仪 1_QO>T' **"P A8
?l (hS\N, 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 B::? +W1rm$Q &Xav$6+Z1J 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 TGLXvP&
\ W{h7+X]Y DNy)\+[
设计与评估结果 FN
R&
: 相位功能设计 O`=Uq0Vv 结构设计 [Wh 43Z TEA评价 %Fv)$ :b FMM评估 ]5\vYk 高度标度(公差) 6p@ts`#
jZ;T&s 通用设置 !jbjrzv9 fm*Hk57 9s)oC$\ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 V_pBM 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 -*A'6%` WToAT;d2h k
y98/6 纯相位传输设计 uE$o4X * y B-N;I
1rEP)66N cjXwOk1:s 结构设计 ?2TH("hV$ bqO"k t
\abl|;fj -,dQ&Qf? E'G>'cW;x 更深的分析 YUE[eD/ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 _+En%p.m •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ?MH4<7?" •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 wO#+8js [XXN0+ /
y6/X!+3+ '}u31V"SS 使用TEA进行性能评估 pA'A<|)K0 F?=u:
0pFHE> 3_$eQ`AAA 使用FMM进行性能评估 z"3c+?2 5qy}~dQ
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;Q }U9jsm 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 u*{ _WL[( PS6`o
a"}#HvB+ F6p1 VFs 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 sd53 _sV #=(op?]
}=a4uCE M;qL)vf
进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 l{9h8]^ pm\X*t}L
dn_OfK 7-I>53@ VirtualLab Fusion技术 _eV n#!| vLv@ Mo
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