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摘要 +Vsd%AnN"l o$[alh;c+W 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 9-6E(D-ux ZR"BxE0_k
JPt0k HT@/0MF{J 设计任务 0DIXd*oj & "^3pP(8;~ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 Y7L1`<SC + NpHk
^|+;~3<J )K"7=TvY 光栅级次分析模块设置 sm1(I7y J-3%.fX, >kN%R8*Sx
使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。
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VNWK2 ySXQn#}-, 'nR'o /! 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ? 016 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 D$W09ng- 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 2TxHY|4 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 pndAXO:v nYF;.k
O*%@(w6 衍射分束器表面 }vGWlNd#g G&?,L:^t
i[\`]C{gf Vr1yj 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ='"hB~[ JXa5snh{h
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U<"@@``+N mO1r~-~AJ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) *53@%9 {u oTjsiXS
-%g&O-i\ %l.5c Sn@ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 btZ9JZvMx 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 "{igrl8 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 }k K6"]Tj o8A1cb4<T
Qv`Lc]' &P,z$H{o@ 光栅级次和可编程光栅分析仪 Dno'-{- ET[vJnReC
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Tt5 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 $afE=
qC* R3`h$`G l)^sE) 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 9BA*e-[ j0F'I*Z3 `1T?\ 设计与评估结果 ~g_]Sskf7 相位功能设计 (>
{CwtH][ 结构设计 #,4CeD|(D, TEA评价 F}C.F FMM评估 2VgDM6h 高度标度(公差) X4bB # {'1\@q 通用设置 eInx\/ k-`5TmW 6S2u%-] 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 wj$J}F 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 42Vz6 k: CI~P3"`] XC
D &Im 纯相位传输设计 pFZ2(b& 7Y?=ijXXx\
JTw3uM, e .-[d6Pnw 结构设计 rpZ^R}B%*v bhq s%B!:
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+^$ Bn5O;I13 9P M\D@A{ 更深的分析 1lJY=`8qa •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 !&ly :v! •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 A{3?G-]* •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 " 0&+`7 bc{ {a
;Az9p h _eE hIQ9 使用TEA进行性能评估 %e71BZo~^s 7a4b,-93
t5qNfiKC C]xKdPQj% 使用FMM进行性能评估 (}|QSf: t.7KS:
)225ee> S\F;b{S1 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 'rX!E,59 LWpM-eW1q
'4L0=G:A<q **%/Ke[ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 h5x_Vjj 6^Q Bol
Wd R ~ _I&];WM\ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 rTgCmr'& [KT'aGK$
ZP]l%6\. JIGoF VirtualLab Fusion技术 \G!TC{6 h^tU*"
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