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摘要 rw40<SS"Z &sr:\Qn X/ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ;L\!g%a xr7-[)3Q$
: pE-{3I '/gxjr& 设计任务 &Cx yP_ S?,KgMVM 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 2ZTyo7P k=ior
p3,(*eZ 6I5[^fv45G 光栅级次分析模块设置 l"~h1xk~ O|^6UH )Bm^aMVl3 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 vMW-gk nkr,
sTYuwna~
^G7n# |2+F I<v4 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 y<'2BTf 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Z7KB?1{G 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ~,`\D7Z3 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 2S7H_qo$ #Kb)>gzT
O) =73e\ 衍射分束器表面 lhIr]'?l }{w_>!ee
pO 7{3% bCY^.S- 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 2\iD;Z#gM Xx9~
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2!~>)N k{u%p < 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Vqv2F @. [<3Q$*Ew
no\}aTx a s<q 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 t6,M 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 S9ak ' 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 tKqCy\-q Y"]e H{
W0uM?J\O 4{;8 ]/.a 光栅级次和可编程光栅分析仪 u_/OTy
U%B]N@
:BZx)HxQ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 7$d c?K xzGsfd * v7& T 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 :xUl+(+ t2-zJJf8 t73Z3M 设计与评估结果 o._#=7|( 相位功能设计 fb=$<0Ocj 结构设计 <J_,9&\J TEA评价 h+'eFAZ FMM评估 ?D$b%G{ 高度标度(公差) XtH_+W+O ?\p%Mx? 通用设置 ;(iUY/ h[h $nd-[xV wGQ hr=" 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 d=5}^v#4 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 gJ[q
{b >J75T1PH= t%YX-@ 纯相位传输设计 9Nbg@5( =x.v*W]F`
X=c
,`&^ LXEu^F~{u# 结构设计 !&:W1Jkp( Z-sN4fr a
$q@RHcj dgqJ=+z 0y &+r
;> 更深的分析 Px?At5 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 AYQh=$)( •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 [F-u'h< *l •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 g}og@UY7# $=g.-F%*=
6%hEs6-R -0J<R;cVs 使用TEA进行性能评估 BMsy}08dQ nF
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uM!r|X)8 Ue\oIi 使用FMM进行性能评估 k49n9EX SVEA
.+~kJ0~Y @_:?N(%( 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 -clg'Aa;. G;#t6bk
@KRn3$U p){RSq 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 FZ.Yn n_NG~/x
Kz2^f@5=F R#^pNJN 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 yT9RNo/w
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[67f; ?b Y%cA2V\#m VirtualLab Fusion技术 - OGy-" q@yabuN@,j
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