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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-09
    摘要 H:4r6-{  
    -MJ6~4k2  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 :gVz}/C.@  
    #Qc[W +%  
    ,g@U *06  
    vLJ<_&6  
    设计任务 ]3xnq<  
    EU TTeFp  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 o\1"ux;b  
    TZi%,yK  
    ~UB@IV6O  
    ' ~lC85  
    光栅级次分析模块设置 yPn5l/pDDr  
                           v-Ggf0RF  
    '81$8xxdY  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 lMB^/-Y  
    ' wvZnb  
    2sjV*\Udf  
    :)t1>y>3  
    1[D~Ee p  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 52/^>=t  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 :e ?qm7cB  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 9 Bz ~3  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 }E[S%W[  
    7&/iuP$.  
    +dS e" W9  
    衍射分束器表面 "]JE]n}Ulg  
    ]zmY] 5  
    \gki!!HQ  
    F=Z|Ji#  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 @G^]kDFM{  
    \;I%>yOIu  
    '{QbjG%<P  
    )MHvuk:I)  
    66fvS}x  
    #,Fk  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) UMpC2)5  
    ~A}"s-Kq5  
    ]MfT5#(6h  
    |0ACapp!  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 us"SM\X#  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ,m{Zn"?kS  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Z9cch- u~  
    B<xBuW  
    =<y$5"|  
    `fu(  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 ~zi6wu(3  
    *^ \xH,.  
    5Z ] `n  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 OvX z+C,  
    aDm$^yP  
    }N#jA yp!  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 15 x~[?!  
    ba1zu|@w  
    KVvIo1$N  
    设计与评估结果 iS&fp[Th  
    相位功能设计 XG@_Lcv*  
    结构设计 2BS2$#c>  
    TEA评价 b&"=W9(V  
    FMM评估 &q#$SU,$(  
    高度标度(公差)
    5]:fkx  
    wz+  
    通用设置 AmM^&  
    ^SpD)O{  
    { .B^  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 8c3`IIzAS  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
    mhH[jO)  
    @OZW1p  
    $2A%y14  
    纯相位传输设计
    ?5K.#>{  
    L)H7~.Dj  
    w}zl=w{G  
    sg;G k/]  
    结构设计 oJ ,t]e*q=  
    bmr.EB/  
     :J`:Q3@  
    S) Sv4Qm  
    _}:9ic]e  
    更深的分析 /k|y\'<  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 yw41/jHF  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 [?r`8K2!,  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 z\*ii<- @  
    rBye%rQRq  
    eL JW  
     Aa[p7{e  
    使用TEA进行性能评估 d&&^_0O  
    j#$ R.  
    G4{ zt3{  
    cx_FtD  
    使用FMM进行性能评估 v3x_8n$C9  
    F<Js"z+  
    cod__.  
    wASgdGoy  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 1Y6<i8  
    ?M. n 9|}y  
    coT|t T  
    }dX[u`zQ  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Qz2Y w `  
    kE;h[No&K  
    -lV]((I&  
    ?lW-NPr  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ? acm5dN  
    -'BC*fVr  
    /) sA{q 4  
    "aIiW VQ  
    VirtualLab Fusion技术 A&*lb7X  
    |b7 v(Hx  
    NNLZ38BV7  
    izy7. (.a  
     
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