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摘要 H:4r6-{ -MJ6~4k2 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 :gVz}/C.@ #Qc[W +%
,g@U*06 vLJ<_&6 设计任务 ]3xnq< EU
TTeFp 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 o\1"ux;b TZi%,yK
~UB@IV6O ' ~ lC85 光栅级次分析模块设置 yPn5l/pDDr v-Ggf0RF '81$8xxdY 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 lMB^/-Y 'wvZnb
2sjV*\Udf :)t1>y>3 1[D~Eep 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 52/^>=t 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 :e ?qm7 cB 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 9
Bz~3 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 }E[S%W[ 7&/iuP$.
+dSe"W9 衍射分束器表面 "]JE]n}Ulg ]zmY]5
\gki!!HQ F=Z|Ji# 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 @G^]kDFM{ \;I%>yOIu
'{QbjG%<P )MHvuk:I)
66fvS}x #,Fk 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) UMpC2)5 ~A}"s-Kq5
]MfT5#(6h |0ACapp! 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 us"SM\X# 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ,m{Zn"?kS 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Z9cch-u~ B<xBuW
=<y$5"| ` fu( 光栅级次和可编程光栅分析仪 ~zi6wu(3 *^ \xH ,.
5Z]`n 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 OvX z+C, aDm$^yP }N#jA yp! 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 15x~[?! ba1zu|@w KVvIo1$N 设计与评估结果 iS&fp[Th 相位功能设计 XG@_Lcv* 结构设计 2BS2$#c> TEA评价 b&"=W9(V FMM评估 &q#$SU,$( 高度标度(公差) 5]:fkx wz + 通用设置 AmM^& ^SpD) O{ { .B^ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 8c3`IIzAS 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 mhH[jO) @OZW1p $2A%y14 纯相位传输设计 ?5K.#>{ L)H7~.Dj
w}zl=w{G sg;Gk/] 结构设计 oJ ,t]e*q= bmr.EB/
:J`:Q3@ S)Sv4Qm _}:9ic]e 更深的分析 /k|y \'< •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 yw41/jHF •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 [?r`8K2!, •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 z\*ii<-@ rBye%rQRq
eLJW Aa[p7{e 使用TEA进行性能评估 d&&^_0O j#$ R.
G4{ zt3{ cx_FtD 使用FMM进行性能评估 v3x_8n$C9 F<Js"z+
cod__. wASgdGoy 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 1Y6<i8 ?M.n 9|}y
coT|t
T }dX[u`zQ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Qz2Yw ` kE;h[No&K
-lV]((I& ?lW-NPr 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ?
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4 "aIiW VQ VirtualLab Fusion技术 A&*lb7X |b7v(Hx
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