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摘要 8xB-cE !R@LC 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 *duG/?>P CE3l_[c
8C{&i5kj\E Hf('BagBL 设计任务 hJM&rM7 5az%yS 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 q=t!COS kQ>2W5o-d-
v_zt$bf{Y eJoM4v 光栅级次分析模块设置 `ArUoYbB ^/#+0/Bn PMP{|yEx" 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ;^/ruf[t $U[d#:]
UC+Qn ;
$rQ ?J2{6,}O*. 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 GQt5GOt 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Onx6Fy]L 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Vq3 NjN!+5 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 |!(8c>]Bo 2BC!,e$Z
=>'8<"M5z 衍射分束器表面 Z8=?Hu C@Wzg
v:SHaUS PzPNvV/o 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 k^oSG1F .OJGo<#$f
]-t)wGr uUfw"*D
<~mqb=qA$ %R$)bGT 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 5x@ U< <lB2Nv-,
"\*)KH`C }4>u_)nt 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 )?[2Y%P 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 $+PioSq 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 x[t?hl=: '`upSJ;e
vGyQ306 XI`_PQco 光栅级次和可编程光栅分析仪 mywxV cPtDIc,
c&T5C,] 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ;,-)Z|W u8 k^\Do 6teu_FS 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 d*+}_EV)Y3 Nd>zq Sp[9vlo8 设计与评估结果 N,w6 相位功能设计 >*!T`P}p 结构设计 :(enaHn#~ TEA评价 AkW,Fp1e FMM评估 Y<;C>Rs
高度标度(公差) 8TYh&n=r @16y%]Q-E# 通用设置 `x=kb; ub 2'|CYw wSjy31 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 fyUW;dj 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 Yy
4Was# nxN("$'cq f]1 $` 纯相位传输设计 T2-x 1Sw_ ?bd!JW bg`
IO#)r[JZ "Io-%Su+ 结构设计 C|}yE;*a e~QLzZ3
TJ>YJD W=2.0QmW G%gdI3h1Z
更深的分析 H?opG<R=ek •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 '
Sd&I:? •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 R GV{KL •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 VII`qbxT *QW.#y>"j
>ptI!\i} ,S(_YS^m 使用TEA进行性能评估 :%Z)u:~': .WOF:Nu4
;2 o{6 $.DD^ "9 使用FMM进行性能评估 f`8fNt dd=5`Bo9Yh
BvlY\^ i_6 wD 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ;Xidv9c HH!SqkwT
5NSXSR9c P)TeF1~T 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 5}NO~Xd< \l6mXIn=>
@Ng q+uXm UIQ=b;J9 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 u@wQ )^ jaThS!>v
k!@/|]3z jP@t!= VirtualLab Fusion技术 :?%_JM5U 1?+)T%"
RmN\;G?} Q6Zh%\+h(
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