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摘要 s8eFEi K^w(WE;db 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 FhS:. [,$] %|6wt
gHA"O@HgDI h_Q9c 设计任务 (|"KsGl hbzU?_} 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 GuNzrKDr \h?C
G_|]
g!cTG-bh>J @'s^ 光栅级次分析模块设置 t%V!SvT8+ $_% a=0 eDgRYa9\ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 HTvA]-AuM Tf<1Z{9
tLJ"] D1w `(.K|l} $9j\sZj& 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 x{j|Tf3,G 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Kbrb;r59 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 9v8{JaI3 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 xP
"7B9B IXe[JL:
g,r'].Jg 衍射分束器表面 5ZSV)$t SBgBZm}%
6`+dP"@ :4;ZO~eq! 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 oM M`7wJw nM>oG'm[n
OV_Y`u7YR nGZZCsf <
yL7D;<!S& |^[]Oy= 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) mADq_`j 4
>at#Zc
J 6D?$ b*\K I 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Lo5itW 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 '%vb&a!.6 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 {m.l{<H c,:xm=&
?|s1Cuc hOx'uO`x( 光栅级次和可编程光栅分析仪 Gt3V}"B3\ 4p\<b8(9>
*$1M=$ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 )
wtVFG 7Ps I'1v wt0^R<28 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 y0k*iS
e ^1sX22k L}T:Y). 设计与评估结果 1JMEniB+9 相位功能设计 ;P3sDN 结构设计 xDD3Y{K TEA评价 a;WRTV FMM评估 }OZp[V 高度标度(公差) -!f)P=S FAkjFgUJp 通用设置 >RZ]t[)y =Yg36J4[ WvQK$}Ax4N 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 (LbAP9Zj#f 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 :L*"OT7(6 KHV5V3q4 #; CC"
纯相位传输设计 'Alt+O_ #Mkwd5S|L
MB06=N 1D%3|_id^ 结构设计 |\;oFuCv## pLjet~2}iJ
2#:/C: WDQtj$e+ m7}PJ^*b 更深的分析 KE! aa&g •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 "Ah (EZAR
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ARvT •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 +aR.t@D+"Y o!!";q%DX
3C'`K, (7/fsfsF 使用TEA进行性能评估 VO r*YB& uTTM%-DMHT
^K*uP^B= {5w'.Z]0v 使用FMM进行性能评估 z ea=vx>` C%_^0#8-0
RP 'VEJ 3
r4QB 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 hiO:VA aV"K%#N
NsDJq{ hp=TWt~ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 9 f$S4O5 $.{CA-~%[
t9T3e ;Yo9e~
进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 5y-8_)y8o banie{ e
\)Jv4U\; =Lx*TbsFYt VirtualLab Fusion技术 E)z[@Np Pl^-]~
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