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摘要 MwMv[];I 3@P
2]Q~D 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 H/n3il_-I [(Ss^?AJW
#\U;,r p2s*'dab7 设计任务 wPdp!h7B~N ;/T=ctIs 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 Gxx:<`[ON @k~'b
(`<X9w, 8D7=] 光栅级次分析模块设置 0h ^&`H: j_i/h " -wJ/j~+m+ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Qz6Ry\u #Duz|F+%
1 XsB ?[{_*qh =s3f{0G 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 N6yPuH 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 7J?`gl&C 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 t:|knZq 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 MD`1KC_m Ovu!G
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`j+[JMr 衍射分束器表面 h^QicvZ zE$KU$
lQ/u#c$n ^W}(]jL 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 V}de|= o ;nw;]oR
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<*I%U] 6XU1w 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) =P>c1T1- \Nd8,hE
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n@ g s az<NT 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Td~CnCor 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 8bl&-F` 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 v 809/c* p) #7K
lI#Ap2@ xB.h#x>_` 光栅级次和可编程光栅分析仪 gr]:u4} ^B)iBfZ
+"8AmN4 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 y"5>O|` q0* e1QL ~{-zj 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 g~,"C8-H xz9xt cPQUR^!5 设计与评估结果 7&ty!PpD 相位功能设计 #9=as Y 结构设计 ZV :cgv TEA评价 1$1s0yg FMM评估 8#?jYhT7 高度标度(公差) Ns3k(j16 VG,O+I'^z 通用设置 fyb:eO} P[E:=p J-Xw}|>@ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ji'NR 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 _wvSLu <q i6)7)^nG 70sb{) 纯相位传输设计 Rwu
y!F *CsRO
#ZFedK0vv e15_$M;RW 结构设计 os<YfMM<:/ I.V?O}
m*'^*# bf#@YkE wOfx7D 更深的分析 >j&+mii •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 CC8M1iW3 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 soSdlV{ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 f=$w,^)M W Z!?O0.A
>gQJ6q <oJM||ZA 使用TEA进行性能评估 -eZ$wn![ |Z), OW
n2e#rn (Nzup3j 使用FMM进行性能评估 A"yiXc-N~\ 5"5tY
%Y0,ww2 g>L4N.ZH_v 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ;F)j,Ywi)H T4
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@/(\YzQvp] B~\mr{|u 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 CxvL!ew nU^ -D1s{
{>x6SVF J(0E'o{ug 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 o8PK,!Pl 9FGe(t<
1=*QMEv1G
q?&Ap* VirtualLab Fusion技术 o#p{0y $oPx2sb
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