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摘要 IJBJebqL
vH?+JN"A 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 uZ`d&CEh
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G5nj,$F+ 设计任务 >5~Zr $ > ?{iv1 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 CWe>jlUQ
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 6=g]Y!o $ Jyz$&jqyr' 光栅级次分析模块设置 E
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 lF}$`6
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 D_19sN@0m
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 .M53, 8X
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 6aF'^6+a
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ?4,*RCa I
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 X v7U<q 衍射分束器表面 hNq8
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 fBWJ%W
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i^s`6:rNu 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) S`2mtg
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 iQm.]A
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 5fj
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 JJ
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1W}nYU 光栅级次和可编程光栅分析仪 /: Z~"Q*r
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 Kixr6 \
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 &Xn8oe
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设计与评估结果 B.Zm$JZ :
相位功能设计 lZS_n9Sc
结构设计 Xew1LPI
TEA评价 e$ XY\{
FMM评估 ; Oi[:Ck
高度标度（公差） [yYH>~SuwZ C`yvBt40 r 通用设置 _[$T29:8\]
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4[ LLnF--
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 !Ig|m+
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 fd5ZaE#f : ~ZqB\>i *gM,x4 Y
纯相位传输设计 uXG`6|? Hyq@O 8
 JGk3 b=K 5q(]1|Se i 结构设计 J8u{K.( *7
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更深的分析 "w npiB}
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 2qs>Bshf
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 7xv4E<r2
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 5|<yfk8*J
L25kh}Q#7
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Sc 使用TEA进行性能评估 h&=O-5
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 Pl rkgS0J
ibd$%;bX3 使用FMM进行性能评估 P"(z jG9-
h`wMi}q'D
 m,W) N9 M F_A%8)N 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 GBH_r 0
Vs#"SpH{ '
 7|&e[@B Y7<zm}=(/ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 up\oWR:
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lLb:f6N 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ~7dM!g{W
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