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摘要 Na\WZSu'" LjH*rjS4 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 "sgjWo6 2PR^:h2
,o7hk{fR* w?,M}=vg 设计任务 Ol')7d& \bx~*FaX 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 kpI{KISQu tdF9NFMD
4\& *E~VKx1 光栅级次分析模块设置 o|j*t7 zj|/ CxV '>v^6iS 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 yt+}K)Hz 4"vaMa
%G@5!|J }N*>QR5K '?Jxt:< 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 TFepxF 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 lZQ/W:OE 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 `PL[lP-< 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 3?E&}J<n [Lp,Hqi5
./p|?pu
衍射分束器表面 /"ymZI!k\ dxj*Q "K
0q9>6?=i 'lS`s( 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 <g9"Cr` 9Z6C8Jv
3qQUpm+ .]|Zf!>}s
7rHS^8'H& V5D`eX9 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) &)pK%SAM w G8Wez%
*wV[TKaN L"<B;u5pM 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 r
Db>&s3 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 E:nt)Ef, 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ;:mY JV 4UAvw
9B)(>~q A.Bk/N1G 光栅级次和可编程光栅分析仪 &gc`<kLu +@VYs*&&
+[m8c){ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 h<+|x7u CDp8)=WJFF _N3}gFh> 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 k*-NsNPw$ d \>2 :Y)to/h 设计与评估结果 Xev54!619 相位功能设计 r-w2\ 2 结构设计 v.W{x?5 TEA评价 ["3df>!f FMM评估 ad!(z[F'Y 高度标度(公差) w5]l1}rl NE"jh_m- 通用设置 oj}"H>tTp wUi(3g|A GLKO]y 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 AV @\ +0 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 30FykNh {aN(d3c 7SI)1_%G 纯相位传输设计 +zWrLf_Rc ]2+g&ox4'
Su8'$CFz$. -O&"| 结构设计 ~hURs;Sb v5T9Y-{`
)u@t.)ChAV <?$kI>Ot F,G,b 更深的分析 rbk<z\pc •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ^{[`=P'/ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 lVeH+"M? •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
SNvb1& QJ];L7Hbo
J(d2:V{h ,VD6s!( 使用TEA进行性能评估 A|<; W._G0b4}
da*9(!OV '7nJb6V,0l 使用FMM进行性能评估 FU@uH
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a'[)9: L? ;/cO^ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 R @r{ ?^3B3qqh9
"2h5m4 *d
l"wH& 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 J>v$2?w`w ;]h.m)~|
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X/tt 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 3c 28!3p R^9"N?Q7;`
6H;kJHn T|f_~#?eV VirtualLab Fusion技术 tL8't]M, o5#,\Y[ g
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