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摘要 wQH<gJE/: <+Dn8 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 N~d ?WD\^ OgQV;at
ZaDyg"Tw+ w\}ieI8J 设计任务 4Lh!8g=/ k_qd| 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 J^nBdofP fk[-mZ
ox>^>wR* c~$)UND^ 光栅级次分析模块设置 g\(G\ tnu> *:YiimOY" gsvuE 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 goRL1L,5 >#;.n(y
c74.< @w ,p@y]
cr \oXpi$ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 @ ZwvBH 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 a|x.C6Pe 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 NP#w+Qw 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 _AYK435>N KB,j7
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V _/%b)* 衍射分束器表面 Un(aW=PQ0 Eh;'S"{/?j
Gg3,:A_ w p2[n$61 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 dA`IEQJL Co_A/
-M~:lK]n i2A81>68<
eRstD>r Z{Qu<vy_ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) }wjw:M ;Ax
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Nw/ ku V/LLaZTE 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 S6M}WR^, 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 <X^@*79m 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 4qbBc1,7y
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:WS@=sZN m6K}|j 光栅级次和可编程光栅分析仪 VT`^W Hu D~fl JR
(sTpmQx,b 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 UiP"Ixg6 xJvmhN/c LTCb@L{^i 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 n)e
6>R; PfD.:amN7 D~iz+{Q4 设计与评估结果 AW'0,b`v 相位功能设计 ]BZA:dd.G 结构设计 8oseYH TEA评价 rjAn@!|:+ FMM评估 9C9oUtS 高度标度(公差) {n.PF8A5X k[YS8g-Q 通用设置 NC`aP0S |?xN\O^#} dNH08q8P 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 $am$EU?s 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 beGa#JH, EhvX)s mzKiO_g} 纯相位传输设计 {.|CdqwY ~.nmI&3
aEWWP]
@4#c&h3 结构设计 RFc v^Xf V>LwqS~`
yNo0ubY F6|]4H.3Q : /N0!&7 更深的分析 fu ,}1Mq# •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
(@VMH !3 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 +Q)XH>jh •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ,HV(l+k {| T!kN)#S
'ya{9EdlT xn(kKB. 使用TEA进行性能评估 (gU!=F?#m S Lj!v&'
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< rK 50wulGJud 使用FMM进行性能评估 }?i0
I !hy-L_wL]
_Y4` xv0/ pa3{8x{9m 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 i)#dWFDTv n'LrQU
qgHWUwr+n KYI/ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 !;{7-~ C2I_%nU Z1
I6av6t} m?}6)\ob 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 #q$HQ&k ED( Sg
FVbb2Y?R pE0Sw}A:9 VirtualLab Fusion技术 _6hQ %hv8 #p&qUw
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