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摘要 `QnKal ) gieT kZ 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |K,9EM3 Z q}w}v  :0Rd )*k,v / o6 'I%Gs w9SP kPkYE 光栅光学装置 \rF6"24t6 <_dyUiT$J  4askQV &hj \A6MVMF8 偏振分析器 5IOOV Yl [}9sq+# #  1y2D]h /' lF2im5nZ? 优化 t>)iC)^u /!=uM .  j\B]>PP5 zcF~6- aQ 参数运行 X};m \Bz =;W"Pi;*
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 p(QB 5at orVsMT[A 偏振相关衍射特性 *Z>Yv37P ]( V+ qj  M#LQz~E e^&QT 固定周期二维参数优化 es]\ xw hb9e6Cc  &$?e D{ 二维参数优化——设计#1 XKp.]c wP %C\Q{_ AS  '%_1eaH $#2ik~]> 二维参数优化——设计#2 ?VrZM bj\v0NKN4  7?-eR- I MIZ #/ 制造公差分析 t
j&+HC !sQ$a #Ea  ^h{A AS> 7F;"=DarOE 变光栅周期三维参数优化 Vc.A <( E1IRb':
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