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摘要 N
sdpE?V `D ;*.zrA 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -nS f< 4Y(@
KU b  qyM/p. mP a``|sn9 设计任务 5x+]uABE tp`1S+'~j  ?t YZ/ | Gic79b 光栅光学装置 yzN[%/ Ki><~! L  lpG%rN! Z3]I^i
FI 偏振分析器 CH 6 m uw \@~ ,d  AW5iwq 6p [6a-d> e{ 优化 3}nk9S:jr s| p I`  b`X''6 oPi>]#X 参数运行 -;9
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 u%C oo #,tT`{u1q 关于光栅周期选择的考虑 v@ $N,g v@zi?D K
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FIb-*wT 偏振相关衍射特性 x)C } yz68g?"  kG D_w "'CvB0> 固定周期二维参数优化 vh\ i ^ -m@c{&r  c~hH
7/v 二维参数优化——设计#1 s!(R $!O@Z8B  m]jA ( |mt W) 二维参数优化——设计#2 | In{5E k `Na()r$T 
YNB M \Q T ipH} 制造公差分析 ;g0s1nz vgeqH[:  yX! fj\R +JErc)% 变光栅周期三维参数优化 58Ibje qcs)
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