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摘要 :g0zT[f r`d4e,( 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ow,w$0(D &j"?\f? /(*q}R3Kfo f.$af4
u 设计任务 'zTLl8P 0S!K{xyR Zb>? 8 q>+k@>bk@ 光栅光学装置 m-#2n?
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ZBp/sm 偏振分析器 hRhe& ,v @I?=<Riu htF] W|z 3XV/Fb}!(i 优化 m;QMQeGz xi}skA /y}xX G_,jgg7 参数运行 )jP1or W/h[A3 `3N
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2J BR)P S<Xf>-8w 偏振相关衍射特性 &%J08l6 oCz/HQoBk aPL+=5 8r 4.t-i5 固定周期二维参数优化 9\7en%( M 3.y vvPFEM N~'c_l 二维参数优化——设计#1 ]t"Ss_, E7hY8#G Nj/
x. X utV_W& 二维参数优化——设计#2 UkFC~17P LKDO2N A.w.rVDD SE*g;Cvg1 制造公差分析 yJIscwF p4Z(^+Aa cw
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