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摘要 kLa9'c 0 @sUYjB 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 W($}G_j[B1 TbqH-R3W  f8yE>qJP RKoM49W 设计任务 o! W
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Dk ^,iY(u oU|yBs1  PMOyZ3 hYvWD.c} 制造公差分析 \S5YS2,P ;@5N  n1Ic[ cM} \eH`{Z'.x5 变光栅周期三维参数优化 %Z.!T M\m6|P
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