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摘要 nlkQ'XGAI zr5(nAl 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 uepL"%.@7| `[z d  p3YF b[_${i n: 设计任务 oK3aW6 J \ V.J/  J$Q m:DC5 (66DKG 光栅光学装置 (ATCP#lF bn$}U.m$-  :&oUI&(o GXE6=BO 偏振分析器 &RP}w%I1 8xEOR!\!`k  %g< J"/ L!]~ J?) 优化 2!4.L& Ki > \KVg(?D  4 Dd7 I VI (;8 参数运行 l6S6Y n_Ka+Y<
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vP 关于光栅周期选择的考虑 !tNJ LOYf pM i w9}
 F|DKp[<]8 6^ Ds I 偏振相关衍射特性 Ph&fOj=pFb aumXidb S  7Z;w<b~ XFg.Z+ # 偏振相关衍射特性 OZ$"P<X_" hR$lX8
 cc%O35o f~.w2Cna 偏振相关衍射特性 j bHk N &0 MA  QxGQF| '1}r Qq Z 固定周期二维参数优化 YW}1 iT/H x\Y%/C[Kc  ~Lc>~!!t 二维参数优化——设计#1 !vQ !_|g1 hao0_9q+  @J~y_J{ jj)9jU z 二维参数优化——设计#2 h]94\XQ>$ vl@t4\@3  3"gifE 4JHQ^i-aY 制造公差分析 LC/w".oq? T$]2U>=<J  ~PNO|]8j X*~NE\ 变光栅周期三维参数优化 - ?b@ 6 U ! 40 t:+I
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<\_+ 制造公差分析 H&L=WF+x 7F-b/AdVq  8-5a*vV, > g[;iVX^1& VirtualLab Fusion 技术 ~MY (6P ;f-|rC_"  4[3T%jA co3H=#2a
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