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摘要 IlrmXSr n&fV3[m`2 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Xx^c?6YM V;V9_qP,  fwEi//1 )\(pDn$W 设计任务 ox6rR
(nzt}i0  9Dl \S F[ c>g%oE 光栅光学装置 . ~<+ _=MWt_A '3  >O _ I?"5i8E 偏振分析器 fCfY.vd5 [h1{{Nb#ez  U`Zn*O~/ <wC1+/ ] 优化 5f5ZfK3<i ^wlep1D
 El %(je,| 2XtQ"` ) 参数运行 *pMA
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 |#wz)=mD 93\,m+- 关于光栅周期选择的考虑 > U)O@W) ,3j7Y5v
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 e ?>suIB 9x!y.gx 偏振相关衍射特性 w.f [) BE~ [%6T7  $w\ , ."y L nGSYrx1 固定周期二维参数优化 5MJ'/Fy( 3:Wr)>l}#  ;>N ~ ,Q 二维参数优化——设计#1 j`B{w -cgukl4Va  /3]|B%W9 Ysu/7o4 二维参数优化——设计#2 Oe`t! &v +b W| Q>u  3;:V1_JA U5" Oh I 制造公差分析 Qs:r@"hE }c%y0)fL  W<" \ hQI @k<~ `S~| 变光栅周期三维参数优化 s jm79/ wjOAgOC
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