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摘要 G G[$- !Ql& Ls 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 O PVc T }K\ m.+%=d  i fbO< ?TVR{e: 设计任务 -pm^k-%v 4f>
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 YX:[],FP 42mZ.,< 偏振相关衍射特性 X6Hd%}*mN Z6x M(* vg  1Qz1 Ehz> )w++cC4/5 偏振相关衍射特性 )j>BvO 3fWL}]{<a
 )mw&e}jRV .IJgkP)!] 偏振相关衍射特性 i'bUX=JK VDP \E<3"  WMLsKoby i+H HOT 固定周期二维参数优化 " ~&d= f0m H o; bgva  0QxE6>xL= 二维参数优化——设计#1 <ny)yK Zr.6J*& !  Tp?l;DU 5<y pK`Kq 二维参数优化——设计#2 lP:ll])p2 12,,gwh  NXw$PM| +R Wa|lWIMK 制造公差分析 x# {.mN CAl]Kpc  z_LN*u
b: w {7 变光栅周期三维参数优化 ,[{)4J$MV CUR70[pB)
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