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摘要 n>:e8KVM; ;[g~h |{6 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 C R't MIZ!+[At  \>w 2D "]'W^Fg 设计任务 tpeMq - kDE:KV<"c  j\Fbi3H -)b u& 光栅光学装置 nSZp,?^ [{T/2IGq  {\VsM#K6 #L*MMC" 偏振分析器 :'fK `G
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 + J}h f-}_ 偏振相关衍射特性 Y[ ;Z7p L'>0E(D  A2fuNV _ eN<?rVZl 固定周期二维参数优化 k.H4Mf(4 b3-+*5L  G)9`Qn 二维参数优化——设计#1 gGbq XG^ M3)Id?|]6  "+4r4 VZA>Er B 二维参数优化——设计#2 7{=+Va5 6~8dMy;w  :Ui'x8yt Lez]{%+.`[ 制造公差分析 `
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