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摘要 lE=&hba rS|nO_9 f
rq(9w*MW: lGhhH_ 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 Rz03he $j(laD#AR 建模任务 d?6\ h/s8".\
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=vM 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ kac-@ ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 j|-{*t{/x ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 As>-9p>v R+&{lc 示例 ']C" 'b P*!~Z*" q9gk:Jt 'hNRIM1 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 Y 8Dn&W ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 1sNZl& ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 =v !'? ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 =Sjf-o1V y F;KyY{ 关于z轴旋转的图示 zqCr'$ v;.w*x8Jw p!/ *(TT eW\C@>Ke 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 w,zm$s ^ 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 ecdM+kP F9J9zs*, 指向(关于z轴旋转):0° pP)> x*1 Ha/Gn!l
#,S0uA BK 9+fO 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 k = DR<=C`<4( 指向(关于z轴旋转): 30° =`+c}i? ^!7|B3` OI)U c . :F.eyA|#@G 注意:方向角度的定义为: 5?HoCz]l ─ 关于界面坐标轴。 V8947h|& ─ 逆时针方向。 F7&Oc)f"B H=@S+4_bK 指向(关于z轴旋转): -90° g{e@I;F 2PViY,V|
8,&pX ga _zG[b/:p 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 OV`#/QL oTb4 T= 关于y轴旋转180°示例 {s3 j}& }&Ul(HR
GmdS~Fhp "ZR^w5 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 w9,w?%F OE(!^"5?[ 关于y轴旋转180°(未选中) (i@B+c Ey]P
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X8~gLdv8 G|LcTV 注意: \w=*:Z 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 ~+&Z4CYb 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: l.%[s6 ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 EViDMp" ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 `y*o-St3 gPY Cw?zQ 关于y轴旋转180(选中) mApl}I 6B&ERdoX
qVr?st _<7e5VR 注意: j9O"!9$vQ 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. 4^{~MgQWK+ Vbp`Rm1? 例1和例2的附加信息 oF=UjA U,tWLX$@
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