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摘要 nBjfR2TuF lLxKC7b
Xl;u 0vQ@n7 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 f8L \evK.i*KfA 建模任务 U:~O^ 8<Asg2]6
fBS;~;l ueDG1) 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ '{QbjG%<P ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 v0jRoE# ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 PbJn8o K SDo)7` 示例 ? Sj,HLo@U BC%t[H} >R acdaDY 0diQfu)Fi 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 NwIl~FNK ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 c>:}~.~T ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 zK(9k0+s ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 -@Mr!!t?N h<4WY#Y 关于z轴旋转的图示 VzA~w`$d ha1 J^e l6:k|hrm; H\W60|z9 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 .<gAa" 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 25XD fi75 _=3H!b = 指向(关于z轴旋转):0° 7C9qkQ
Jqn O`g44LW2n
t(?m!Z?tb 8RVNRV@g% 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 m@;X%wf<U 1RY}mq 指向(关于z轴旋转): 30° D06'" X<Rh-1$8F aAh")B2 MlkTrKdGi 注意:方向角度的定义为: Se9I1~mX ─ 关于界面坐标轴。 u3R0_8
_.w ─ 逆时针方向。 S7P](F=n# GC?\GV 指向(关于z轴旋转): -90° O(!J^J3_z L)H7~.Dj
Bcg\p} 5u'"m<4 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 yBXdj`bV oZHsCQ % 关于y轴旋转180°示例 V.Dqbv yw41/jHF
{wih)XNY 1"RO)& 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 o/@.*Rj>Bg |lm 关于y轴旋转180°(未选中) d^
L`dot 4.$<o/M
5&D)W>{d wo5"f}vd# 注意: {1li3K&0s 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 c}kZx1 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: cod__. ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 lZ.x@hDS ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 NVU @m+m~ @G+Hrd6 关于y轴旋转180(选中) -"YQo lCLz!k2di
+[:"$?J L}UJ`U 注意: 5+].$ 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. h}k)7 ,#hS#?t 例1和例2的附加信息 DygMavA. eu@hmR8T
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