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摘要 z6jc8Z=O y}My.c
-y8`yHb_ l0PZ`m+;j 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 &3J_^210 }dWq=)* 建模任务 SEGri#s w&o&jAb-M
N D(/uyI -ZRO@&tMD 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ +wN^c#~7 ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 8&?s#5zA ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 a1t4Dd X.f>'0i 示例 R3;Tk^5A ND>r#(_\ xp}hev^@$ _m
gHJ 0v' 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 \eT5flC ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 'rO!AcdLU ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 *E/`KUG] ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 'B 43_ VC\ S'z 关于z轴旋转的图示 qln3 k` <`B,R*H{ ||hb~%JK6 El[)?+;D 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 G~2jUyv 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 1 u| wMO Crho=RJPR 指向(关于z轴旋转):0° 3=FZ9>by ]B%v+uaW
zF8dKFE~ AX;8^6.F3 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 sk,ox~0R vq^f}id 指向(关于z轴旋转): 30° wVicyiY] *W0y: 3dB3 6K-_pg] s.N7qO^:E 注意:方向角度的定义为: ![YX]+jqNp ─ 关于界面坐标轴。 5NS[dQG5 ─ 逆时针方向。 K?B{rE Lp OjJXysslXO 指向(关于z轴旋转): -90° "a
ueL/dgN [ sN EHf
XC0bI,Fu, -:2$ % 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 rz wF~-m + R?~Yp?B^ 关于y轴旋转180°示例 %k-3?%&8 \O*-#} ~\
6*B1 9+- &]e'KdXF 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 ~P8tUhffK ewa wL" 关于y轴旋转180°(未选中) Szq/hv=Q s \;" X
4wa`<H&S5 iop2L51eJ 注意: J&[@}$N 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 !MYSfPdS 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: cC=[Saatsf ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 # {w9s0: ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 /<@SFF. W-x?:X<} 关于y轴旋转180(选中) *)ardZV${ WN{ 9
-8eoNzut $@^pAP 注意: Hyb3 ;yQ 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. \>jLRb|7Ts ;>
_$` 例1和例2的附加信息 OMWbZ>jB P3cR l']
[Sr,h0h6 0fb`08,^
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