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摘要 E-9>lb sV%=z}n=
E9.1~
) PJKxh%J 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 RLw/~ ;]BNc" 建模任务 5P('SFq'= O" [#g
C-Y7n5 ! OVi\v
'm 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ )C$Ij9<A ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 pXNH ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 zyK11 527u d^: 示例 '7]9q#{su sWq}/!@& lP(<4mdP Ox aS<vQ3 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 EL
*l5!Iu ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 Pl|*+g ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 z.t,qi$;{U ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 2Y}A9Veb IxWX2yJ] 关于z轴旋转的图示 !?B2OE _=qk.| p/ .KYDYdoS' gF M~M( 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 O4W2X@ 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 Pi[(xD8 *;
6LX 指向(关于z轴旋转):0° x}7Xd P.2$ *u34~v16,
f*[Uq0? U,`F2yD/! 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 ?l
0WuU K+U0YMRmz 指向(关于z轴旋转): 30° y|#Fu yA<\?Ps %G] W Oq=q rIj B{X{Z 注意:方向角度的定义为: Js,.$t ─ 关于界面坐标轴。 ][T>052v ─ 逆时针方向。 ; JHf0 pmDFmES 指向(关于z轴旋转): -90° 04E#d.o' ,5|@vW2@u
4L2TsuLw e({-.ra 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 eG5xJA^ n6GB2<y 关于y轴旋转180°示例 v$|cF'yyF= 5bprhq-7
X4v0>c OxVe}Fym 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 *2I@_b6& n\4sNoFI 关于y轴旋转180°(未选中) [Kanj/ kAk+Sq^n
+r]2. U#n1N7P|$F 注意: <~.1>CI9D3 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 , *Z!Bd8 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: 5q.)K
f+ ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 .u9,w ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 EYKV}` y)+lU 关于y轴旋转180(选中) HS
1zA >VvA&p71b
\w@ "`!% Ne2eBmY}( 注意: -xU4s 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. BP0*`TY ~fF;GtP 例1和例2的附加信息 UJQGwTA W n ]P,5
IdWFG?b3 q{+Pf/M5
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