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摘要 S+*g f(Uo?_as
&s>E~M0+J C>gC99 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 /ho7O/aAa "t!_bma 建模任务 J7Y lmi T_NN.Ol
31)eDs ?Fp2W+M
j 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ 7LrWS83 ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 >= VCKN2'j ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 lVra&5 WTX!)H6Zv 示例 t8_i[Hw6D kX8Ey xwjiNJ Gj g* DBW, 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 4ynGXJmMlR ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 ..a@9#D ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 t*dd/a ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 <Dq7^,}# z5q( 关于z轴旋转的图示 t}x^*I$* "IuPg=|# -?Kd[Ma &wea]./B 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 h4geoC_W2 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 %RD%AliO}K jk9/EmV*r 指向(关于z轴旋转):0° >m'n#=yap )gPkL
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3`U^sr:[% /Ps5Og 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 s_RUb \VAm4 指向(关于z轴旋转): 30° qku}cWD9/_ -![>aqWmj1 6~.{~+Bd \l71Q/y6u` 注意:方向角度的定义为: JthW"{E ─ 关于界面坐标轴。 JK9 J;c#T ─ 逆时针方向。 o%_Hmd;_' gBd@4{y6C. 指向(关于z轴旋转): -90° DC+l3N u81@vEK:_
4KnrQ-D ka?EXF: 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 :/~TV >^TcO 关于y轴旋转180°示例 V PaW-o
y@2$sK3K
q:vc;y >))K%\p
使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 JSu+/rI1 l0nm>ps'D 关于y轴旋转180°(未选中) rJw
Ws owKOH{otf
b 67l\L 4ztU) 1 注意: Gz kvj:(V 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 45U!\mG 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: =niT]xf ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 gvCQ![ ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 ~Hb2-V /M5R<rl 关于y轴旋转180(选中) ck\TTNA BVe c
H-/w8_} KG MNu\=p\Eq 注意: nk.j7tu 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. K6G+sBw[ R@A"U[* 例1和例2的附加信息 i(an]%'v aK5O0`
b<8,'QgB J|.n bSE
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