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p;R&h4H 内容简介 66+]D4(k Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 m9jjKu]| 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 #^ .G^d(= 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
2)n%rvCQ f^5sJ0;% 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 y^kC2DS 目录 {4p7r7n' Preface 1 36.mf_AM 内容简介 2 >SYOtzg% 目录 i 3=UufI 1 引言 1 ;;U&mhz` 2 光学薄膜基础 2 !ueh%V Ky 2.1 一般规则 2 =FFs8&PKys 2.2 正交入射规则 3 zx"0^r} 2.3 斜入射规则 6 N5k9o:2 2.4 精确计算 7 [`KQ\4u 2.5 相干性 8 ,c;#~y 2.6 参考文献 10 qPhVc9D# 3 Essential Macleod的快速预览 10 xcJvXp
4 Essential Macleod的特点 32
S=~+e{ 4.1 容量和局限性 33 q zo)\, 4.2 程序在哪里? 33 y6s/S. 4.3 数据文件 35 uHDUuK:Ur 4.4 设计规则 35 =Q|s[F 4.5 材料数据库和资料库 37 .Dr7YquW 4.5.1材料损失 38 6Hd^qouid 4.5.1材料数据库和导入材料 39 e+@.n 4.5.2 材料库 41 :b#5cMUe 4.5.3导出材料数据 43 v57Kr , 4.6 常用单位 43 l?;ReK.r 4.7 插值和外推法 46 xelh!AtE 4.8 材料数据的平滑 50 *\Hut'7 d 4.9 更多光学常数模型 54 U2JxzHXZ 4.10 文档的一般编辑规则 55 "DJ%Yo 4.11 撤销和重做 56 n4ti{-^4|d 4.12 设计文档 57 T16B2|C"Y 4.10.1 公式 58 xrJ0 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 -r0oO~KT 4.10.3 沉积密度 59 h 'is#X 6: 4.10.4 平行和楔形介质 60 O9p^P%U " 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 lPl JL`e 4.10.4 性能 61 Mq6_Q07 4.10.5 保存设计和性能 64 i'#%t/ u 4.10.6 默认设计 64 x6=tS
4.11 图表 64 q#Ik3 5 4.11.1 合并曲线图 67 %g4)f9> 4.11.2 自适应绘制 68 6|%HCxWO 4.11.3 动态绘图 68 fK=vLcH 4.11.4 3D绘图 69 $>%zNq-F 4.12 导入和导出 73 |e3YTLsI 4.12.1 剪贴板 73 ayA_[{j%X 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 dBW#PRg 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 "n<u(m8E 4.13 背景 77 9x9E+DG#( 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 uQW d1> 4.15 生成Rugate 84 H329P*P 4.16 参考文献 91 l02aXxT)] 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 I]ol[
X0S 5.1 Jobs 92 xtp55"g 5.2 创建一个新Job(工作) 93 UX'tdB
!A 5.3 输入材料 94 HYg7B 5.4 设计数据文件夹 95 ?Ye%k 5.5 默认设计 95 NMP*q
@ 6 细化和合成 97 *P[N.5{ 6.1 优化介绍 97 /3~}= b 6.2 细化 (Refinement) 98 `P9%[8`C 9 6.3 合成 (Synthesis) 100 u\UI6/ 6.4 目标和评价函数 101 .O.fD 6.4.1 目标输入 102 P99s 6.4.2 目标 103
(8j@+J 6.4.3 特殊的评价函数 104 hM`*-+Zb 6.5 层锁定和连接 104 t]pJt 6.6 细化技术 104 k:zGv 6.6.1 单纯形 105 mHC36ba 6.6.1.1 单纯形参数 106 Qp>Q-+e0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 %w6lNl 6.6.2.1 Optimac参数 108 ,u>K##X\ 6.6.3 模拟退火算法 109 E}=F
6.6.3.1 模拟退火参数 109 DzCb'# 6.6.4 共轭梯度 111 aeF^&F0 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 O<w7PS 6.6.5 拟牛顿法 112 i{ /nHrN 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 cNqw(\rr 6.6.6 针合成 113 v_@!u` 6.6.6.1 针合成参数 114 y|Zj
M 6.6.7 差分进化 114 :~9F/Jx 6.6.8非局部细化 115
'+C%]p 6.6.8.1非局部细化参数 115 [x|{VJ(h 6.7 我应该使用哪种技术? 116 '~'3x4Bo 6.7.1 细化 116 j-etEWOTr 6.7.2 合成 117 h%@#jvh?4 6.8 参考文献 117 V?cUQghHg 7 导纳图及其他工具 118 jl4rEzVu 7.1 简介 118 K3t^y`z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 L"!BN/i_ 7.2.1 四分之一波长规则 119 D$c4's`5 7.2.2 导纳图 120 "A9 c] 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 gs77")K& 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 x;*KRO 7.5 斜入射导纳图 141 mCx6$jz 7.6 对称周期 141 PK*
$ 7.7 参考文献 142 ub]
w"N 8 典型的镀膜实例 143 I^6zUVH 8.1 单层抗反射薄膜 145 Zx]"2U# 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ouUU(jj02 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 3^zOG2 8.4 W-膜层 148 Au/n|15->C 8.5 V-膜层 149 )Hy|K1 8.6 V-膜层高折射基底 150 D}Lx9cL 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ZK]C!8\2| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 SLc'1{ 8.9 四层抗反射薄膜 153 [(N<E/m %B 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 etH%E aF[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 `4 A%BKYB 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 "L" 6jT 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ABp/uJI) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 vQ}llA
h 8.15十五层宽带抗反射膜 159 oa|nQ`[ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 f"5vpU^5* 8.17 1/4波长堆栈 162 Kq;Yb& 8.18 陷波滤波器 163 OsR4oT 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 lH ^[b[ 8.20 褶皱 165 gI^*O@Q4{b 8.21 消偏振分光器1 169 HIi5kv]}| 8.22 消偏振分光器2 171 7>J8\= 8.23 消偏振立体分光器 172 K_B-KK(^ 8.24 消偏振截止滤光片 173 dg1h<]T"9 8.25 立体偏振分束器1 174 3say&|kJ 8.26 立方偏振分束器2 177 \6xVIQ& 0 8.27 相位延迟器 178 v}ZQC8wL 8.28 红外截止器 179 a ^b_&}y 8.29 21层长波带通滤波器 180 .~6p/fHX 8.30 49层长波带通滤波器 181 LQs2!]?HT 8.31 55层短波带通滤波器 182 eVDI7W:(Sn 8.32 47 红外截止器 183 _S#uxgL< 8.33 宽带通滤波器 184 &la;Vu"dp 8.34 诱导透射滤波器 186 T)]5k3{ 8.35 诱导透射滤波器2 188 ><[($Gq`g 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }cG!93 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,r{\aW@ 8.35 增益平坦滤波器 193 ND7
gxt-B 8.38 啁啾反射镜 1 196 FHI`/ 8.39 啁啾反射镜2 198 @%K@oD L 8.40 啁啾反射镜3 199 `2?9eXC 8.41 带保护层的铝膜层 200 nj~1y') 8.42 增加铝反射率膜 201 gYx|Na,+ 8.43 参考文献 202 Z!m0nx 9 多层膜 204 )sVz;rF< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 0zaE?dA] 9.2 内部透过率 204 5TVDt 9.3 内部透射率数据 205 n9Z|69W6> 9.4 实例 206 @
Sw[+` 9.5 实例2 210 vO"Sy{)Z> 9.6 圆锥和带宽计算 212 2*5Z|
3aX 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [|\~-6"7N| 10 光学薄膜的颜色 216 A_}F 10.1 导言 216 Qj?FUxw 10.2 色彩 216 |?SK.1pW 10.3 主波长和纯度 220 }r6SV%]: 10.4 色相和纯度 221 ~&=-* 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 #n7uw 10.6 色差 226 TDdFuO'} 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ]%3o"| 10.8 颜色渲染指数 234 iNgHx[*? 10.9 色差计算 235 jAmAT/ 1 10.10 参考文献 236
Q uy5H 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 2![.Kbqa% 11.1 短脉冲 238 )%U&z>^P 11.2 群速度 239 H~1*`m 11.3 群速度色散 241 cejSGsW6q 11.4 啁啾(chirped) 245 :Q=Jn?Gjb 11.5 光学薄膜—相变 245 IDb|J%e^P 11.6 群延迟和延迟色散 246 q3B#rje>h 11.7 色度色散 246 Jeyy Z= 11.8 色散补偿 249 C+$dm)M/q 11.9 空间光线偏移 256 eZ
y)>.6Z 11.10 参考文献 258 u<./ddC 12 公差与误差 260 RX%*:lXi_ 12.1 蒙特卡罗模型 260 3HC aZ?Ry' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 |r!G(an1x4 12.2.1 误差工具 267 I3D8xl>P\ 12.2.2 灵敏度工具 271 l~wx8
,?G 12.2.2.1 独立灵敏度 271
eP$0TDZ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 R 28v5 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 \aQBzEX 12.3 参考文献 276 `9Zoq=/ 13 Runsheet 与Simulator 277 8l0%:6XbI 13.1 原理介绍 277 ,2/qQD n/ 13.2 截止滤光片设计 277 i=@.u=: 14 光学常数提取 289 &96I4su 14.1 介绍 289 &Jv j@,>$d 14.2 电介质薄膜 289 $ckX H,l_ 14.3 n 和k 的提取工具 295 W`K XO|'p@ 14.4 基底的参数提取 302 &aldnJ 14.5 金属的参数提取 306 9~bje^M 14.6 不正确的模型 306 F`3c uL[N 14.7 参考文献 311 <7/ _Vs)F0 15 反演工程 313 yv^j~ 15.1 随机性和系统性 313 meT~b 15.2 常见的系统性问题 314 Id(o6j^J_ 15.3 单层膜 314 {BKu'A 15.4 多层膜 314 R$4&>VBu 15.5 含义 319 7OYNH0EH 15.6 反演工程实例 319 ]fIv{[A_
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 N\1!)b 15.6.2 反演工程提取折射率 327 P
Ig)h-w? 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 o-Pa3L= 16.1 光学性质的热致偏移 329 _9wX8fh3D 16.2 应力工具 335 2Otd 16.3 均匀性误差 339 RyKsM. 16.3.1 圆锥工具 339 RxY
;'NY 16.3.2 波前问题 341 2ixg
ix 16.4 参考文献 343 b"t95qlL 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 O E0w/{ 17.1 引言 345 c_<m8b{AEF 17.2 操作数 345 qP6]}Aj] 18 如何在Function中编写脚本 351 DcE)6z# 18.1 简介 351 |Xk'd@< 18.2 什么是脚本? 351 fGHYs 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 O&Q_vY 18.4 基础 352 S)of.Nq.; 18.4.1 Classes(类别) 352 d76k1-m\o 18.4.2 对象 352 Ol6jx%Je` 18.4.3 信息(Messages) 352 ;3OQgKI 18.4.4 属性 352 hC?:XVt 18.4.5 方法 353 W'u6F-$2 18.4.6 变量声明 353 I3]-$ 18.5 创建对象 354 OF&{mJH"g' 18.5.1 创建对象函数 355 B*p`e1 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ,3&XV%1 18.5.3 丢弃对象 356 '8K5=|!J 18.5.4 总结 356 m.e+S,i 18.6 脚本中的表格 357 Qyvn A|& 18.6.1 方法1 357 Gf(hN|X. 18.6.2 方法2 357 R)MWO5 18.7 2D Plots in Scripts 358 nfET;:{ 18.8 3D Plots in Scripts 359 {m~.'DU 18.9 注释 360 [74HUw> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 u9My.u@-*% 18.11 一个更高级的脚本 362 ggtGecKm 18.12 <esc>键 364 v=e`e68U~ 18.13 包含文件 365 A Vf'"~? 18.14 脚本被优化调用 366 ~=91Kxf 18.15 脚本中的对话框 368 6&_"dg" 18.15.1 介绍 368 v7&oHOk! 18.15.2 消息框-MsgBox 368 &NZl_7PL 18.15.3 输入框函数 370 $mOVo'2 18.15.4 自定义对话框 371 G66sPw 18.15.5 对话框编辑器 371 gcDo o2RE 18.15.6 控制对话框 377 @TF^6)4f 18.15.7 更高级的对话框 380 /8(c^ 18.16 Types语句 384 I[,tf! 18.17 打开文件 385 DKw%z8ft| 18.18 Bags 387 3fPd|F.kF 18.13 进一步研究 388 idW= 19 vStack 389 BK`NPC$a 19.1 vStack基本原理 389 JLo'=( 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 \JmfQrBQ 19.3 五棱镜 393 Syv[[Ek 19.4 光束距离 396 4Gz5Ju 19.5 误差 399 ^f*}]`S 19.6 二向分色棱镜 399 +c;/hM<IX. 19.7 偏振泄漏 404 +TzZ
19.8 波前误差—相位 405 ,p2BB"^_i 19.9 其它计算参数 405 !lxs1!: 20 报表生成器 406 ML@-@BaN 20.1 入门 406 ,{DZvif
20.2 指令(Instructions) 406 aDEz|>q 20.3 页面布局指令 406 ZslH2#
20.4 常见的参数图和三维图 407 W,<L/ZKJ 20.5 表格中的常见参数 408 ,Vb;2 20.6 迭代指令 408 lO=+V 6 20.7 报表模版 408 +/
s2;G 20.8 开始设计一个报表模版 409
s+#|j;V< 21 一个新的project 413 pkTg.70wU 21.1 创建一个新Job 414 b^
wWg 21.2 默认设计 415 /IQl 21.3 薄膜设计 416 &%J+d"n( 21.4 误差的灵敏度计算 420 CUJP"u>8M 21.5 显色指数计算 422 ~q0g7?}& 21.6 电场分布 424 )D_ZZPq_ 后记 426 1K(a=o[Ce 有兴趣可以扫码加微联系 7C~qAI6Eg
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