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^u!Tyb8Dk 内容简介 1cBhcYv" Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 c/Yi0Rl) 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 '5/}MMT 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 bV*zMoD# KB R0p&MN 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 |u r~s$8y- 目录 U/!&KsnT Preface 1 [=6~"!P} 内容简介 2 !muYn-4M 目录 i kO_XyC4( 1 引言 1 `L#?eQ{ 2 光学薄膜基础 2 iv+jv2ZF% 2.1 一般规则 2 psX%.95Y 2.2 正交入射规则 3 |QOJ9~hxD 2.3 斜入射规则 6 n qLAby_ 2.4 精确计算 7 [Cqqjv;_ 2.5 相干性 8 -wQ^oOJ 2.6 参考文献 10 #S%Y;ilq 3 Essential Macleod的快速预览 10 *X
l<aNNx 4 Essential Macleod的特点 32 p
<=% 4.1 容量和局限性 33 _G[I2] 4.2 程序在哪里? 33 \41)0,sEy 4.3 数据文件 35 TUUE(sLA 4.4 设计规则 35 5f'g3' 4.5 材料数据库和资料库 37 (}1v^~FXj 4.5.1材料损失 38 -^4bA<dCCE 4.5.1材料数据库和导入材料 39 V9j1j}
r 4.5.2 材料库 41 } .3]
4.5.3导出材料数据 43 Eu/y">;v# 4.6 常用单位 43 )ko{S[gG 4.7 插值和外推法 46 <cv2-?L{ 4.8 材料数据的平滑 50 W0MnGzZ 4.9 更多光学常数模型 54 )d(0Y<e@ 4.10 文档的一般编辑规则 55 d&T6p&V$ 4.11 撤销和重做 56 n R\n\
4.12 设计文档 57 25a#eDbqi 4.10.1 公式 58 \q|7,S,5 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 8| e$ 4.10.3 沉积密度 59 xR|eye R 4.10.4 平行和楔形介质 60 Wda\a.bXT 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 e(w/m(!Wny 4.10.4 性能 61 M_!u@\ 4.10.5 保存设计和性能 64 +*_fN ]M 4.10.6 默认设计 64 Z-t}6c'Kg 4.11 图表 64 K@jSr*\' 4.11.1 合并曲线图 67 ?S@R~y0K 4.11.2 自适应绘制 68 S -6"f/ 4.11.3 动态绘图 68 <F)w=_%& 4.11.4 3D绘图 69 @0ov!9]Rw- 4.12 导入和导出 73 6<s(e_5f 4.12.1 剪贴板 73 aXIB ) $1 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >{ECyh; 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 |rxKCzjm 4.13 背景 77 YO(:32S 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 'l'
X^LMD 4.15 生成Rugate 84 +#*&XX5A#? 4.16 参考文献 91 'Gl;Ir^ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 /1 US, 5.1 Jobs 92 EItxRHV5 5.2 创建一个新Job(工作) 93 wrQydI 5.3 输入材料 94 K=tx5{V 5.4 设计数据文件夹 95 3V/_I<y 5.5 默认设计 95 U+.PuC[3 6 细化和合成 97 W1?!iE~tO 6.1 优化介绍 97 ,TF<y#wed 6.2 细化 (Refinement) 98 abICoP1zQ 6.3 合成 (Synthesis) 100 Ehb?CnV#J 6.4 目标和评价函数 101
$-$5ta{s 6.4.1 目标输入 102 n9kd2[s| 6.4.2 目标 103 tg7C;rJ 6.4.3 特殊的评价函数 104 -_2Dy1 6.5 层锁定和连接 104 qSEB}1 6.6 细化技术 104 YER:ICQ 6.6.1 单纯形 105 AZxrJ2G 6.6.1.1 单纯形参数 106 3`&VRF8 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Y_[g_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 @[d#mz 6.6.3 模拟退火算法 109 ;23=p=/h 6.6.3.1 模拟退火参数 109 X2\E9hJg 6.6.4 共轭梯度 111 rWoe
?g 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 OgEUq'' 6.6.5 拟牛顿法 112 /&D'V_Q`* 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 j`2B}@ 2 6.6.6 针合成 113 @A
[)hk&(R 6.6.6.1 针合成参数 114 uX[O,l^} 6.6.7 差分进化 114 w::r?.9 6.6.8非局部细化 115 =<[7J]% 6.6.8.1非局部细化参数 115 >.J'L5
x$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 fDU+3b 6.7.1 细化 116 F~z_>1lpP& 6.7.2 合成 117 UvPp~N7, 6.8 参考文献 117 fd?bU|I_2 7 导纳图及其他工具 118 DH\wDQ 7.1 简介 118 W
*YW6 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 5R,la\!bQ 7.2.1 四分之一波长规则 119 5U0ytDZ2/( 7.2.2 导纳图 120
*-9# /Cp 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 tCWJSi`IJ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )UR1E?' 7.5 斜入射导纳图 141 PqT"jOF]n 7.6 对称周期 141 6RH/V:YY 7.7 参考文献 142 `0yb?Nk `: 8 典型的镀膜实例 143 1KW3l<v-6 8.1 单层抗反射薄膜 145 /GsSrP_?] 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ]@*tfz\YaH 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 TT|-aS0l(u 8.4 W-膜层 148 w`M]0'zls 8.5 V-膜层 149 wX-RQ[2X 8.6 V-膜层高折射基底 150 dav vI$TA 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @(i*-u3Tq 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 cICHRp&& 8.9 四层抗反射薄膜 153 N\_( w:q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 +yth_9 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 &c20x+ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Tv`_n2J`2 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 [/?c@N, 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 [FB&4>V/ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 N%O[ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Y.E?;iS 8.17 1/4波长堆栈 162 3nwz<P 8.18 陷波滤波器 163 gk"mr_03 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 (Ar?QwP9> 8.20 褶皱 165 PM@XtL7J 8.21 消偏振分光器1 169 !{IC[g n 8.22 消偏振分光器2 171 5QR}IxQ 8.23 消偏振立体分光器 172 ?hKm&B;d 8.24 消偏振截止滤光片 173 [d0%.+U 8.25 立体偏振分束器1 174 gyC^K3} 8.26 立方偏振分束器2 177 Cq gJ 8.27 相位延迟器 178 1x{XE*%; 8.28 红外截止器 179 %=BtOM_2 8.29 21层长波带通滤波器 180 AQ-mE9>P 8.30 49层长波带通滤波器 181 o5>/}wIf 8.31 55层短波带通滤波器 182 *h2`^Z 8.32 47 红外截止器 183 )eECOfmnZ 8.33 宽带通滤波器 184 [4Y[?)7 8.34 诱导透射滤波器 186 "rVU4F) 8.35 诱导透射滤波器2 188 fc3 Fi'^ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 {h,_"g\V 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 j13riI3A 8.35 增益平坦滤波器 193 0k%hY{ 8.38 啁啾反射镜 1 196 dnix:'D1 8.39 啁啾反射镜2 198
t7&Dwmck9 8.40 啁啾反射镜3 199 `y'aH
'EEd 8.41 带保护层的铝膜层 200 )R~a;?T_c0 8.42 增加铝反射率膜 201 rxs8De 8.43 参考文献 202 AhR0zg 9 多层膜 204 ikr7DBLt 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ]s_@n! 9.2 内部透过率 204 vuZf#\zh} 9.3 内部透射率数据 205 +Jdm#n?_ 9.4 实例 206 *=TYVM9 9.5 实例2 210 <E SvvTf 9.6 圆锥和带宽计算 212 oQ{cSThj 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 qT$)Rb& 10 光学薄膜的颜色 216 uNy!<u 10.1 导言 216 r4EoJyt 10.2 色彩 216 V7BsE w 10.3 主波长和纯度 220 cg{Gc]'1# 10.4 色相和纯度 221 TQ?#PRB 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 KYf;_C,$ 10.6 色差 226 Y_+
SA|s 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 4Ppop 10.8 颜色渲染指数 234 O)`Gzx*ShU 10.9 色差计算 235
A0OB$OK 10.10 参考文献 236 ^Wm*-4 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?&6Q%IUW1 11.1 短脉冲 238 w]F!2b! 11.2 群速度 239 {gw[%[ZM 11.3 群速度色散 241 -n-Z/5~ X 11.4 啁啾(chirped) 245 ;7L ; 11.5 光学薄膜—相变 245 FJ}gUs{m 11.6 群延迟和延迟色散 246 \ZsP]};* 11.7 色度色散 246 !O 8.#+ 11.8 色散补偿 249 Gp8psH 11.9 空间光线偏移 256 oK$'9c5< 11.10 参考文献 258 ZL,6_L/ 12 公差与误差 260 F*,5\s< 12.1 蒙特卡罗模型 260 |*ReqM|_C 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 6P^hN%0 12.2.1 误差工具 267 AC'lS
>7s 12.2.2 灵敏度工具 271 \WX@PfL 12.2.2.1 独立灵敏度 271 !UVk9 12.2.2.2 灵敏度分布 275 1LX)4TCC 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 WU7cF81$ 12.3 参考文献 276 Td& |