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61K"(r~ 内容简介 svhrf;3: Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 h##WA=1QZ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 wH6u5*$p 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 H[Weu 4$"DbaC 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 /"#4T^7& 目录 `
2%6V)s Preface 1 $3P`DJo 内容简介 2 TEVI'%F 目录 i pY}/j;.[ 1 引言 1 rT7^-B* 2 光学薄膜基础 2 @Hjea1@t 2.1 一般规则 2 BBL485` 2.2 正交入射规则 3 3 <SqoJSp 2.3 斜入射规则 6 46,j9x 2.4 精确计算 7 ;;&F1@3tBa 2.5 相干性 8 r%=[},JQ 2.6 参考文献 10 Q~,YbZ-7 3 Essential Macleod的快速预览 10 oXY Moi 4 Essential Macleod的特点 32 mJ 4.1 容量和局限性 33 <'m6^]: 4.2 程序在哪里? 33 .p@N:)W6 4.3 数据文件 35 3<(q } 4.4 设计规则 35 ;j}yB 4.5 材料数据库和资料库 37 \,xFg w4 4.5.1材料损失 38 zCe/Kukvy
4.5.1材料数据库和导入材料 39 }E&NPp> 4.5.2 材料库 41 UQ8bN I7 4.5.3导出材料数据 43 JWHSnu! 4.6 常用单位 43 :pC;`iQ 4.7 插值和外推法 46 Vb4;-?s_ 4.8 材料数据的平滑 50 h/ep`-YaH 4.9 更多光学常数模型 54 .YcN S% 4.10 文档的一般编辑规则 55 " 'tRfB 4.11 撤销和重做 56 mh`|=M]8E 4.12 设计文档 57 {]/8skov5] 4.10.1 公式 58 9y] J/1# 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 SBf FZw) 4.10.3 沉积密度 59 zICI_*~ 4.10.4 平行和楔形介质 60 ecHP
&Z$ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Wd 2sh 4.10.4 性能 61 g1[&c+=U`P 4.10.5 保存设计和性能 64 BGWAh2w6 4.10.6 默认设计 64 ;st\I 4.11 图表 64 $&{IKP)u 4.11.1 合并曲线图 67 rU\[SrIhz 4.11.2 自适应绘制 68 trYTs,KV 4.11.3 动态绘图 68 yI8tH! 4.11.4 3D绘图 69 d ,F5:w& 4.12 导入和导出 73 _j ;3-m 4.12.1 剪贴板 73 v,1F--v 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 /9 hR 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 E_:QSy5G 4.13 背景 77 f`P9ku#j} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 i$Z#9M9 4.15 生成Rugate 84 y\PxR708 4.16 参考文献 91 q-AN[_@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 D3]BTkMMS; 5.1 Jobs 92 &O1v,$}' 5.2 创建一个新Job(工作) 93 2@i;_3sv 5.3 输入材料 94 +x1/-J8_sg 5.4 设计数据文件夹 95 =uV,bG5V1 5.5 默认设计 95 eBcJm 6 细化和合成 97 w]!0< 6.1 优化介绍 97 ?]!vRmZ; 6.2 细化 (Refinement) 98 t_c?Wp~tH 6.3 合成 (Synthesis) 100 nX5C<Ky 6.4 目标和评价函数 101 HOPqxI(k 6.4.1 目标输入 102 TSto9$}* 6.4.2 目标 103 lOerrP6f( 6.4.3 特殊的评价函数 104 Pl 6.5 层锁定和连接 104 8vD3=yK%^ 6.6 细化技术 104 oY3>UZ5\ 6.6.1 单纯形 105 TQ'E5^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 optBA3@e! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 j\2[H^
6.6.2.1 Optimac参数 108 32>x^>G=> 6.6.3 模拟退火算法 109 9([6d.`~ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 iuAq.$oi{ 6.6.4 共轭梯度 111 l)|lTOjb 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 &Ocu#Cb 6.6.5 拟牛顿法 112 >)c9|e=8 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 bkv/I{C>? 6.6.6 针合成 113 u{C)qb5Pu 6.6.6.1 针合成参数 114 ~@9zil41 6.6.7 差分进化 114 8wFn}lw& 6.6.8非局部细化 115 XB/'u39 6.6.8.1非局部细化参数 115 `XMM1y>V9> 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Gp|JU Fo 6.7.1 细化 116 !,bPe5?Ql 6.7.2 合成 117
WL-0( 6.8 参考文献 117 ,2zKQ2z 7 导纳图及其他工具 118 z`#_F}v,m/ 7.1 简介 118 X;EJ&g/ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 \E
hr@g 7.2.1 四分之一波长规则 119 =AkX4k 7.2.2 导纳图 120 u0]q`u/T 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Q[_Ni15 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Eo=HNe 7.5 斜入射导纳图 141 0XIxwc0Iw 7.6 对称周期 141 z8iENECwj 7.7 参考文献 142 CeW7Ym 8 典型的镀膜实例 143 {D(,ft;s^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 RVF F6N^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 _*`q(dYcf 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 A{`]&K1u 8.4 W-膜层 148 s]x2DH+_ 8.5 V-膜层 149 r)B3es&& 8.6 V-膜层高折射基底 150 /'&v4C^y> 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 h48 bb.p2 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 x[Q&k[xV 8.9 四层抗反射薄膜 153 SIv[9G6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 kI+b <$:D 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 shK&2Noan 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 X;]3$\F 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 aBlbg3 q 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 k?-S`o%Q 8.15十五层宽带抗反射膜 159 i./Y w 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 e"_"vbk 8.17 1/4波长堆栈 162 P^4'|#~2T 8.18 陷波滤波器 163 9::YR;NY 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 L>:FGNf^H 8.20 褶皱 165 7}07Pit 8.21 消偏振分光器1 169 U_Y;fSl> 8.22 消偏振分光器2 171 Ar5JP_M`E 8.23 消偏振立体分光器 172 me$$he 8.24 消偏振截止滤光片 173 4K #^dJnC 8.25 立体偏振分束器1 174 Y[,U_GX/R 8.26 立方偏振分束器2 177 jl@K!=q 8.27 相位延迟器 178 4Q&mC" 8.28 红外截止器 179 i*A$SJ:} 8.29 21层长波带通滤波器 180 n}5x-SxS0 8.30 49层长波带通滤波器 181 buc*rtHfA 8.31 55层短波带通滤波器 182 9/H^t*5t 8.32 47 红外截止器 183 dw99FA6 8.33 宽带通滤波器 184 ,whM22Af~{ 8.34 诱导透射滤波器 186 d#Wn[h$" 8.35 诱导透射滤波器2 188 auoA 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 l~{T#Q 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 yh$ ~*UV 8.35 增益平坦滤波器 193 oHRbAE^ 8.38 啁啾反射镜 1 196 Xr)g 8.39 啁啾反射镜2 198 04[)qPPS 8.40 啁啾反射镜3 199 1W7
iip, 8.41 带保护层的铝膜层 200 5Wl,J _<F 8.42 增加铝反射率膜 201 uTUa4^]* 8.43 参考文献 202 nu(eLUU 9 多层膜 204 wEv*1y4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 LVWxd}0 9.2 内部透过率 204 m9cj7 9.3 内部透射率数据 205 |:/ @t 9.4 实例 206 %rX\
P 9.5 实例2 210 N~0$x,bR 9.6 圆锥和带宽计算 212 B~e7w 4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Xe> ~H4I9 10 光学薄膜的颜色 216 %pM :{Z 10.1 导言 216 eKS:7:X 10.2 色彩 216 >sB=\ 10.3 主波长和纯度 220 d`<#}-nh 10.4 色相和纯度 221 wfWS-pQ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 l.yJA>\24I 10.6 色差 226 F^[M 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 e4 ?<GT 10.8 颜色渲染指数 234 UU-v;_oP 10.9 色差计算 235 X%*brl$D 10.10 参考文献 236 #SK#k<&P 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Q=MCMe 11.1 短脉冲 238 dcM+ylB 11.2 群速度 239 ByC1I.B` 11.3 群速度色散 241 hE9'F(87a 11.4 啁啾(chirped) 245 8o%E&Jg: 11.5 光学薄膜—相变 245 }NR`81 11.6 群延迟和延迟色散 246 B44]NsYks~ 11.7 色度色散 246 \qRjXadj 11.8 色散补偿 249 k_-vT 11.9 空间光线偏移 256 /{49I, 11.10 参考文献 258 )sMAhk| 12 公差与误差 260 1Qrm"TFo 12.1 蒙特卡罗模型 260 P]{B^,E 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 G >I. 12.2.1 误差工具 267 Y!Usce 12.2.2 灵敏度工具 271 XtnIK 12.2.2.1 独立灵敏度 271 x Q@&W; 12.2.2.2 灵敏度分布 275 vK[v
eFH 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 WX+< 4j 12.3 参考文献 276 EXv\FUzo 13 Runsheet 与Simulator 277 qYQUr8{ 13.1 原理介绍 277 0W!VV=j<} 13.2 截止滤光片设计 277 hXj* {vT 14 光学常数提取 289 hCSRsk3 14.1 介绍 289 4'd;'SvF 14.2 电介质薄膜 289 8HHgN`_ 14.3 n 和k 的提取工具 295 =k[(rvU3 14.4 基底的参数提取 302 Hz8Jgp 14.5 金属的参数提取 306 xP<H,og&x= 14.6 不正确的模型 306 a @yE:HU 14.7 参考文献 311 ^F;Z%5P= 15 反演工程 313 0e[ tKn( 15.1 随机性和系统性 313 l{B<"+8 15.2 常见的系统性问题 314 =[v2 15.3 单层膜 314 s\F EA"w/ 15.4 多层膜 314 /zDSlj<c 15.5 含义 319 N9fUlXhR 15.6 反演工程实例 319 vV\/pu8 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Q{(,/}kA- 15.6.2 反演工程提取折射率 327 t*ri`}a{v 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ?eYchVq 16.1 光学性质的热致偏移 329 i2\\!s 16.2 应力工具 335 x);?jxd 16.3 均匀性误差 339 oj,Vi-T Z 16.3.1 圆锥工具 339 Q>#)LHX 16.3.2 波前问题 341 KU8Cl>5 16.4 参考文献 343 uv_P{%TK 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 }(f,~?CP] 17.1 引言 345 _s*uF_:3 17.2 操作数 345 O(:u( U7e 18 如何在Function中编写脚本 351 c@"i? 18.1 简介 351 3XYIb Xnk 18.2 什么是脚本? 351 x1 R! 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 o
i,g 18.4 基础 352 D7n&9Z 18.4.1 Classes(类别) 352 ta+"lM7A}$ 18.4.2 对象 352 #o}{cXX# 18.4.3 信息(Messages) 352 PN)TX~} 18.4.4 属性 352 x u\/]f) 18.4.5 方法 353 ,vHX>)M| 18.4.6 变量声明 353 ~-o^eI4_ 18.5 创建对象 354 =Un 6|] 18.5.1 创建对象函数 355 ;Wp`th!F 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 }I'>r(K 18.5.3 丢弃对象 356 5y
'ycTjY 18.5.4 总结 356 S^sW.(I 18.6 脚本中的表格 357 ~O7cUsAi' 18.6.1 方法1 357 joSr,'x 18.6.2 方法2 357 t'_,9 18.7 2D Plots in Scripts 358 FC/>L 18.8 3D Plots in Scripts 359 Qnu&GBM 18.9 注释 360 V!aC#^ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 nk?xNe4 18.11 一个更高级的脚本 362 [^"(%{H 18.12 <esc>键 364 HS|g
18.13 包含文件 365 (B?xq1Q 18.14 脚本被优化调用 366 WZy6K(18"' 18.15 脚本中的对话框 368 E&Zx]?~ 18.15.1 介绍 368 u/c~PxC 18.15.2 消息框-MsgBox 368 4UX]S\X 18.15.3 输入框函数 370 Wb-'E%K 18.15.4 自定义对话框 371
.ubbNp_LU 18.15.5 对话框编辑器 371 &@.=)4Y 18.15.6 控制对话框 377 ~d<`L[ 18.15.7 更高级的对话框 380 Z ysUz 18.16 Types语句 384 36Fa9P FCc 18.17 打开文件 385 %RR|QY* 18.18 Bags 387 N*4IxY'vX/ 18.13 进一步研究 388 aN);P> 19 vStack 389 d)J] Y=j 19.1 vStack基本原理 389 #I@[^^Vw 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 e+=G-u5}- 19.3 五棱镜 393 9#$V1(}? 19.4 光束距离 396 sN an" 19.5 误差 399 eRWF7`HH+ 19.6 二向分色棱镜 399 w<^2h}5 19.7 偏振泄漏 404 DB?PS^-2 19.8 波前误差—相位 405 yl;$#aZB 19.9 其它计算参数 405 )T~ +>+t 20 报表生成器 406 MxvxY,~{0 20.1 入门 406 !6i 20.2 指令(Instructions) 406 '~x_ 20.3 页面布局指令 406 #Ew
eG^!# 20.4 常见的参数图和三维图 407 M97p.; ; 20.5 表格中的常见参数 408 !/q&0 a 20.6 迭代指令 408 KV&_^xSoh| 20.7 报表模版 408 p 7E{es|J 20.8 开始设计一个报表模版 409 ^V;lZtZ 21 一个新的project 413 .Y Frb+6 21.1 创建一个新Job 414 zyQEz#O 21.2 默认设计 415 JdNPfkOF 21.3 薄膜设计 416 ` vmk 21.4 误差的灵敏度计算 420 #i#.tc 21.5 显色指数计算 422 KVe'2Q< 21.6 电场分布 424 ra#)*fG,~ 后记 426 3<Y;mA=hw 有兴趣可以扫码加微联系 lNnbd?D8 E$zq8-p| */h9 "B
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