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|]~], 内容简介 ?{P$|:ha Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 7x]q>Y8T 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 m@']%X*(, 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 y;%\w-.\ H<tU[U=G 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 p|em_!H"SH 目录 {e1sq^>| Preface 1 7m %[$X` 内容简介 2 J!}\v=Rn 目录 i u2IU/z8
^ 1 引言 1 U02 2 光学薄膜基础 2 +,Or^pO= 2.1 一般规则 2 3:)_oHq 2.2 正交入射规则 3 0+k..l 2.3 斜入射规则 6 /A+5q\8G 2.4 精确计算 7 !DUOi4I 2.5 相干性 8 |h\A5_0_ 2.6 参考文献 10 pgs<Mo$\%B 3 Essential Macleod的快速预览 10 \t%iUZ$ 4 Essential Macleod的特点 32 1SH]$V4C 4.1 容量和局限性 33 >[&ser 4.2 程序在哪里? 33 7'gk=MQc 4.3 数据文件 35 QX42^]({;c 4.4 设计规则 35 &?TXsxf1Zh 4.5 材料数据库和资料库 37 1h#/8X 4.5.1材料损失 38 $KhD>4^jL 4.5.1材料数据库和导入材料 39 6ma.FvSIM 4.5.2 材料库 41 ("YWJJ'H 4.5.3导出材料数据 43 Dbb=d8utE 4.6 常用单位 43 A%X=yqY 4.7 插值和外推法 46 xLms|jS 4.8 材料数据的平滑 50 j\NCoos 4.9 更多光学常数模型 54 C$$Zwgy 4.10 文档的一般编辑规则 55 G`/4n@ 4.11 撤销和重做 56 QpA$=' 4.12 设计文档 57 1Y%lt5,* 4.10.1 公式 58 s:cJF 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 76]Z~^Y 4.10.3 沉积密度 59 !/ dH"h 4.10.4 平行和楔形介质 60 $Ld-lQsL 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ]o8yZ x 4.10.4 性能 61 S(^YTb7 4.10.5 保存设计和性能 64 N<<O(r 4.10.6 默认设计 64 !? H:? 4.11 图表 64 -8vGvI> 4.11.1 合并曲线图 67 @BPQ > 4.11.2 自适应绘制 68 K4o']{:U 4.11.3 动态绘图 68 VbTX;? 4.11.4 3D绘图 69 .wUnN8crQ 4.12 导入和导出 73 qu!x#OY+ 4.12.1 剪贴板 73 /sn
}Q-Zy2 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 5!pNo*QK 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 O3)B]!xL 4.13 背景 77 df {\O*6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 nf[KD,f 4.15 生成Rugate 84 0l/7JH_@V 4.16 参考文献 91 K9Onjs%U 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Y]Z& 5.1 Jobs 92 wWSw0 H/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 >5?c93? 5.3 输入材料 94 6`%|-o
: 5.4 设计数据文件夹 95 h~qv_)F_ 5.5 默认设计 95 j}K3YfH 6 细化和合成 97
DZ4gp 6.1 优化介绍 97 LE~vSm^# 6.2 细化 (Refinement) 98 1r*yYm' 6.3 合成 (Synthesis) 100 oB>#P-V 6.4 目标和评价函数 101 /x]^Cqe 6.4.1 目标输入 102 U#- 5",X| 6.4.2 目标 103 F >^KXq:Z 6.4.3 特殊的评价函数 104 P[$idRS& 6.5 层锁定和连接 104 o(
mA(h 6.6 细化技术 104 65VTKlDD 6.6.1 单纯形 105 }eI9me@Aa 6.6.1.1 单纯形参数 106
j=G 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 7h2/8YUgQ 6.6.2.1 Optimac参数 108 M+^ NF\ 6.6.3 模拟退火算法 109 `c|H^*RC 6.6.3.1 模拟退火参数 109 P #8+1iC1 6.6.4 共轭梯度 111 I,05'edCQ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 WvoIh4] 6.6.5 拟牛顿法 112 H|,d`@U 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :7X{s4AU6 6.6.6 针合成 113 LOu9 #w" 6.6.6.1 针合成参数 114 lqgR4 ! 6.6.7 差分进化 114 b|may/xWH 6.6.8非局部细化 115 !KT.p2\ 6.6.8.1非局部细化参数 115 QFN 9j 6.7 我应该使用哪种技术? 116 S6C DK: 6.7.1 细化 116 .W$9nbly 6.7.2 合成 117 @MoCEtt 6.8 参考文献 117 Oiqc]4TL 7 导纳图及其他工具 118 *b!.9p K 7.1 简介 118 PR AP~P&^ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 7q 5 \]J[ 7.2.1 四分之一波长规则 119 uZ@qlq8 7.2.2 导纳图 120 a+CJJ3T- 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;PqC*iz 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 %&lwp 7.5 斜入射导纳图 141 1K)9fMr] 7.6 对称周期 141 .QA1'_9 7.7 参考文献 142 =h?%<2t9< 8 典型的镀膜实例 143 /UY'E<wBx 8.1 单层抗反射薄膜 145 sFvYCRw
/ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 l}T@Cgt 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 4PR&67|AH_ 8.4 W-膜层 148 ,%zE>^~ 8.5 V-膜层 149 {j<?+o5A 8.6 V-膜层高折射基底 150 %s5(''a. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 (KfQ'B+ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 x%T^:R 8.9 四层抗反射薄膜 153 0R0_UvsXU 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 kp!(e0n 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Yt_t> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 .b!HEi<F 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _5b~3K/V 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 7fd,I% v 8.15十五层宽带抗反射膜 159 hYA1N&yz@ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 : Q2=t! 8.17 1/4波长堆栈 162 [Z;H=` 8.18 陷波滤波器 163 -]YsiE?r 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Q84XmXm| 8.20 褶皱 165 7|[Dr@.S 8.21 消偏振分光器1 169 n$>_2v 8.22 消偏振分光器2 171 ADP3Nic 8.23 消偏振立体分光器 172 )7AjRtb!/ 8.24 消偏振截止滤光片 173 Gg:W% 8.25 立体偏振分束器1 174 Ra^c5hP:.E 8.26 立方偏振分束器2 177 xk,1D 8.27 相位延迟器 178 CSwB+yN 8.28 红外截止器 179 ]n'.}"8Kn 8.29 21层长波带通滤波器 180 l Dwq[ I]w 8.30 49层长波带通滤波器 181 *13-)yfd
8.31 55层短波带通滤波器 182 ^L\w"`,~ 8.32 47 红外截止器 183 !>+m46A 8.33 宽带通滤波器 184 <~svy)Cz 8.34 诱导透射滤波器 186 j~cG#t] 8.35 诱导透射滤波器2 188 ymR AQVv 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 _0\wyjjU 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 &`-e; Xt 8.35 增益平坦滤波器 193 X)c0y3hk 8.38 啁啾反射镜 1 196 `}}|QP5xG 8.39 啁啾反射镜2 198 V.yDZ" 8.40 啁啾反射镜3 199 {n<1uh9~$8 8.41 带保护层的铝膜层 200
3L4v@ 8.42 增加铝反射率膜 201 NjdDImz.;s 8.43 参考文献 202 6pZ/C<Y|W 9 多层膜 204 KEq48+j 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 m
(kKUv 9.2 内部透过率 204 B7%m7GM 9.3 内部透射率数据 205 tqKX\N=5^ 9.4 实例 206 g`"_+x' 9.5 实例2 210 )o&}i3~Q
9.6 圆锥和带宽计算 212 C
[8='i26 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 hsI9{j]f 10 光学薄膜的颜色 216 '(3|hh)Tl 10.1 导言 216 \#"&S@%c 10.2 色彩 216 KJV],6d 10.3 主波长和纯度 220 `#j;\ 10.4 色相和纯度 221 u1Wixjd| 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 >bO}sx1? 10.6 色差 226 >k~3W> D 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 j<w5xY
10.8 颜色渲染指数 234 99b"WH^3$y 10.9 色差计算 235 WtMDHfwqu\ 10.10 参考文献 236 F/df!I~ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 nfE4rIE4 11.1 短脉冲 238 VlxHZ 11.2 群速度 239 C33RXt$X 11.3 群速度色散 241 }. V!|R, 11.4 啁啾(chirped) 245 U/\LOIs 11.5 光学薄膜—相变 245 cNl$
vP83z 11.6 群延迟和延迟色散 246 SMA' VU 11.7 色度色散 246 1%N[DA^<\ 11.8 色散补偿 249 Y1{*AV6ev6 11.9 空间光线偏移 256 B+ZhQW 11.10 参考文献 258 >T^BD'z@' 12 公差与误差 260 L@G~9{U> 12.1 蒙特卡罗模型 260 <VT|R~ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 xK_0@6
12.2.1 误差工具 267 ;!H]&2`'( 12.2.2 灵敏度工具 271 _Oc\hW 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4Jw_gOY&D 12.2.2.2 灵敏度分布 275 N6!9QIu~i 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 X@:@1+U 12.3 参考文献 276 q]P$NeEiZ" 13 Runsheet 与Simulator 277 r}#,@< 13.1 原理介绍 277 j[:Iu#VR 13.2 截止滤光片设计 277 kAAD&t;w 14 光学常数提取 289 Tpp?(lT7r 14.1 介绍 289 WiF6*]oI 14.2 电介质薄膜 289 nh/%0=S 14.3 n 和k 的提取工具 295 "!PN +gB 14.4 基底的参数提取 302 vu_ u\2d 14.5 金属的参数提取 306 c7 O$< F 14.6 不正确的模型 306 |6Qn/N$+f 14.7 参考文献 311 U)qG]RI 15 反演工程 313 ;:w0%>X^ 15.1 随机性和系统性 313 KhNOxMZ 15.2 常见的系统性问题 314 wv&%09U 15.3 单层膜 314 Y?IX V*J 15.4 多层膜 314 Iv>4o~t 15.5 含义 319 W7q!F 15.6 反演工程实例 319 $1bzsB|^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 5_Oxl6# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 WCwM+D 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 MtBoX*" 16.1 光学性质的热致偏移 329 %j;mDR95 16.2 应力工具 335 %xP'*EaM? 16.3 均匀性误差 339 PKX
Tj6hj) 16.3.1 圆锥工具 339 C+aL8_(R 16.3.2 波前问题 341 *nV*WUS3 16.4 参考文献 343 `SG8w_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 $6*6%T5} 17.1 引言 345 f^@DuI 17.2 操作数 345 b("M8}o 18 如何在Function中编写脚本 351 RH0J#6C/ 18.1 简介 351 lQf38u|| 18.2 什么是脚本? 351 ]+@I]\S4 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 80Z'1'u0 18.4 基础 352 I{uwT5QT- 18.4.1 Classes(类别) 352 })5I/
18.4.2 对象 352 Jm]P,jaLc 18.4.3 信息(Messages) 352 G!5~`v 18.4.4 属性 352 xtX`3=s 18.4.5 方法 353 /fC8jdp& 18.4.6 变量声明 353 5<h:kZ"S^g 18.5 创建对象 354 p!H'JNG 18.5.1 创建对象函数 355 *.A{p ;JC( 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !)LVZfQ0 18.5.3 丢弃对象 356 'zfj`aqc 18.5.4 总结 356 E6s)J -a 18.6 脚本中的表格 357 5HW'nhE 18.6.1 方法1 357 j@Y'>3 18.6.2 方法2 357 h7o?z! 18.7 2D Plots in Scripts 358 nlR7V. 18.8 3D Plots in Scripts 359 ,2Q5'!o 18.9 注释 360 oO&R3zA1d 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 9{XV=a v 18.11 一个更高级的脚本 362 'XW9+jj)/ 18.12 <esc>键 364 gEkH5|*Y 18.13 包含文件 365 9<-7AN}Z 18.14 脚本被优化调用 366 ]seOc],4 18.15 脚本中的对话框 368 \jHIjFwQ
18.15.1 介绍 368 6~!l7HqO 18.15.2 消息框-MsgBox 368 9?4:},FRmE 18.15.3 输入框函数 370 _REAzxeS 18.15.4 自定义对话框 371 P,={ C6* 18.15.5 对话框编辑器 371 Y3?)*kz% 18.15.6 控制对话框 377 7s}Eq~ 18.15.7 更高级的对话框 380 .[C@p`DZ 18.16 Types语句 384 y5`$Aa4~ 18.17 打开文件 385 lkaWwjv_D 18.18 Bags 387 ,HtXD~N 18.13 进一步研究 388 xpB*>zb 19 vStack 389 tqwAS)v= 19.1 vStack基本原理 389 7~m[:Eg6[s 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 tu5T^"BqO 19.3 五棱镜 393 {P!1VYs5 19.4 光束距离 396 I7Xm~w!{qk 19.5 误差 399 S$ Z?T 19.6 二向分色棱镜 399 (u-eL#@ 19.7 偏振泄漏 404 #-8%g{ 19.8 波前误差—相位 405 "-:-!1;Ji 19.9 其它计算参数 405 w>TTu:
7 20 报表生成器 406 -DL"Yw} 20.1 入门 406 )h`8</#m{ 20.2 指令(Instructions) 406 s&F&
*5W 20.3 页面布局指令 406 kB-]SD# 20.4 常见的参数图和三维图 407 BKk+<#Ti 20.5 表格中的常见参数 408 G?<uw RV 20.6 迭代指令 408 f:KZP;/[c 20.7 报表模版 408 h8hyQd$! 20.8 开始设计一个报表模版 409 >.&E-1[+: 21 一个新的project 413 KuZZKh 21.1 创建一个新Job 414 jhH&}d9 21.2 默认设计 415 P`AW8Y6o 21.3 薄膜设计 416 2U@:.S'K 21.4 误差的灵敏度计算 420 =buarxk 21.5 显色指数计算 422 >9< |