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\u?z:mV 内容简介 D-\\L[ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 h@=H7oV7k 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 _m;0%]+ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 pXL_`=3Q EgM.wQHR] 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 W -<E p<7{ 目录 "2;$?*hO# Preface 1 4SCb9|/Q 内容简介 2 O|m-Uz"+ 目录 i 7D\#1h 1 引言 1 #~*fZ|sq+3 2 光学薄膜基础 2 xfCq;?MupW 2.1 一般规则 2 ^Crl~~Gk` 2.2 正交入射规则 3 ..V6U"/ 2.3 斜入射规则 6 /1:`?% ,2 2.4 精确计算 7 XmXp0b7 2.5 相干性 8 |C?<!6.QmV 2.6 参考文献 10 RKFj6u 3 Essential Macleod的快速预览 10 i`Fg kABw 4 Essential Macleod的特点 32 v/=O:SM} 4.1 容量和局限性 33 {c`kC]9 4.2 程序在哪里? 33 mwVH>3{j 4.3 数据文件 35 :]iV*zo_ 4.4 设计规则 35 rD<G_%hP 4.5 材料数据库和资料库 37 o7S,W?;=5
4.5.1材料损失 38 8`XpcK-0 4.5.1材料数据库和导入材料 39 yz8ZY,9 4.5.2 材料库 41 P9;
=O$s 4.5.3导出材料数据 43 -1d2Qed 4.6 常用单位 43 S~0 mY}
m 4.7 插值和外推法 46 ba& \~_4 4.8 材料数据的平滑 50 :"7V,UP
@ 4.9 更多光学常数模型 54 -'3~Y
2# 4.10 文档的一般编辑规则 55 o#gb+[ 4.11 撤销和重做 56 unKTa*U^q 4.12 设计文档 57 ))V)]+ 4.10.1 公式 58 RX}6H<5R 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 hE0
p>R8 4.10.3 沉积密度 59 YA9Xe+g 4.10.4 平行和楔形介质 60 fvK):eCo 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Tm~a&p 4.10.4 性能 61 U">w3o| 4.10.5 保存设计和性能 64 Cp=DdmR 4.10.6 默认设计 64 vggyQf% 4.11 图表 64 zY_BnJ^ 4.11.1 合并曲线图 67 S]mXfB(mh 4.11.2 自适应绘制 68 ~c~N _b 4.11.3 动态绘图 68 f#}P>,TP 4.11.4 3D绘图 69 ,<s'/8Ik 4.12 导入和导出 73 H4p N+ 4.12.1 剪贴板 73 FB-?{78~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 :5IbOpVM 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 H+y(W5|2/X 4.13 背景 77 mu`h6?v 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 *m6~x-x 4.15 生成Rugate 84 <|9s {z 4.16 参考文献 91 d6,SZ*AE 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 \9TCP;{ 5.1 Jobs 92 KR4X&d6 5.2 创建一个新Job(工作) 93 unu%\f>^4 5.3 输入材料 94 'z7,)Q&8 5.4 设计数据文件夹 95 ew
-5VL 5.5 默认设计 95 ,paD/ 6 细化和合成 97 XA75tU[# 6.1 优化介绍 97 ]`39E"zY 6.2 细化 (Refinement) 98 |2w,Np- 6.3 合成 (Synthesis) 100 ;zVtJG` 6.4 目标和评价函数 101 \nT, NV11 6.4.1 目标输入 102 uLXMEx<^ 6.4.2 目标 103 hAq7v']m 6.4.3 特殊的评价函数 104 &6
.r=,BO 6.5 层锁定和连接 104 gz8>uGx&V! 6.6 细化技术 104 h^o>9s/|/H 6.6.1 单纯形 105 7(c7- 6.6.1.1 单纯形参数 106 W(U:D?e 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ?IRp3H 6.6.2.1 Optimac参数 108 2k}~"!e1 6.6.3 模拟退火算法 109 KY 085Fvs 6.6.3.1 模拟退火参数 109
'Vq_/g!?1 6.6.4 共轭梯度 111 2VObj7F 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 x9S~ns+r 6.6.5 拟牛顿法 112 zzOc
# / 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 8U}BSM_<2 6.6.6 针合成 113 &`"Q*N2{ 6.6.6.1 针合成参数 114 A'Q=DoE 6.6.7 差分进化 114 ? t<yk(q 6.6.8非局部细化 115 %%`Q5I 6.6.8.1非局部细化参数 115 p2T<nP<Pt 6.7 我应该使用哪种技术? 116 %6Wv-:LY 6.7.1 细化 116
/6)6 6.7.2 合成 117 =(\
/+
0-[ 6.8 参考文献 117 'MZX"t 7 导纳图及其他工具 118 Q'-g+aN 7.1 简介 118 nGb%mlb 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ZH6#(;b 7.2.1 四分之一波长规则 119 #+$pE@u7A 7.2.2 导纳图 120 \$; Q3t3 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 pxC:VJ; 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 /S9s%scAy 7.5 斜入射导纳图 141 rjsqXo:9 7.6 对称周期 141 JG6"5:: 7.7 参考文献 142 S
?v^/F 8 典型的镀膜实例 143 i$`OOV=/e 8.1 单层抗反射薄膜 145 rBNl%+ sB 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 =e\E{K'f@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Gp*U2LB 8.4 W-膜层 148 J*V@huF 8.5 V-膜层 149 _19x`J3 8.6 V-膜层高折射基底 150 dC&{zNG 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 E(t:F^z&D 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 .FV
wZ:d 8.9 四层抗反射薄膜 153 r(qAe{ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 VL6_in( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 qU!xh) 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 +%Y`>1I^# 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~\4`tc 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 4n1-@qTPF~ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 FUy!j|W6f 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 H# P)n
R
M 8.17 1/4波长堆栈 162 9hoTxWpmy 8.18 陷波滤波器 163 _Nze="Pt 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ~r(/)w\ 8.20 褶皱 165 r7dvj#^ 8.21 消偏振分光器1 169 Hzos$1DJ 8.22 消偏振分光器2 171 ';T=kS<^_ 8.23 消偏振立体分光器 172 vpTYfE 8.24 消偏振截止滤光片 173 DdAs]e|D[ 8.25 立体偏振分束器1 174 JjO="Cmk/ 8.26 立方偏振分束器2 177 |n9q4*dN 8.27 相位延迟器 178 s+mNr3 8.28 红外截止器 179 #f*,mY|> 8.29 21层长波带通滤波器 180 {/Mz/|% 8.30 49层长波带通滤波器 181 ds>V|}f[ 8.31 55层短波带通滤波器 182 u+
wKs` 8.32 47 红外截止器 183 D)0pm?*5A 8.33 宽带通滤波器 184 :i{$p00
G 8.34 诱导透射滤波器 186 |q0MM^%" 8.35 诱导透射滤波器2 188 Ojea~Y]Sr 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }Z^r<-N 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 M
mihWD02 8.35 增益平坦滤波器 193 P1\:hh 8.38 啁啾反射镜 1 196 /Q |guJx 8.39 啁啾反射镜2 198 ?U}Ml]0~ 8.40 啁啾反射镜3 199
Z.!tp 8.41 带保护层的铝膜层 200 %+>t @F,GM 8.42 增加铝反射率膜 201 6LVJ*sjSy 8.43 参考文献 202 <OYy;s 9 多层膜 204 _6Ex}`fyJ
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 l8O12 9.2 内部透过率 204 B Q)1)8r 9.3 内部透射率数据 205 :#yjg1aej 9.4 实例 206 y[L7=Td 9.5 实例2 210 _dg2i|yP< 9.6 圆锥和带宽计算 212 ^F}HWpF_ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 (YOp 10 光学薄膜的颜色 216 jg,oGtRz 10.1 导言 216 ,7wxVR%Ys 10.2 色彩 216 J~\`8cds 10.3 主波长和纯度 220 d-cK`pSB 10.4 色相和纯度 221 ,F4_ps?( 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 gWqO5C~h 10.6 色差 226 x+mfQcSD& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 R78=im7 10.8 颜色渲染指数 234 x{Gdr51% 10.9 色差计算 235 T3-8AUCK8? 10.10 参考文献 236 {{3n">s}: 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 rXortK#\% 11.1 短脉冲 238 83^|a5 11.2 群速度 239 l}#z#L2,` 11.3 群速度色散 241 Y~R['u, 11.4 啁啾(chirped) 245 n\U3f M>N 11.5 光学薄膜—相变 245 GpW5)a 11.6 群延迟和延迟色散 246 Obd};&6Q 11.7 色度色散 246 U}r^M(
s! 11.8 色散补偿 249 O@n1E'S/ 11.9 空间光线偏移 256 j|WuOZm\0 11.10 参考文献 258 M*& tVG 12 公差与误差 260 2f;fdzjk8K 12.1 蒙特卡罗模型 260 qQL]3qP 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 d8Keyi8[ 12.2.1 误差工具 267 5LPyPL L 12.2.2 灵敏度工具 271 {95z\UE} 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ]w)*8
w.) 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Q@7-UIV|q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 `2 vv8cg^ 12.3 参考文献 276 t1y
hU"(J 13 Runsheet 与Simulator 277 /1h
0l; 13.1 原理介绍 277 0Q2P"1>KT/ 13.2 截止滤光片设计 277 AbWnDqv 14 光学常数提取 289 ka3(sctZ5 14.1 介绍 289 W~TT`%[ 14.2 电介质薄膜 289 'dnTu@mUT 14.3 n 和k 的提取工具 295 (l|:$%[0 14.4 基底的参数提取 302 ("UzMr, 14.5 金属的参数提取 306 T'n~QfU 14.6 不正确的模型 306 R4?OFhN9 14.7 参考文献 311 n+C,v.X 15 反演工程 313 JZCRu_M>| 15.1 随机性和系统性 313 sQBl9E'!be 15.2 常见的系统性问题 314 U\_-GS;1 15.3 单层膜 314 ]3+xJz~= 15.4 多层膜 314 q- U/JC 15.5 含义 319 '+!@c&d#%o 15.6 反演工程实例 319 T8ga)BA 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 (sngq{*%%z 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H*l2,0&W 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 rUb`_ W@ 16.1 光学性质的热致偏移 329 E7XFt#P. 16.2 应力工具 335 yK1Z&7>J> 16.3 均匀性误差 339 w(sD}YA) 16.3.1 圆锥工具 339 -I#]#i@gX 16.3.2 波前问题 341 ? qn0]. 16.4 参考文献 343 ~S\Ee 2e> 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 l'_P]@* 17.1 引言 345 R\L0 17.2 操作数 345 +m> %(?=A 18 如何在Function中编写脚本 351 E(5'vr0 18.1 简介 351 y~&R(x~w 18.2 什么是脚本? 351 ;8Z\bHQ> 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 [OH9/" 18.4 基础 352 '>GZB 18.4.1 Classes(类别) 352 qRD]Q 18.4.2 对象 352 (s/hK 18.4.3 信息(Messages) 352 g$qNK`y 18.4.4 属性 352 \]uo^@$bm 18.4.5 方法 353 1LgzqRq 18.4.6 变量声明 353 O23dtH 18.5 创建对象 354 \6UK:'5{ 18.5.1 创建对象函数 355 1:3I G= 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 MX=mGfoa 18.5.3 丢弃对象 356 n4albG4 18.5.4 总结 356 ``~7z;E%@ 18.6 脚本中的表格 357 E~=`Ac,G2 18.6.1 方法1 357 [")3c)OH| 18.6.2 方法2 357 "?I ]h 18.7 2D Plots in Scripts 358 '.n0[2> 18.8 3D Plots in Scripts 359 bt=%DMTn 18.9 注释 360 =Q % F~ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4M)
s 18.11 一个更高级的脚本 362 :hre|$@{a 18.12 <esc>键 364 X 8TwMt 18.13 包含文件 365 7XE |5G 18.14 脚本被优化调用 366 Q:.q*I!D<4 18.15 脚本中的对话框 368 J|DID+M 18.15.1 介绍 368 gm**9]k ^{ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 GqFDN],Wp 18.15.3 输入框函数 370 xLfx/&2 18.15.4 自定义对话框 371 67/&AiS? 18.15.5 对话框编辑器 371 _m;#+`E 18.15.6 控制对话框 377 P4{8pO]B 18.15.7 更高级的对话框 380 _Y7uM6HL\ 18.16 Types语句 384 l{:7*U{d 18.17 打开文件 385 3JB?G>\! 18.18 Bags 387 g\ r%A 18.13 进一步研究 388 /8S g< 19 vStack 389 JLS|G?#0 19.1 vStack基本原理 389 SxC 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 PgNg1 19.3 五棱镜 393 nLn3kMl4 19.4 光束距离 396 |hsg=LX 19.5 误差 399 HZp}<7NR(7 19.6 二向分色棱镜 399 &|;XLRHP} 19.7 偏振泄漏 404 aCu 8
D! 19.8 波前误差—相位 405 K{eq'F5M 19.9 其它计算参数 405 Ga5O&`h 20 报表生成器 406 N5>ioJj 20.1 入门 406 D0 'L 20.2 指令(Instructions) 406 FLT4:B7 20.3 页面布局指令 406 `|Aj3a3sND 20.4 常见的参数图和三维图 407 jf_xm=n 20.5 表格中的常见参数 408 -;/;d z; 20.6 迭代指令 408 ),9^hJ1+@ 20.7 报表模版 408 7Y`/w$ 20.8 开始设计一个报表模版 409 &xKln1z' 21 一个新的project 413 +Y7"!wYR> 21.1 创建一个新Job 414 W @R\m=e2 21.2 默认设计 415 ]L/h,bVI1 21.3 薄膜设计 416 cG)i: 21.4 误差的灵敏度计算 420 -+^E5 21.5 显色指数计算 422 q~*9A-MH 21.6 电场分布 424 ~b.C[s 后记 426 *D&(6$[ ^ 有兴趣可以扫码加微联系 ~p9nAACU ?P<8Zw a[Pyxx_K
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