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^;4nHH7z-, 内容简介 ,!U5; Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 f@Mm{3&. 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 g
&~T X 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 z 3)pvX5 e#]=-^ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 qV0C2jZ2 目录 0p\R@{ Preface 1 ~jMdM~} 内容简介 2 `r;e\Cp 目录 i H~x,\|l# 1 引言 1 }<`Mn34@ 2 光学薄膜基础 2 L/9f"%kZ 2.1 一般规则 2 r#LoBfM;^A 2.2 正交入射规则 3 sXxF5&AF0 2.3 斜入射规则 6 +*-u_L\' 2.4 精确计算 7 >v^Bn|_/ 2.5 相干性 8 !Ziq^o. 2.6 参考文献 10 ,p6X3zY 3 Essential Macleod的快速预览 10 C'3/B)u}l 4 Essential Macleod的特点 32 xb$eFiQ 4.1 容量和局限性 33 *X_CtjgF 4.2 程序在哪里? 33 AU@K5jwDwQ 4.3 数据文件 35 OLpE0gZ.|` 4.4 设计规则 35 JK0L&t< 4.5 材料数据库和资料库 37 *fVs| 4.5.1材料损失 38 "QA <5P 4.5.1材料数据库和导入材料 39 &z;F'>" 4.5.2 材料库 41 k6-.XW 4.5.3导出材料数据 43 eKV^ia 4.6 常用单位 43 44_7gOZ 4.7 插值和外推法 46 Q-78B'!= 4.8 材料数据的平滑 50 r
J'm>&Ps 4.9 更多光学常数模型 54 hp?hb-4l 4.10 文档的一般编辑规则 55 #7K&x.w$ 4.11 撤销和重做 56 ]v96Q/a 4.12 设计文档 57 1L.H" 4.10.1 公式 58 F<y$Q0Z} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 s>Xx:h6m 4.10.3 沉积密度 59 RGy4p)z*+ 4.10.4 平行和楔形介质 60 J8w#J 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Z'iXuI49 4.10.4 性能 61 >en,MT| 4.10.5 保存设计和性能 64 WMfu5x7e4 4.10.6 默认设计 64 m'H%O-h\ 4.11 图表 64 .z7%74p 4.11.1 合并曲线图 67 IKSe X 4.11.2 自适应绘制 68 \A'MEd- 4.11.3 动态绘图 68 !l1UpJp 4.11.4 3D绘图 69 `ro~l_U;A 4.12 导入和导出 73 "1P8[ 4.12.1 剪贴板 73 bm9@A]yP 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 _:F0>=$ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 jeM % XI 4.13 背景 77 boAu 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 apQ` l^ 4.15 生成Rugate 84 n]G!@-z 4.16 参考文献 91 <}x_F)E[t 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 1B+uv0lA 5.1 Jobs 92 V~p/P 5.2 创建一个新Job(工作) 93 _IiTB 5.3 输入材料 94 t>;u;XY!; 5.4 设计数据文件夹 95 D>wq4u 5.5 默认设计 95 DEEQ/B{ 6 细化和合成 97 "e<Z$"7i 6.1 优化介绍 97 8/cD7O 6.2 细化 (Refinement) 98 Z^w11} 6.3 合成 (Synthesis) 100 &t1?=F,] 6.4 目标和评价函数 101 m3zmyw} 6.4.1 目标输入 102 )=6|G^ 6.4.2 目标 103 luD.3&0n 6.4.3 特殊的评价函数 104 "@IrBi6 6.5 层锁定和连接 104 z^s/7Va[ 6.6 细化技术 104 x#z}A&
6.6.1 单纯形 105 j?sq i9# 6.6.1.1 单纯形参数 106 }& ;49k 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )!2$yD 6.6.2.1 Optimac参数 108 Z%_"-ENT 6.6.3 模拟退火算法 109 r}ZL{uWMW 6.6.3.1 模拟退火参数 109 --*Jv"/0 6.6.4 共轭梯度 111 Eshc "U 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ir^%9amh 6.6.5 拟牛顿法 112 fW^\G2Fk 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ;ew j 6.6.6 针合成 113 Cz@[l=-T7 6.6.6.1 针合成参数 114 04{*iS95J 6.6.7 差分进化 114 tHgn-Dhzr 6.6.8非局部细化 115 RzG7Xr=t 6.6.8.1非局部细化参数 115 f?)BAah 6.7 我应该使用哪种技术? 116 (dZu& 6.7.1 细化 116 p^1s9CM% 6.7.2 合成 117 )Zx;Z[ 6.8 参考文献 117 wxw3t@%mNm 7 导纳图及其他工具 118
/~`4a 7.1 简介 118 WN8XiV 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ;OjxEXaq 7.2.1 四分之一波长规则 119 P~Ss\PT 7.2.2 导纳图 120 VB x,q3. 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [|{2&830 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 w\wS?E4G 7.5 斜入射导纳图 141 >|h$d:~n 7.6 对称周期 141 *7MTq_K(An 7.7 参考文献 142 :ryyo$ 8 典型的镀膜实例 143 %-C 8.1 单层抗反射薄膜 145 uA]Z" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 $-4OveS~B 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 VKUoVOFvPR 8.4 W-膜层 148 Y![m'q}K 8.5 V-膜层 149 " sh%8
<N 8.6 V-膜层高折射基底 150 :oRR1k 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @wa2Z 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
r334E 8.9 四层抗反射薄膜 153 "[W${q+0x 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 bvVEV 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #
`}(x;ge
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 H(}Jt!/: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ?LE\pk
R 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 b5r.N1ms 8.15十五层宽带抗反射膜 159 v X=zqV 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 34k}7k~n 8.17 1/4波长堆栈 162 ;IklS*p] 8.18 陷波滤波器 163 .Z[Bz7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 cb ICO 8.20 褶皱 165 QuEfV ?)_4 8.21 消偏振分光器1 169 tl.I:A5L 8.22 消偏振分光器2 171 z
D&5R/I 8.23 消偏振立体分光器 172 RZwjc<T 8.24 消偏振截止滤光片 173 3awh>1N2W 8.25 立体偏振分束器1 174 ~nul[>z 8.26 立方偏振分束器2 177 r?^[o 8.27 相位延迟器 178 gWlv;oq 8.28 红外截止器 179 V4c$V]7 8.29 21层长波带通滤波器 180 \_H-TbU8 8.30 49层长波带通滤波器 181 0UV5}/2rP 8.31 55层短波带通滤波器 182 cY &SKV# 8.32 47 红外截止器 183 <Uz~V; 8.33 宽带通滤波器 184 W*D]?hXU; 8.34 诱导透射滤波器 186 -Fi{[%&u 8.35 诱导透射滤波器2 188 6O|B'?]Pf 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 CHeU`!: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 vkFfHzR$ 8.35 增益平坦滤波器 193 wW5:p]<Y 8.38 啁啾反射镜 1 196 Dm=d
8.39 啁啾反射镜2 198 2|J>e(&akY 8.40 啁啾反射镜3 199 .QwwGm 8.41 带保护层的铝膜层 200 Rg4'9I%B 8.42 增加铝反射率膜 201 [(%6]L} 8.43 参考文献 202 r&^LSTU0! 9 多层膜 204 N#C"@,}Y 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 p#-;u1-B 9.2 内部透过率 204 bf~gWzA 9.3 内部透射率数据 205 Z_%9LxZlyj 9.4 实例 206 ;QMRm<CLV 9.5 实例2 210 F%Te0l 9.6 圆锥和带宽计算 212 M$|r8%z1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 fT7Z6$ 10 光学薄膜的颜色 216 ["5Z=4 10.1 导言 216 v
};r 10.2 色彩 216 )s @}|` 10.3 主波长和纯度 220 6[q<%wA 10.4 色相和纯度 221 >]6inS9 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 os=Pr{ 10.6 色差 226 ~
NO9s 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 IU
f1N+-z 10.8 颜色渲染指数 234 ?]JTrv"zp 10.9 色差计算 235 v% mAU3M 10.10 参考文献 236 ]{tnNr>mv 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Vl91I+Ev 11.1 短脉冲 238 z(-j%? 11.2 群速度 239 3*N-@;[>b 11.3 群速度色散 241 w!~%v
#
11.4 啁啾(chirped) 245 =(!&8U9 11.5 光学薄膜—相变 245 +
?z=,') 11.6 群延迟和延迟色散 246 (:JX;<- 11.7 色度色散 246 UIhU[f] 11.8 色散补偿 249 +`;YK7o 11.9 空间光线偏移 256 y">_$ 11.10 参考文献 258 !/1aot^( 12 公差与误差 260 Mq!vu! 12.1 蒙特卡罗模型 260 Qktj 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 2WKYf0t 12.2.1 误差工具 267 }N^A
(`L 12.2.2 灵敏度工具 271 b4l=Bg" 12.2.2.1 独立灵敏度 271 9qhX\, h 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <W,M?r+
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 zQ;jaS3hf 12.3 参考文献 276 [2]Ti_
>D 13 Runsheet 与Simulator 277 = F!_ivV 13.1 原理介绍 277 E?L^L3s 13.2 截止滤光片设计 277 J$9`[^pV 14 光学常数提取 289 c ilo8x` 14.1 介绍 289 r8o9C 14.2 电介质薄膜 289 ? {@UB* 14.3 n 和k 的提取工具 295 WtT*
1Z 14.4 基底的参数提取 302 RW4}n<
88 14.5 金属的参数提取 306 Bz&6kRPv 14.6 不正确的模型 306 pZpAb+ 14.7 参考文献 311
4
_*^~w 15 反演工程 313 'p%\fb6` 15.1 随机性和系统性 313 9-Y.8:A` 15.2 常见的系统性问题 314 ;IN!H@bq 15.3 单层膜 314 =5a|'O 15.4 多层膜 314 DEdJH4 15.5 含义 319 75u5zD 15.6 反演工程实例 319 17-D\
+} 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 aFCma2 15.6.2 反演工程提取折射率 327 SN${cs% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 *bi!iz5F 16.1 光学性质的热致偏移 329 oWJ0>) 16.2 应力工具 335 9n(.v} 16.3 均匀性误差 339 0j=xWC 16.3.1 圆锥工具 339 Gr1WBYK 16.3.2 波前问题 341 K,ccM[hu| 16.4 参考文献 343 j_3X
1w)k 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 y:C=Ni&," 17.1 引言 345 gpIq4Q< 17.2 操作数 345 EWI2qaSnO 18 如何在Function中编写脚本 351 EWcqMD]4u 18.1 简介 351 4,nUCT 18.2 什么是脚本? 351 TSgfIE| 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 0
`Yg 18.4 基础 352 5:oteNc3 18.4.1 Classes(类别) 352 _TGv"c@V 18.4.2 对象 352 LSX;|#AI 18.4.3 信息(Messages) 352 rc_K|Df 18.4.4 属性 352 8ZnHp~ 18.4.5 方法 353 il=:T\'U9 18.4.6 变量声明 353 SxAZ2|/- 18.5 创建对象 354 /o$C=fDF 18.5.1 创建对象函数 355 EFd9n 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 T-;|E^ 18.5.3 丢弃对象 356 '@jP$6T& 18.5.4 总结 356 /Dmuvb|A 18.6 脚本中的表格 357 |8DMj s()* 18.6.1 方法1 357 +2qCH^80 18.6.2 方法2 357 T>$S&U 18.7 2D Plots in Scripts 358 rw9 m+q 18.8 3D Plots in Scripts 359 C0RnBu 18.9 注释 360 <-Hw@g 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 )BJ Z{E* 18.11 一个更高级的脚本 362 V2v}F= 18.12 <esc>键 364 \dB)G<_ 18.13 包含文件 365 li4"|T& 18.14 脚本被优化调用 366 a 8(mU% 18.15 脚本中的对话框 368
`oPUf! 18.15.1 介绍 368 _J N$zZ{ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 s<GR
? 18.15.3 输入框函数 370 AW\#)Em 18.15.4 自定义对话框 371 v`G [6Z 18.15.5 对话框编辑器 371
i_[nW 18.15.6 控制对话框 377 dTATJ)NH 18.15.7 更高级的对话框 380 y)Y0SY1\j 18.16 Types语句 384 l-~
o&n 18.17 打开文件 385 a7Xa3 vlpO 18.18 Bags 387 h#e((j3-2Z 18.13 进一步研究 388 rQrh(~\: 19 vStack 389 y}.?`/Q# 19.1 vStack基本原理 389 hFLLg|@ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 A;ti$jy 19.3 五棱镜 393 )<>1Q{j@ 19.4 光束距离 396 `P(Otr[6 19.5 误差 399 GIs
*;ps7w 19.6 二向分色棱镜 399 x5Z(_hU 19.7 偏振泄漏 404 oh@|*RU 19.8 波前误差—相位 405 n[`KhRN 19.9 其它计算参数 405 8-"lK7 20 报表生成器 406 [VL+X^ 20.1 入门 406 pOmHxFOOK 20.2 指令(Instructions) 406 6u6,9VG, 20.3 页面布局指令 406 2Nau]y]= 20.4 常见的参数图和三维图 407 ;d#`wSF`G 20.5 表格中的常见参数 408 &Bc$8ZR 20.6 迭代指令 408 i& phko} 20.7 报表模版 408 an<loLW 20.8 开始设计一个报表模版 409 yE3l%<;q 21 一个新的project 413 v"~0 3-SX 21.1 创建一个新Job 414 sf(2~BMQI 21.2 默认设计 415 NH$!<ffz 21.3 薄膜设计 416 2Jl$/W 3 21.4 误差的灵敏度计算 420 :Qekv(z 21.5 显色指数计算 422 Y!0ZwwW 21.6 电场分布 424 c_RAtM<n 后记 426 aR@s.
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