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FbSa ~uN 内容简介 $G?(OWI}l` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 r)l` 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 r:.uBc&_ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 o$bUY7_ 99ASIC! 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 x6yW:tUG5 目录 R ZcH+?7 Preface 1 Wpm9`K 内容简介 2 =&NOHT> 目录 i 2)LX^?7R 1 引言 1 bejGfc 2 光学薄膜基础 2 $Lq:=7&LRn 2.1 一般规则 2 ]if;A ) ' 2.2 正交入射规则 3 0^<,(]! 2.3 斜入射规则 6 P1d,8~; 2.4 精确计算 7 LF=c^9t 2.5 相干性 8 xUj2]Q>R+ 2.6 参考文献 10 %jKH?%Ih 3 Essential Macleod的快速预览 10 el@XK}<dr 4 Essential Macleod的特点 32 gL]'B!dGd 4.1 容量和局限性 33 O3_B<Em 4.2 程序在哪里? 33 m6so]xr 4.3 数据文件 35 KRk~w] 4.4 设计规则 35 <?|6*2_= 4.5 材料数据库和资料库 37 %-^}45](q 4.5.1材料损失 38 wc[c N+p 4.5.1材料数据库和导入材料 39 kEAhTh&g* 4.5.2 材料库 41 _g6wQdxT 4.5.3导出材料数据 43 fA
XE~ 4.6 常用单位 43 fPE ?hG<x 4.7 插值和外推法 46 lP0k: 4.8 材料数据的平滑 50 ,C!n}+27 4.9 更多光学常数模型 54 eY3=|RR 4.10 文档的一般编辑规则 55 m3?e]nL4W 4.11 撤销和重做 56 %|?1B$s0 4.12 设计文档 57 FE6C6dW{ 4.10.1 公式 58 p":@>v? 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Y\8+}g;KR 4.10.3 沉积密度 59 h]}`@M" 4.10.4 平行和楔形介质 60 GN%<"I. 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {y/-:=S)A 4.10.4 性能 61 hT=f;6$ 4.10.5 保存设计和性能 64 ^Jtl;Q 4.10.6 默认设计 64 RIo'X@zb 4.11 图表 64 +E#PJ_H=F8 4.11.1 合并曲线图 67 ?z"YC&Tp 4.11.2 自适应绘制 68 U$09p;~$Ww 4.11.3 动态绘图 68 ;&`:|Hf* 4.11.4 3D绘图 69 G1r V<,#m 4.12 导入和导出 73 .nPL2zO 4.12.1 剪贴板 73 u9@b< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 {kG;."S+K 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 \)GR\~z0h 4.13 背景 77 )8]3kQffJ= 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 UC#"=Xd4 4.15 生成Rugate 84 #XL`S 4.16 参考文献 91 8q*";>* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 dk4D+*R 5.1 Jobs 92 =VCQ* 5.2 创建一个新Job(工作) 93 w=$'Lt! 5.3 输入材料 94 nr<.YeJ 5.4 设计数据文件夹 95 ;r=?BbND? 5.5 默认设计 95 UhA_1A'B 6 细化和合成 97 ,#Ln/; 6.1 优化介绍 97 |P~q/Wff 6.2 细化 (Refinement) 98 EFv4=OWB 6.3 合成 (Synthesis) 100 AA_@\:w^ 6.4 目标和评价函数 101 +<B|qcT! 6.4.1 目标输入 102 :4] J2U\@ 6.4.2 目标 103 F%y{%
C7l 6.4.3 特殊的评价函数 104 hJ4S3b 6.5 层锁定和连接 104 Ir>2sTrm 6.6 细化技术 104 y\z*p&I 6.6.1 单纯形 105 #\0TxG5'QA 6.6.1.1 单纯形参数 106 Fi/jR0]e2 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ?AT(S 6.6.2.1 Optimac参数 108 6,3}/hgWJ$ 6.6.3 模拟退火算法 109 ^K/G 5 6.6.3.1 模拟退火参数 109 `_0)kdu 6.6.4 共轭梯度 111 "p`o]$Wv 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Djyp3uUA/ 6.6.5 拟牛顿法 112 m"q/,}DR 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
Bjtj{B 6.6.6 针合成 113 +yiU@K).0 6.6.6.1 针合成参数 114 CY5w$E 6.6.7 差分进化 114 #9INX`s- 6.6.8非局部细化 115 "C& J wm? 6.6.8.1非局部细化参数 115 +L n M\n 6.7 我应该使用哪种技术? 116 M-vC>u3Y 6.7.1 细化 116 <(Tiazg 6.7.2 合成 117 r
/^'Xj'( 6.8 参考文献 117 "W3W:vl! 7 导纳图及其他工具 118 `fLfT' 7.1 简介 118 RpU Lm1b 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .dt#2a_5q 7.2.1 四分之一波长规则 119
22PGWSQ 7.2.2 导纳图 120 OoE9W 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 F],TG&>5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 kO jEY 7.5 斜入射导纳图 141 htQ;m)>J: 7.6 对称周期 141 7
s7}?l9 7.7 参考文献 142 3L*+ 8a 8 典型的镀膜实例 143 |c=d;+ 8.1 单层抗反射薄膜 145 E}Ljo 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 7Onk!NH 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 8b{U
tT 8.4 W-膜层 148 hl*MUD, 8.5 V-膜层 149 (2cGHYU3N< 8.6 V-膜层高折射基底 150 f>p; siR) 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {a[Uv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 icU"Vyu 8.9 四层抗反射薄膜 153 QXsfp 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ys/`{:w8p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 rtcJ=`)0` 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 vi^z5n 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 [2 =^C=52 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Pu1GCr( 8.15十五层宽带抗反射膜 159 )_X;9%L7 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
4$..r4@ 8.17 1/4波长堆栈 162 >\Z lZ 8.18 陷波滤波器 163 G,+xT}@wu 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 is64)2F]( 8.20 褶皱 165 $U\!q@'$ 8.21 消偏振分光器1 169 "sdcP8])d 8.22 消偏振分光器2 171 o`oRG)QC 8.23 消偏振立体分光器 172 @wg&6uQ 8.24 消偏振截止滤光片 173 3O #~dFnp 8.25 立体偏振分束器1 174 /\6}SG; 8.26 立方偏振分束器2 177 $_ST:h&C 8.27 相位延迟器 178 EPQ&?[6 8.28 红外截止器 179 oZ?IR#^ 8.29 21层长波带通滤波器 180 [O.LUR; 8.30 49层长波带通滤波器 181 D%6ir*%T 8.31 55层短波带通滤波器 182 Bi'I18< 8.32 47 红外截止器 183 I:r($m 8.33 宽带通滤波器 184 H't `Q&]a
8.34 诱导透射滤波器 186 Bk\ *0B 8.35 诱导透射滤波器2 188 Sr4dY`V*:z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 rOs)B 21/ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ?IL!
X-xx 8.35 增益平坦滤波器 193 y.L|rRe@P 8.38 啁啾反射镜 1 196 ,| $|kO/ 8.39 啁啾反射镜2 198 se4w~\/ 8.40 啁啾反射镜3 199 aa%Yk"V@ 8.41 带保护层的铝膜层 200 dY/|/eOt<K 8.42 增加铝反射率膜 201 .%-6&%1 8.43 参考文献 202 J[I"/sdk- 9 多层膜 204 oVKsic? 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 3(oZZz 9.2 内部透过率 204 gEcnn.(S 9.3 内部透射率数据 205 ;mCGh~?G 9.4 实例 206 8A`p 9.5 实例2 210 :
OSmr 9.6 圆锥和带宽计算 212 >FK)p
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 w*|= k~z 10 光学薄膜的颜色 216 `kaR@t 10.1 导言 216 `?Y_0Nh> 10.2 色彩 216 H24ate?t, 10.3 主波长和纯度 220 (h'$3~ 10.4 色相和纯度 221 \@iOnRuHn9 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f(@"[-[ 10.6 色差 226 G}Qk!r 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Z<$E.## 10.8 颜色渲染指数 234 F$"MFdc[ 10.9 色差计算 235 6!gtve_
10.10 参考文献 236 Kt/+PS 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 p@!@^1j= 11.1 短脉冲 238 &r5&6p 11.2 群速度 239 +73=2.C0 11.3 群速度色散 241 s$2l"|h>B 11.4 啁啾(chirped) 245 qr<-eJf 11.5 光学薄膜—相变 245 (50[,:# 11.6 群延迟和延迟色散 246 q9g[+*9]$ 11.7 色度色散 246 \E ? iw.} 11.8 色散补偿 249 I8pv:>EhC 11.9 空间光线偏移 256 3.K{T 11.10 参考文献 258 aHVdClD2o 12 公差与误差 260 =+SVzK,+3 12.1 蒙特卡罗模型 260 Sm*Jysy` 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ]ft~OqLg! 12.2.1 误差工具 267 <MWXew7b 12.2.2 灵敏度工具 271 2f}K#i8 12.2.2.1 独立灵敏度 271 *'AS^2' 12.2.2.2 灵敏度分布 275 yP1Y3Tga= 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 %O4}i@Fe 12.3 参考文献 276 E<98ahZ?l 13 Runsheet 与Simulator 277 ~_# Y,)S!z 13.1 原理介绍 277 N c&i) qh 13.2 截止滤光片设计 277 '!r+Tz 14 光学常数提取 289 a@V/sh 14.1 介绍 289 f3%^-Uy*b 14.2 电介质薄膜 289 u]>>B>KOJ7 14.3 n 和k 的提取工具 295 :DJ7d 14.4 基底的参数提取 302 6Mf3)o2 14.5 金属的参数提取 306 >TY5ZRB 14.6 不正确的模型 306 Ma*dIwEp 14.7 参考文献 311 nDoiG#N0 15 反演工程 313 95gsv\2 15.1 随机性和系统性 313 &Curvc1fm 15.2 常见的系统性问题 314 zvK5Zxl 15.3 单层膜 314 fEv<W
15.4 多层膜 314 HN~v&, 15.5 含义 319 /v;)H#; 15.6 反演工程实例 319 zb~MF_ &gE 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 #pm-nU%|_j 15.6.2 反演工程提取折射率 327 kUaGok? 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 sP3.s_U^ 16.1 光学性质的热致偏移 329 y
T1Qep 16.2 应力工具 335 w?$u! X 16.3 均匀性误差 339 ek;&<Z_ ] 16.3.1 圆锥工具 339 s2kZZP8- 16.3.2 波前问题 341 *|gs-<[#X 16.4 参考文献 343 rO?x/{;ai 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 |q.:hWYFpM 17.1 引言 345 mZ0oa-Iy 17.2 操作数 345 ;MRC~F= 18 如何在Function中编写脚本 351 !$KhL.4P 18.1 简介 351 :?:j$
=nWN 18.2 什么是脚本? 351 v<J;S9u= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 gt t$O 18.4 基础 352 DP6{HR$L 18.4.1 Classes(类别) 352 cLyuCaH>c 18.4.2 对象 352 N5 rG.6K 18.4.3 信息(Messages) 352 3}#XA+Z 18.4.4 属性 352 D`~{[cv)\ 18.4.5 方法 353 >&TnTv?I 18.4.6 变量声明 353 moJT8tb 18.5 创建对象 354 =[)N6XV 3 18.5.1 创建对象函数 355 ^tKOxW#
a 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 QY\wQjwuW 18.5.3 丢弃对象 356 >K|G LP 18.5.4 总结 356 7U[L\1zS 18.6 脚本中的表格 357 h3d\MYO)B 18.6.1 方法1 357 noUZ9M|hz 18.6.2 方法2 357 +S5_J&~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 a6k(O8Ank3 18.8 3D Plots in Scripts 359 9X{nJ" 18.9 注释 360 X-N$+[# 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Rn~Xu)@e 18.11 一个更高级的脚本 362 ?'/5%f` 18.12 <esc>键 364 G>ptwB81KM 18.13 包含文件 365 h^_taAdS` 18.14 脚本被优化调用 366 ?.Yw%{?TG 18.15 脚本中的对话框 368 gUszMhHX 18.15.1 介绍 368 JJHvj=9'o 18.15.2 消息框-MsgBox 368 CpqSn/ 18.15.3 输入框函数 370 Qdr-GODx 18.15.4 自定义对话框 371 wAOVH]. 18.15.5 对话框编辑器 371 ~q T1<k 18.15.6 控制对话框 377 U1HD~ 18.15.7 更高级的对话框 380 :k )<1ua 18.16 Types语句 384 ?^$4)Y>Kf 18.17 打开文件 385 6j"I5,-~! 18.18 Bags 387 v4>"p!_C 18.13 进一步研究 388 4d._Hd=' 19 vStack 389 6L> "m0 19.1 vStack基本原理 389 ^'I5]cRa 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 |m 5;M$M) 19.3 五棱镜 393 y"
6~9j 19.4 光束距离 396 NDa|., 19.5 误差 399 A{Htpm ~ 19.6 二向分色棱镜 399 '-]BSU 19.7 偏振泄漏 404 8!%"/*P$ 19.8 波前误差—相位 405 O9=H
[b 19.9 其它计算参数 405 4x{ti5Y0 20 报表生成器 406 pL/.JzB 20.1 入门 406 `L*;58MA 20.2 指令(Instructions) 406 iN4'jD^oP 20.3 页面布局指令 406 F4<2.V)#- 20.4 常见的参数图和三维图 407 wYMX1= 20.5 表格中的常见参数 408 MHyl=5 20.6 迭代指令 408 UG'U
D" 20.7 报表模版 408 H'\ EA(v+ 20.8 开始设计一个报表模版 409 {BCjVmY 21 一个新的project 413 =egi?Ne 21.1 创建一个新Job 414 5YH
mp7c-z 21.2 默认设计 415 LLY;IUK!R 21.3 薄膜设计 416 *#^1rKGWK 21.4 误差的灵敏度计算 420 Ry S{@=si 21.5 显色指数计算 422 ]bE?n.NwZ 21.6 电场分布 424 7c]Ai 后记 426 MVd
3* 有兴趣可以扫码加微联系 1`_)%Y[ZJ
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