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u`+'lBE, 内容简介 01o [!n T Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 S!<"Swf: 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 MU*It"@}2 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ovSH}h! @x*.5:[ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ]6q*)q:` 目录 I[%M!_+ Preface 1 $-e=tWkgv 内容简介 2 |lY`9-M`I 目录 i '?b\F~$8 1 引言 1 N-xnenci 2 光学薄膜基础 2 -FaaFw:Z;A 2.1 一般规则 2 *cPN\Iu.W 2.2 正交入射规则 3 .}`V I`z* 2.3 斜入射规则 6 }\EL;sT 2.4 精确计算 7 lj
Y 2.5 相干性 8 !9PX\Xbn 2.6 参考文献 10 JC/d:. 3 Essential Macleod的快速预览 10 5Vm Eyb 4 Essential Macleod的特点 32 T"IW Jpc 4.1 容量和局限性 33 sc9]sIb 4.2 程序在哪里? 33 dt0T t 4.3 数据文件 35 PQ i
}Evxa 4.4 设计规则 35 lqauk)(A0 4.5 材料数据库和资料库 37 k}#@8n|b 4.5.1材料损失 38 ^SgN(-QH 4.5.1材料数据库和导入材料 39 d0TgqO{ 4.5.2 材料库 41 |MVV +.X 4.5.3导出材料数据 43 'Z y{mq\ 4.6 常用单位 43 pA*i!.E/b 4.7 插值和外推法 46 &D)Hz 4.8 材料数据的平滑 50 qR_SQ
VN 4.9 更多光学常数模型 54 k~& o 4.10 文档的一般编辑规则 55 oH=4m~'V 4.11 撤销和重做 56 5R)[Ou. 4.12 设计文档 57 G%Y*q(VrEu 4.10.1 公式 58 raSF3b/0 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 p?}&)Un 4.10.3 沉积密度 59 )Gmb?!/^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 X"wFQa 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 a!&bc8J7 4.10.4 性能 61 80 dSQ"y 4.10.5 保存设计和性能 64 OW?uZ<z 4.10.6 默认设计 64 xiEcEz'lk 4.11 图表 64 W%=Zdm
rv 4.11.1 合并曲线图 67 \G]K,TG 4.11.2 自适应绘制 68 58 kv#;j 4.11.3 动态绘图 68 I.UjST 4.11.4 3D绘图 69 EkDws`@ 4.12 导入和导出 73 ,#=eu85' 4.12.1 剪贴板 73 `d.Gw+Un 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 av"Dljc 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 XadG\_?t` 4.13 背景 77 W31LNysH!; 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 {npOlV 4.15 生成Rugate 84 MK< 4.16 参考文献 91 uwmoM>I W^ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Q=^ktKMeR 5.1 Jobs 92 C+DG+_%V*S 5.2 创建一个新Job(工作) 93 bOi};/f 5.3 输入材料 94 ?56~yQF/2 5.4 设计数据文件夹 95 }#1UD 5.5 默认设计 95 8moUK3w 6 细化和合成 97 8.:B=A 6.1 优化介绍 97 MiRibHXI, 6.2 细化 (Refinement) 98 !."Izz/ 6.3 合成 (Synthesis) 100 cb\jrbj6 6.4 目标和评价函数 101 0TpBSyx. 6.4.1 目标输入 102 ?T tQZ 6.4.2 目标 103 3| GNi~ 6.4.3 特殊的评价函数 104 #8P#^v]H 6.5 层锁定和连接 104 oH!$eAU? 6.6 细化技术 104 l~`txe 6.6.1 单纯形 105 PWADbu{+ 6.6.1.1 单纯形参数 106 Tnzco 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 =1%zI% 6.6.2.1 Optimac参数 108 Y:DNu9 6.6.3 模拟退火算法 109 zv8aV2?D 6.6.3.1 模拟退火参数 109 45]Ym{] 6.6.4 共轭梯度 111 #|)JD@;Q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 LsuAOB 8 6.6.5 拟牛顿法 112 8<wtf]x 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Oex{:dO "F 6.6.6 针合成 113 #j(q/
T{x 6.6.6.1 针合成参数 114 c#]'#+aH 6.6.7 差分进化 114 SSl8 6.6.8非局部细化 115 @9n
#vs 6.6.8.1非局部细化参数 115 <B|n<R<? 6.7 我应该使用哪种技术? 116 :DS2zA 6.7.1 细化 116 [Q2S3szbt6 6.7.2 合成 117 @2x0V]AI 6.8 参考文献 117 s!8J.hD'I 7 导纳图及其他工具 118 ?^+#pcX]t| 7.1 简介 118 ">0/>>Ry 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ,mAB)at 7.2.1 四分之一波长规则 119 GC5#1+fQ 7.2.2 导纳图 120 ~9`^72 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 |G`4"``]k 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 9,Crmbw8 7.5 斜入射导纳图 141 7I2a*4} 7.6 对称周期 141 $@+p~ )r(l 7.7 参考文献 142 y9l#;<b 8 典型的镀膜实例 143 7Va#{Y;Zy 8.1 单层抗反射薄膜 145 N"q+UCRC 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 J4Q)`Y\~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ~:P8g<w
8.4 W-膜层 148 2n-Tpay0 8.5 V-膜层 149 :IP;FrcMP 8.6 V-膜层高折射基底 150 !`O_VV`/@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Nqo#sBS 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 *@$($<pY& 8.9 四层抗反射薄膜 153 Lz#$_Am'H 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {2'74 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
s+y'<88 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ^C,/T2> 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 iOX4Kl 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 {kRDegby 8.15十五层宽带抗反射膜 159 H3UX{|[ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~P"!DaAf 8.17 1/4波长堆栈 162 |p=.Gg=2 8.18 陷波滤波器 163 B
$ y44 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 rw=UK` 8.20 褶皱 165 u~naVX\3b 8.21 消偏振分光器1 169 .yFg$|y G 8.22 消偏振分光器2 171 "c !oOaA 8.23 消偏振立体分光器 172 }Uqa8& 8.24 消偏振截止滤光片 173 Pi"tQyw39$ 8.25 立体偏振分束器1 174 #(26t _a 8.26 立方偏振分束器2 177 )\I? EU8 8.27 相位延迟器 178 !S >|Qh 8.28 红外截止器 179 :#Ex3H7 8.29 21层长波带通滤波器 180 dc\u$'F@S 8.30 49层长波带通滤波器 181 =Nv=Q mO 8.31 55层短波带通滤波器 182 >H=Q$gI 8.32 47 红外截止器 183 "t%1@b*u 8.33 宽带通滤波器 184 8 /RfNGY 8.34 诱导透射滤波器 186 =?`y(k4a 8.35 诱导透射滤波器2 188 c9ov;Bw6S 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 5u
u2 _B_L 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 yG4LQE 8.35 增益平坦滤波器 193 !e#I4,f n 8.38 啁啾反射镜 1 196 YjIED,eRv 8.39 啁啾反射镜2 198 &)"7am(S` 8.40 啁啾反射镜3 199 _]?Dt%MkD 8.41 带保护层的铝膜层 200 p.TiTFu/ 8.42 增加铝反射率膜 201 "[".3V 8.43 参考文献 202 Fy(nu-W 9 多层膜 204 [-:<z?(n4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ^*?B)D =, 9.2 内部透过率 204 3q.[-.q 9.3 内部透射率数据 205 Fgc:6<MGM 9.4 实例 206 # 1qVFU 9.5 实例2 210 S\{^LVXTMd 9.6 圆锥和带宽计算 212 S'%cf7Z 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 eB/hyC1 10 光学薄膜的颜色 216 (&Tb,H)= 10.1 导言 216 HA3SQ 10.2 色彩 216 ad3z]dUZ9 10.3 主波长和纯度 220 .'NO~ 10.4 色相和纯度 221 l~Wk07r3 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 +k(3+b$S- 10.6 色差 226 n%MYX'0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3Ld ;zW 10.8 颜色渲染指数 234 Pguyf2/w 10.9 色差计算 235 XB!`*vZ/< 10.10 参考文献 236 =
"hY{RUa 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 s?Qb{ 11.1 短脉冲 238 x}8T[ 11.2 群速度 239 ,0<F3h 11.3 群速度色散 241 O3w_vm' 11.4 啁啾(chirped) 245 VqO<+~M,E 11.5 光学薄膜—相变 245 Qdx`c^4m 11.6 群延迟和延迟色散 246 Dxa)7dA| 11.7 色度色散 246 Mp=kZs/ 11.8 色散补偿 249 TLL[F;uZ 11.9 空间光线偏移 256 9snyX7/!L 11.10 参考文献 258 J%O4IcE 12 公差与误差 260 M;TfD 12.1 蒙特卡罗模型 260 84oW 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 o YI=p3l 12.2.1 误差工具 267 s*~jvL 12.2.2 灵敏度工具 271 <}Wy;!L 12.2.2.1 独立灵敏度 271 'B<qG<> 12.2.2.2 灵敏度分布 275 + x;ML 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 g7}z
&S;_ 12.3 参考文献 276 vL=--# 13 Runsheet 与Simulator 277 8,H5G` 13.1 原理介绍 277 [|;Zxb: 13.2 截止滤光片设计 277 @01D1A 14 光学常数提取 289 pv?17(w(\ 14.1 介绍 289 >~wk 14.2 电介质薄膜 289 Sp$x%p0 14.3 n 和k 的提取工具 295 ~:b:_ 5" 14.4 基底的参数提取 302 >La L!PnZ 14.5 金属的参数提取 306 T#_n-b> 14.6 不正确的模型 306 UE#Ni 5 14.7 参考文献 311 at(p,+ % 15 反演工程 313 $Ex 9 15.1 随机性和系统性 313 RW PdS 15.2 常见的系统性问题 314 _Il9s#NA% 15.3 单层膜 314 d|?(c~ 15.4 多层膜 314 wrb& ta 15.5 含义 319 |e[0Qo@ 15.6 反演工程实例 319 *=0r>] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 #M9D"
<pn} 15.6.2 反演工程提取折射率 327 >=W#z 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 a&c#* 9t{ 16.1 光学性质的热致偏移 329 T[[ 16.2 应力工具 335 .rB;zA;4S) 16.3 均匀性误差 339 P$qkb|D, 16.3.1 圆锥工具 339 ;@Hi*d[ 16.3.2 波前问题 341 kRXg."b( 16.4 参考文献 343 bq&S?! =s 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 DUliU8B}\ 17.1 引言 345 pr,1Wp0l 17.2 操作数 345 -Tkd@ 18 如何在Function中编写脚本 351 irw 7 18.1 简介 351 NlEWm8u 18.2 什么是脚本? 351 "PScM9) \ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 H!>oLui 18.4 基础 352 PXu<4VF 18.4.1 Classes(类别) 352 _,0!ZP- 18.4.2 对象 352 C<@1H>S4_ 18.4.3 信息(Messages) 352
Z#t)Z " 18.4.4 属性 352 Aag)c~D 18.4.5 方法 353 jv=f@:[`I 18.4.6 变量声明 353 IS4K$Ac. 18.5 创建对象 354 v4##(~Tu 18.5.1 创建对象函数 355 wJR i;fvi 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 N3c)ce7[ 18.5.3 丢弃对象 356
p{svXP K 18.5.4 总结 356 rJQ|Oi&1i 18.6 脚本中的表格 357 mS&\m#s< 18.6.1 方法1 357 fX$4TPy(h 18.6.2 方法2 357 C(*@-Npf[ 18.7 2D Plots in Scripts 358 -LK(C`gB 18.8 3D Plots in Scripts 359 o4'4H y 18.9 注释 360 S,9WMti4x 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 h:;eh 18.11 一个更高级的脚本 362 8Y~T$Yj^ 18.12 <esc>键 364 UVmyOC[Y{ 18.13 包含文件 365 skx=w<YO6] 18.14 脚本被优化调用 366 DSZhl-uGM 18.15 脚本中的对话框 368 2|>wY% 18.15.1 介绍 368 G/3lX^Z> 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~I|R}hS 18.15.3 输入框函数 370 uWtS83i 18.15.4 自定义对话框 371 V+~{a:8[pq 18.15.5 对话框编辑器 371 e.ym7L]$O 18.15.6 控制对话框 377 KP-z 18.15.7 更高级的对话框 380 Bo\v-97 18.16 Types语句 384 U105u.#7 18.17 打开文件 385 [Q_|6Di 18.18 Bags 387 EjE`S_i= 18.13 进一步研究 388 .LcE^y[V 19 vStack 389 d]~1.i 19.1 vStack基本原理 389 gL"Q.ybA 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 )mVYqlU" 19.3 五棱镜 393 |/\1nWD 19.4 光束距离 396 L=!kDU 19.5 误差 399 3CuoBb8 19.6 二向分色棱镜 399 7tKft 19.7 偏振泄漏 404 <G?85*Nv_ 19.8 波前误差—相位 405 _H<OfAO 19.9 其它计算参数 405 G6mM6(Sr 20 报表生成器 406 >,vW 20.1 入门 406 @@mW+16 20.2 指令(Instructions) 406 ?ML<o>OKg 20.3 页面布局指令 406 jV&W[xKa 20.4 常见的参数图和三维图 407 y/VmjsN} 20.5 表格中的常见参数 408 ibUPd."W 20.6 迭代指令 408 Xtnmh)'K~# 20.7 报表模版 408 R*eM 1 20.8 开始设计一个报表模版 409 bJ!f,a'/ 21 一个新的project 413 <[l}^`IC^4 21.1 创建一个新Job 414 1Klu]J% 21.2 默认设计 415 >M85xjXP 21.3 薄膜设计 416 S%#Mu| 21.4 误差的灵敏度计算 420 Eakjsk 21.5 显色指数计算 422 0%j;yzQ< 21.6 电场分布 424 abP?Dj& 后记 426 48rYs} 有兴趣可以扫码加微联系 ,.MG&O vg1s5Yqk )?y"NVc*
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