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fU@}]& 内容简介 7loCb4Hv Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 b5Rjn1@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 B/q/sC 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 {k1s@KXtd |2CW!is 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 $ ;>, 目录 l~Kn-S{ Preface 1 M$1+,[^f 内容简介 2 AJ2Xq*fk 目录 i K_{x
y#H 1 引言 1 |}^[f] 2 光学薄膜基础 2 YP>VC(f 2.1 一般规则 2 !s.G$ JS< 2.2 正交入射规则 3 w4'(Y,(` 2.3 斜入射规则 6 '97)c7E 2.4 精确计算 7 po*s 2.5 相干性 8 L'6_~I 2.6 参考文献 10 j:"+/5rV8 3 Essential Macleod的快速预览 10 |o~FKy1'z\ 4 Essential Macleod的特点 32 (sS[F-2R7 4.1 容量和局限性 33 [A|W0 4.2 程序在哪里? 33 <E$P 4.3 数据文件 35 Id]WKL: 4.4 设计规则 35 {5.,gb @6 4.5 材料数据库和资料库 37 KZ ?<&x 4.5.1材料损失 38 ^%M!!wlUH 4.5.1材料数据库和导入材料 39 h?.6e9Y4 4.5.2 材料库 41 Z{chAg\ 4.5.3导出材料数据 43 $LAaG65V 4.6 常用单位 43 ?@|1>epgd 4.7 插值和外推法 46 PdMx6 Ab 4.8 材料数据的平滑 50 vMzR3@4e 4.9 更多光学常数模型 54 fB1JU1 4.10 文档的一般编辑规则 55 on*?O O' 4.11 撤销和重做 56 ;s"m*
4N 4.12 设计文档 57 X^_,`H@ 4.10.1 公式 58 ETH`.~% 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ?Y
)Qy, 4.10.3 沉积密度 59 X_HR$il 4.10.4 平行和楔形介质 60 =zVbZ7 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 8Qu7x[tK? 4.10.4 性能 61 $7TYix8= 4.10.5 保存设计和性能 64 8 PXleAn 4.10.6 默认设计 64 _ H$Cm 4.11 图表 64 ~#I1!y~` 4.11.1 合并曲线图 67 i= ~HXr} 4.11.2 自适应绘制 68 zq4,%$y8| 4.11.3 动态绘图 68 7*'_&0 4.11.4 3D绘图 69 gD=s~DgN) 4.12 导入和导出 73 "uGJ\ 4.12.1 剪贴板 73 /,Ln)?eD 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 z9h`sY~ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 .w$v<y6C 4.13 背景 77 TUy*wp9 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 lxbbyy25 4.15 生成Rugate 84 6 Y&OG>_\ 4.16 参考文献 91 <FS/'[P 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 >P\Tnb"Q\ 5.1 Jobs 92 :U?P~HI 5.2 创建一个新Job(工作) 93 wH|\;M{0V1 5.3 输入材料 94 X?>S24I"9 5.4 设计数据文件夹 95 {nryAXK 5.5 默认设计 95 }y=7r!{@ 6 细化和合成 97 rRT9)wDa 6.1 优化介绍 97 Ma-^o<{ 6.2 细化 (Refinement) 98 'G-VhvMv 6.3 合成 (Synthesis) 100 )KXLL;] 6.4 目标和评价函数 101 k B2+ Tr 6.4.1 目标输入 102 1)u=&t,
6.4.2 目标 103 {:6VJ0s\ 6.4.3 特殊的评价函数 104 .4_~ku 6.5 层锁定和连接 104 gjo\gP@ 6.6 细化技术 104 5U1@wfKE3> 6.6.1 单纯形 105 ]d$)G4X1 6.6.1.1 单纯形参数 106 Q=e?G300#L 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 akd~Z 6.6.2.1 Optimac参数 108 v{JCEb&wN 6.6.3 模拟退火算法 109 @|-ydm0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 M?}2 6.6.4 共轭梯度 111 sB7DF<91 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 EVb'x Zr 6.6.5 拟牛顿法 112 pNQd\nY|0 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 gkBat(Uc 6.6.6 针合成 113 ANT^&NjJ7 6.6.6.1 针合成参数 114 NNe'5q9 6.6.7 差分进化 114 H7l[5ib 6.6.8非局部细化 115 =i:?4pIZ 6.6.8.1非局部细化参数 115 "DRp4; 6.7 我应该使用哪种技术? 116 q".l:T%|C} 6.7.1 细化 116 W!IK>IW" 6.7.2 合成 117 'J!P:.=a> 6.8 参考文献 117 v`wPdb 7 导纳图及其他工具 118 IDLA-Vxo 7.1 简介 118 /x$ jd)C 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 3c9v~5og4 7.2.1 四分之一波长规则 119 s?0r\ cc|: 7.2.2 导纳图 120 %eD&2$q* 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \BJnJk!% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 vtL) 7.5 斜入射导纳图 141 $Q47>/CUc^ 7.6 对称周期 141 bzUc;&WDz 7.7 参考文献 142 ^GRd;v=-@ 8 典型的镀膜实例 143 +?mZ_sf8w 8.1 单层抗反射薄膜 145 r43dnwX 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 -$e\m]
}Z 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 zaoZCyJT% 8.4 W-膜层 148 M.|hnGXN 8.5 V-膜层 149 <Xl G :nmY 8.6 V-膜层高折射基底 150 Lo;T\CN 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ^]aDLjD 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 W:9L!+m^ 8.9 四层抗反射薄膜 153 + FLzK( 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 f3yZx!K_Br 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 B623B HwS 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 w7dG=a& 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 DbOWnXV"o 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 [bGdg 8.15十五层宽带抗反射膜 159 F}sfk}rp 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 t5 5k#`Z 8.17 1/4波长堆栈 162 8(g:i#~ 8.18 陷波滤波器 163 n'M}6XUw 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 *B3` #t 8.20 褶皱 165 z&-3H/ 8.21 消偏振分光器1 169 7&T1RB'> 8.22 消偏振分光器2 171 b,SY(Ce~g 8.23 消偏振立体分光器 172 I}?fy\1A& 8.24 消偏振截止滤光片 173 B&.XGo) 8.25 立体偏振分束器1 174 cT.1oaAM0 8.26 立方偏振分束器2 177 -.z~u/uL 8.27 相位延迟器 178 o ue;$8 8.28 红外截止器 179 ZYL]|/"J9 8.29 21层长波带通滤波器 180 RYvS,hf6z 8.30 49层长波带通滤波器 181 m _:ib} 8.31 55层短波带通滤波器 182 kA#>Xu/ 8.32 47 红外截止器 183 Kq.)5%~> 8.33 宽带通滤波器 184 qU=$ 0M 8.34 诱导透射滤波器 186 $vc:u6I[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 tSQ>P -O 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 wt)tLMEv 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 8+GlM+>4 8.35 增益平坦滤波器 193 a2p<HW;)m 8.38 啁啾反射镜 1 196 L
TO1LAac 8.39 啁啾反射镜2 198 BQw#PXp3 8.40 啁啾反射镜3 199 V1"+4&R^T_ 8.41 带保护层的铝膜层 200 Ng;E]2" 8.42 增加铝反射率膜 201 v)X1R/z5xw 8.43 参考文献 202 vT[%*)` 9 多层膜 204 %2qvK} 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 rGq~e|.O3 9.2 内部透过率 204 eR5swy& 9.3 内部透射率数据 205 !xa,[$w(^ 9.4 实例 206 SJ+.i
u/ 9.5 实例2 210 Zx`hutCv 9.6 圆锥和带宽计算 212 ZM4q@O)/ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 <K 4zH<y 10 光学薄膜的颜色 216 *[_?4*F 10.1 导言 216 oOJN?97!k 10.2 色彩 216 _=,[5" 10.3 主波长和纯度 220 !@ bN 10.4 色相和纯度 221 qY0GeE>N 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 S
W 10.6 色差 226 (5'qEi ea 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )e{~x
u 10.8 颜色渲染指数 234 +]*?J1Y8Z 10.9 色差计算 235 7G2TT a 10.10 参考文献 236 Ym0Xl(Se 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 j7O7P+DmS 11.1 短脉冲 238 pspV~9, 11.2 群速度 239 G~YV6?? 11.3 群速度色散 241 i' N 11.4 啁啾(chirped) 245 I_eYTy-a`1 11.5 光学薄膜—相变 245 T`f9jD 11.6 群延迟和延迟色散 246 |4wVWJ7 11.7 色度色散 246 v>0xHQD*<M 11.8 色散补偿 249 %.<w8ag 11.9 空间光线偏移 256 TQbhK^] 11.10 参考文献 258 >dZ x+7 12 公差与误差 260 ~M43#E[oOF 12.1 蒙特卡罗模型 260 /t
,ujTK 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 #CVD:p 12.2.1 误差工具 267 l<^#@S H 12.2.2 灵敏度工具 271 .qF@
}dO 12.2.2.1 独立灵敏度 271 f@>27&'WV 12.2.2.2 灵敏度分布 275 QbpRSdxy`$ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 $Ne#F+M9x 12.3 参考文献 276 ^9"|tWf6O 13 Runsheet 与Simulator 277 zneK)C8&q3 13.1 原理介绍 277 (~/D*<A 13.2 截止滤光片设计 277
sx(yG9 14 光学常数提取 289 hwkol W 14.1 介绍 289 #!9aTp).AL 14.2 电介质薄膜 289 !L-.bve! 14.3 n 和k 的提取工具 295 hIPDJ1a 14.4 基底的参数提取 302 E
jBEZL|_ 14.5 金属的参数提取 306 i>0I '~V 14.6 不正确的模型 306 _Z5l
Nu 14.7 参考文献 311 A-.jv 15 反演工程 313 I@ }:} 8t 15.1 随机性和系统性 313 _vvnxG!x& 15.2 常见的系统性问题 314 0(-'L\<>x 15.3 单层膜 314 \asF~P 15.4 多层膜 314 ToDN^qE+ 15.5 含义 319 Q)H Vh[4 15.6 反演工程实例 319 xdp{y=,[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ){R_o5 15.6.2 反演工程提取折射率 327 -\AB!#fh 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 [0F+t,` 16.1 光学性质的热致偏移 329 ]@M$.msg@ 16.2 应力工具 335 U}7$:hO"dX 16.3 均匀性误差 339 :]e:-JbT4z 16.3.1 圆锥工具 339 MdZ7Yep 16.3.2 波前问题 341 >RE&>T^8 16.4 参考文献 343 %=\h=\wt 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 HIi"zo=V 17.1 引言 345 b
3D:w{l 17.2 操作数 345 d/Fjs0pt 18 如何在Function中编写脚本 351 A
CJmy2 18.1 简介 351 ~F>oNbJIv 18.2 什么是脚本? 351 B>#zrCD 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 fy9{W @E3p 18.4 基础 352 #j iQa" 18.4.1 Classes(类别) 352 @wZ`;J % 18.4.2 对象 352 h'w9=Pk~6y 18.4.3 信息(Messages) 352 Lg_y1Mu7o 18.4.4 属性 352 7Dom[f 18.4.5 方法 353 `H^Nc\P# 18.4.6 变量声明 353 r/:s2oQ 18.5 创建对象 354 cd*y{Wt 18.5.1 创建对象函数 355 {HvR24# 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 E9%xSMS8@ 18.5.3 丢弃对象 356 RYS]b[-xZz 18.5.4 总结 356 fx%'7/+ 18.6 脚本中的表格 357 !bT0kP$3} 18.6.1 方法1 357 FbWkT4t| 18.6.2 方法2 357 H*EQ%BLW^, 18.7 2D Plots in Scripts 358 t<}'/
) 18.8 3D Plots in Scripts 359 VH+^G)^) W 18.9 注释 360 RAXqRP,iw 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 mcS/-DaN? 18.11 一个更高级的脚本 362 u|BD%5+J 18.12 <esc>键 364 zO9|s}J8q 18.13 包含文件 365 f1hi\p0q 18.14 脚本被优化调用 366 +J_A*B 18.15 脚本中的对话框 368 1\kOjF)l 18.15.1 介绍 368 zZki9P
18.15.2 消息框-MsgBox 368 SECL(@0(^ 18.15.3 输入框函数 370 RZm5[n 18.15.4 自定义对话框 371 =@gH$Q_1 18.15.5 对话框编辑器 371 9!gmS?f 18.15.6 控制对话框 377 % 49@ 18.15.7 更高级的对话框 380 8X5;)h 18.16 Types语句 384 I2YQIY+ 18.17 打开文件 385 +lO
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IQ 18.18 Bags 387 >:Xzv 18.13 进一步研究 388 Nd^9.6,JU 19 vStack 389 H :d{Sru 19.1 vStack基本原理 389 3`IDm5 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @Eqc&v!O 19.3 五棱镜 393 & |