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p }[zt#v 内容简介 t4?DpE Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 (k np# 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 l }XU59 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 |lv|!]qAma *.)tG 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 @29U@T 目录 yoAfc Preface 1
]({~,8s 内容简介 2 RmZ]"
` 目录 i 4Vq%N 1 引言 1 vFEQ7qI 2 光学薄膜基础 2 \c^45<G2qA 2.1 一般规则 2 V`@>MOw^d 2.2 正交入射规则 3 %kgkXc~6|x 2.3 斜入射规则 6 [@4rjGwB 2.4 精确计算 7 NWxUn.Gy9 2.5 相干性 8 soCi[j$lH 2.6 参考文献 10 9P{;HusNw 3 Essential Macleod的快速预览 10 T6ENtp 4 Essential Macleod的特点 32 ?k(\ApVHj 4.1 容量和局限性 33 ?)e37 4.2 程序在哪里? 33 trE{ FT 4.3 数据文件 35 KN-avu_Ix 4.4 设计规则 35 B7]MGXC 4.5 材料数据库和资料库 37 z2Z^~,i 4.5.1材料损失 38 'w1YFdW 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Hty0qr3 4.5.2 材料库 41 41SGWAd#: 4.5.3导出材料数据 43 ,!U=|c"k) 4.6 常用单位 43 %6_AM 4.7 插值和外推法 46 ;NRF=d> 4.8 材料数据的平滑 50
1!>Jpi0 4.9 更多光学常数模型 54 sN5B7)Vc 4.10 文档的一般编辑规则 55 "?mJqA 4.11 撤销和重做 56 H*9~yT'Q 4.12 设计文档 57 puT'y 4.10.1 公式 58 %Z*sU/^ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 N<DGw?Rl 4.10.3 沉积密度 59 &5:tn=E 4.10.4 平行和楔形介质 60 } CfqG?) 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 |.wEm;Bz 4.10.4 性能 61 B 2ec@]uD` 4.10.5 保存设计和性能 64 xZV1k~C 4.10.6 默认设计 64 9Vf1Xz 4.11 图表 64 xCtmXo 4.11.1 合并曲线图 67 ;V<fB/S.=+ 4.11.2 自适应绘制 68 cYqfsd# B 4.11.3 动态绘图 68 _/O25% l 4.11.4 3D绘图 69 W2.qhY 5 4.12 导入和导出 73 /@|/^vld 4.12.1 剪贴板 73 a+Ac[> 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 S%`0'lzzj 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (64yg 4.13 背景 77 rl0< Ls 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 B,{K*-7)MX 4.15 生成Rugate 84 -I=l8m6L 4.16 参考文献 91 JY6
Qp 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 cH>%r^G\ 5.1 Jobs 92 6&/T@LQYrh 5.2 创建一个新Job(工作) 93 u7=U^}# 5.3 输入材料 94 %dY<=x#b 5.4 设计数据文件夹 95 )wNP(
@$L 5.5 默认设计 95 $LU"?aAW 6 细化和合成 97 []D@Q+1 6.1 优化介绍 97 .?l\g-;= 6.2 细化 (Refinement) 98 ^_m9KA 6.3 合成 (Synthesis) 100 \eFR(gO+ 6.4 目标和评价函数 101 l]5w$dded~ 6.4.1 目标输入 102 s-v 6.4.2 目标 103 nvPwngEQm 6.4.3 特殊的评价函数 104 =kuMWaD 6.5 层锁定和连接 104 =W'Ae,& 6.6 细化技术 104 RU\/j%^ 6.6.1 单纯形 105 7a~X:# 6.6.1.1 单纯形参数 106 qT^I?g"! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 uS^Ipxe\ 6.6.2.1 Optimac参数 108 bcYF\@}; 6.6.3 模拟退火算法 109 `*shF9.\C 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ukUGvK 6.6.4 共轭梯度 111 @mfEKU! 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 )+6MK(<" 6.6.5 拟牛顿法 112 {E8~Z8tT 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 GP#aya 6.6.6 针合成 113 v;ZA4c 6.6.6.1 针合成参数 114 rh^mJUh 6.6.7 差分进化 114 j*vYBGD 6.6.8非局部细化 115 )>Yu!8i 6.6.8.1非局部细化参数 115 b1($R[ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 GI1 6.7.1 细化 116 }1upi=+aE 6.7.2 合成 117 S.f5v8 6.8 参考文献 117 H/37)&$E( 7 导纳图及其他工具 118 (}2~<
7.1 简介 118 {Ja!~N;3 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 - RU=z!{ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;-qO'V:; 7.2.2 导纳图 120 $\U4hHOo 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ~5oPpTAe 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 T]c%!&^_ 7.5 斜入射导纳图 141 Sb82}$sO 7.6 对称周期 141 ?)ONf#4Y 7.7 参考文献 142 WA&!;Zq 8 典型的镀膜实例 143 5f 5f0|ok 8.1 单层抗反射薄膜 145 w {3<{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 (:>,u*x% 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 W}mn}gTQ 8.4 W-膜层 148 W@I|Q - 8.5 V-膜层 149 XSyHk"g` 8.6 V-膜层高折射基底 150 :Nz2z[W$ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ] &Rx@&e* 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ys kO 8.9 四层抗反射薄膜 153 OD!& .% 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 mrF58Uq;A 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 jr:7?8cH0L 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 AiO$<CS 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 #$8% w 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 wLnf@&jQ% 8.15十五层宽带抗反射膜 159 1 P!Yxeh 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )`O~f_pIC 8.17 1/4波长堆栈 162 QvKh,rBFVG 8.18 陷波滤波器 163 1^}[&ar 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 MjC_ ( cs 8.20 褶皱 165 y1+*6| 8.21 消偏振分光器1 169 kZGRxp9 8.22 消偏振分光器2 171 IvtJ0 8.23 消偏振立体分光器 172 )x=1]T>v"' 8.24 消偏振截止滤光片 173 fy@<&U5rg 8.25 立体偏振分束器1 174 P 'od` 8.26 立方偏振分束器2 177 %_%Q8,W 8.27 相位延迟器 178 %UERc{~o*, 8.28 红外截止器 179 F7EKoDt 8.29 21层长波带通滤波器 180 Xx0hc 8qd 8.30 49层长波带通滤波器 181 {ix?Brq/ 8.31 55层短波带通滤波器 182 kr9*,E9cv 8.32 47 红外截止器 183 NUWDc]@J* 8.33 宽带通滤波器 184 CU@Rob} s 8.34 诱导透射滤波器 186 os:A] 8.35 诱导透射滤波器2 188 )9"_J9G 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 AW!?"xdZ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 MS
81sN\d 8.35 增益平坦滤波器 193 2Ay*kmW 8.38 啁啾反射镜 1 196 m4hg'<<V 8.39 啁啾反射镜2 198 |es?;s' 8.40 啁啾反射镜3 199
\kMefU 8.41 带保护层的铝膜层 200 |Sy<@oq 8.42 增加铝反射率膜 201 xg;+<iW 8.43 参考文献 202 o.!~8mD 9 多层膜 204 f=r<nb'H 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 RbP6F*f 9.2 内部透过率 204 1q:2\d] 9.3 内部透射率数据 205 F`XP@Xx 9.4 实例 206 $Y/9SV, 9.5 实例2 210 1VG4S){}\9 9.6 圆锥和带宽计算 212 xqG[~)~ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;S^'V 10 光学薄膜的颜色 216 r") `Ph@yp 10.1 导言 216 kwo3`b 10.2 色彩 216 --HZX 10.3 主波长和纯度 220 c4^ks&)' 10.4 色相和纯度 221 %7IugHH9y 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 emqZztccZ 10.6 色差 226 qG?Qc ( 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 7XTkX"zKj 10.8 颜色渲染指数 234 Eg#K.5hJ 10.9 色差计算 235 D%OQ e#! 10.10 参考文献 236 (a.z9nqGA 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 aW)-?(6> 11.1 短脉冲 238 5HkKurab 11.2 群速度 239 (_mnB W 11.3 群速度色散 241 8*#R]9 11.4 啁啾(chirped) 245 ]6(N@RC 11.5 光学薄膜—相变 245 Zw5Ni Xj 11.6 群延迟和延迟色散 246 Sq/
qu-%X 11.7 色度色散 246 ~J wb`g. 11.8 色散补偿 249 t{^*6XOcJ 11.9 空间光线偏移 256 Ai=se2 11.10 参考文献 258 r~jm`y 12 公差与误差 260 "GMBjT8 12.1 蒙特卡罗模型 260 *'.|9W 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 m? J0i>H
12.2.1 误差工具 267 dMf:h"7 12.2.2 灵敏度工具 271 ;qafT@
}C 12.2.2.1 独立灵敏度 271 oTU!R , 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ~?4PBq 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ~dgDO:) 12.3 参考文献 276 /YP{,#p 13 Runsheet 与Simulator 277 ,
pDnRRJ! 13.1 原理介绍 277 qT{U( 13.2 截止滤光片设计 277 F\JM\{&F 14 光学常数提取 289 nBjqTud
14.1 介绍 289 vM*-D{ 14.2 电介质薄膜 289 X^}I-M%{m 14.3 n 和k 的提取工具 295 =9y[1t 14.4 基底的参数提取 302 z1PBMSG 14.5 金属的参数提取 306 bf ]f=;.+ 14.6 不正确的模型 306 2,$8icM 14.7 参考文献 311 gPNZF\ r 15 反演工程 313 jaTh^L 15.1 随机性和系统性 313 r?+%?$ 15.2 常见的系统性问题 314 8ndYV>{f 15.3 单层膜 314 BgurzS4- 15.4 多层膜 314 4IB9,?p 15.5 含义 319 ]fx"4qKM 15.6 反演工程实例 319 @Lpq~ 1eZB 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 FcR=v0), 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ][gq#Vx@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 1-%fo~!l 16.1 光学性质的热致偏移 329 b3&zjjQ 16.2 应力工具 335 6}gls}[0{e 16.3 均匀性误差 339 *xx'@e|<; 16.3.1 圆锥工具 339 {C 6=[ 16.3.2 波前问题 341 wKtl+}} 16.4 参考文献 343 E
]A#Uy 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7`-Zuf 17.1 引言 345 ^=BTz9QM 17.2 操作数 345 A>vBQN 18 如何在Function中编写脚本 351 q}`${3qQ3 18.1 简介 351 5A)2} D] 18.2 什么是脚本? 351 ~Sg5:T3 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 s>B5l2Q4 18.4 基础 352 nHnK)9\ N 18.4.1 Classes(类别) 352 prC;L*~8 18.4.2 对象 352 yCd-9zb= 18.4.3 信息(Messages) 352 ^ZvWR% 18.4.4 属性 352 ;kFDMuuO 18.4.5 方法 353 :#LLo}LKp 18.4.6 变量声明 353 ' KWyx 18.5 创建对象 354 S@jQX 18.5.1 创建对象函数 355 RY]#<9>M 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 EY^1Y3D w0 18.5.3 丢弃对象 356 AsQ)q 18.5.4 总结 356 \l'm[jy> 18.6 脚本中的表格 357 j-4VB_N@ 18.6.1 方法1 357 *"+=K,#D 18.6.2 方法2 357 0ZT5bg_M 18.7 2D Plots in Scripts 358 G! ]k#.^A, 18.8 3D Plots in Scripts 359 Nh8Q b/:: 18.9 注释 360 X@$f$= 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Upc+Ukw 18.11 一个更高级的脚本 362 |8&,b`Gfo 18.12 <esc>键 364 X}=n:Ql'YY 18.13 包含文件 365 @GBxL*e 18.14 脚本被优化调用 366 3VsW@SG7N 18.15 脚本中的对话框 368 M`. tf_x 18.15.1 介绍 368 O}+.U<V
18.15.2 消息框-MsgBox 368 9i'jjN 18.15.3 输入框函数 370 v/Py"hQ 18.15.4 自定义对话框 371 >sfRI]OG 18.15.5 对话框编辑器 371 9 %8"e>~ 18.15.6 控制对话框 377 B( ]M& 18.15.7 更高级的对话框 380 J4QXz[dG 18.16 Types语句 384 8qY79)vD4E 18.17 打开文件 385 2"0es40;0 18.18 Bags 387 33o9Yg|J~ 18.13 进一步研究 388 \.C+ue 19 vStack 389 cQ/5qg 19.1 vStack基本原理 389 1e(E:_t 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 t#Z-mv:( 19.3 五棱镜 393 w&$`cD 19.4 光束距离 396 j.C`U(n}` 19.5 误差 399 J5di[nu 19.6 二向分色棱镜 399 NgADKrDU 19.7 偏振泄漏 404 ~rlB'8j( 19.8 波前误差—相位 405 a;rdQ> 19.9 其它计算参数 405 W}--p fG 20 报表生成器 406 yL%K4$z 20.1 入门 406 QP@%(]f G 20.2 指令(Instructions) 406 jq-p;-i 20.3 页面布局指令 406 8
BY j 20.4 常见的参数图和三维图 407 o]+z)5zC 20.5 表格中的常见参数 408 ^$%S &W 20.6 迭代指令 408 {HL3<2=o 20.7 报表模版 408 +vYoB$! 20.8 开始设计一个报表模版 409 )'Oh`$M 21 一个新的project 413 Gn\_+Pj$ 21.1 创建一个新Job 414 qd9c I& 21.2 默认设计 415 B\<Q ;RI2; 21.3 薄膜设计 416 @PN#p"KaT 21.4 误差的灵敏度计算 420 ,LTH;<zB) 21.5 显色指数计算 422 IM:=@a{ 21.6 电场分布 424 Q~814P8] 后记 426 +!k&Yje 有兴趣可以扫码加微联系 nA?`BOe( <:(6EKJAq} l\BVS)
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