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摘要 akwS;| SZ d ;,C[&
组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 k_Lv\'Ok
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 r Kl z Cu+Oi6 寻找组件内部光场分析器： FMM 6']WOM#
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 ytV4q U82G 0_t9;;y : 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 mk6>}z*
u0$}VO5/a lO}I>yo}\ 评估模式 RVpo,;: yPH5/5;,  /EL3 T t c{jTCkzq 评估区域 4=|oOIhgb B;Co `o2  _G%kEt_4 xDmwi Vy 光栅类型 X"T)X#:) $@[Mo
 @X_)%Y-^O
n5*m x7 光栅表面的采样 tpP68)<ns G52z5-=v  h6D1uM"o @rr\Jf""z 光栅表面的采样 zZ8:>2Ps( Ul:M=8nE%  kB-<17
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