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摘要 ^bfU>02Q6p ivB,s5<
组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。
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 /Ak\Q5O'3 g^7zDU&' 寻找组件内部光场分析器： FMM W; os4'h$
?M6)O?[
 ] SLeWs RLzqpE<rJ 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 RGkV%u^
m)?0; 9bt ?$uEN_1O\@ 评估模式 A (p^Q :$gs7<z{rm  j}`ku9S~ :RwURv+ kT 评估区域 Qr7|;l3 />pAZa  {v|ib112; t
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光栅类型 y7+ n*|H : (.:bf  _MuzD&^qE
UEt78eN 光栅表面的采样 -B!
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O65^ &4 #%xg  b g_io* K lj:.} +]r 光栅表面的采样 ld):Am}/o 7/_|/4&  QMmZvz\^
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