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摘要 rM?O 2n HuVx^y`
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组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 y7f,]<%e_
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 ,, 8hU7P }PC_qQF 寻找组件内部光场分析器： FMM A_8UPGh8
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 ,,FO6+4f |M8FMH[_ 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 rI'k GqU
&ikPa ,A xbVvK+ 评估模式 9Dat
oi EgE% NY~  vkR,Sn `, lnBP3D" 评估区域 5 `_UIYcI oouhP1py,  be<7Vy]j 1<9=J` (H 光栅类型 [Re.sX}$Y "c9T4=]&t  A$JL"~R
**,(>4 j 光栅表面的采样 (WCczXm ) )ajF ca@v  U%:K11Kr u5'jIqlU 光栅表面的采样 R!+_mPb=Q* 9Sb[5_Q  pW7#&@AR
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