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摘要 . <B1i Cw}\t!* !
组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 h]#)41y<
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 2~<0<^j/] (G VGoh& 寻找组件内部光场分析器： FMM 1dcy+ !>
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 \abl|;fj 3^Zi/r 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 z#4g,)ZX
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Y'-] 评估区域 n1Jz49[r z@i4dC  d
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zTLn*? 光栅表面的采样 eW0=m:6 meR2"JN'  _ LNPB$P o3=kF 光栅表面的采样 0, /x# 8GldVn.u  +QX>:z
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