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摘要 8uD8or 1v+JCOy 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 5VCMpy }?\#_BCjx(
ZP]2/;h ~7F EY0 / 寻找组件内部光场分析器: FMM 5M/%%Ox 1_p[*h
(Q*2dd> yHV^a0e7EH 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 v]UU&Jq8U S}XB
| &VtWSq-) 评估模式 QH~8
aE_i 8,Q.t7v 6z%&A]6k: 7M&.UzIY` 评估区域 oRtY?6^$ 2`q^Q j};pv 2 :~qtvs;{ 光栅类型 (9'G a!SR"3 k ,Jw\3T1V 9g<_JcN 光栅表面的采样 -Ihn<<uE? x _YV{ =B,_d0Id ]e#,\})Br 光栅表面的采样 W? 6 vh:UXE lm X7imUy'.
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