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摘要 ]^>RBegJBO ;659 E_y>
组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 |-Q="7b%
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 FT;I|+H*P nd)`G$gL 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 Ha/Gn !l
#,S0uA BK 9 +fO 评估模式 k = \R.Fmeko  = `+c}i? ^!7 |B3` 评估区域 0RF<:9@x2 5E!Wp[^ 
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