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摘要 ]5% 0EE64 ?R`S -
组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 Zxk~X}K\P
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 |vI*S5kn6A 5Qgu:)} 寻找组件内部光场分析器： FMM |IxHtg3>6{
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 `oRyw6Sko kVn RSg}R 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 wj[yo
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:X2_#qW#C #2Rz=QI 评估模式 UQVL)-Z =H95?\}T[  l;8t%J V5 ,p2UshOmd 评估区域 bG;fwgAr 4.A^5J'W  #G9
W 65 f 1 ]xk:u4LA 光栅类型 _~FfG!H ^X DP_b9o
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so))J`ca) 光栅表面的采样 jkeerU6 i4D(8;  %G?@Hye3 j?T 'N:Qd 光栅表面的采样 Pgt Lyzc srS!X$cec  t~2oEwTm
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