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摘要 $_I%1 .MzP}8^ 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 iuH8g HNkZ1+P {
((hJmaq >%jEo'0;_ 寻找组件内部光场分析器: FMM >M8^Jgh h[[/p {z
a?xq*|? %BKR} 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 ECE{xoc /v|68x6 tnKpn-LPA 评估模式 cfy/*| 9$4/frd !Xv2PdP j
44bF/ 评估区域 !lt\2Ae (x@i,Ba@ FRJ:ym=E X{9JSq 光栅类型 'nj&}A' mw4'z,1Q 3 DO$^JJ. J!TK*\a2 光栅表面的采样 ,nu7r1} 0D]Yz`n3 Zc' >}X[G BF1O|Q|d6 光栅表面的采样 y uK5 r c|;|%"Mk u`H@Q&(^wa
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