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摘要 ,?yjsJd. _5 Lcr) 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 d`=
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l?)>"^ \Hp!NbnF$ 寻找组件内部光场分析器: FMM +~V_^-JG& >IS4
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zCJ"O9G<V 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 JAHg_! V30w`\1A d9JAt-6z2 评估模式 |y7TYjg6 Y!j/,FU rCa]T@= fL|9/sojz 评估区域 @rT$}O1?` -F/)-s6#!' |vd|;" ` ;}6wj@8He 光栅类型 HBp??.r M%:\ ry4: Vb?wwx7= .*N,x(V 光栅表面的采样 6/cm TT$i JPTLh{/ VJ#ys_W IsT}T}p,t 光栅表面的采样 YN)qMI_`A |34k;l]E O)^F z:
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