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摘要 AEj%8jh |H5GWZ
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组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 pe,y'w{
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0,QEy 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 3r[F1z2B
a(yWIgD\\ o` QH8 评估模式 aJ=)5%$6kc H1?C:R  56kqG}mg&
ZaaBg 评估区域 Kp7)my 6:}n}q,V  _0u= }tc T} ?b,hNl$ 光栅类型 <f}:YDY' %$b}o7U"s  HhC FAq"j
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