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摘要 /v5Pk.!o %f6l"~y 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 yZ0; \Tr*J ~-']Q0Z
0WF(Ga/o >B8)Wb: 寻找组件内部光场分析器: FMM {)4Vv`n qE$.a[
Wn0r[h5t p\+#`] Q7} 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 @h>#cwhU "*+epC|ks %bDd 评估模式 Xuh_bW&zF g?`D8 *XniF~M m9#u.Q* 评估区域 Qi=rhN` D.*JG7;=Z D1o 8Wo rt^z#2$ 光栅类型 EF"ar t$l[ 4
R- M8KfC!
%ef+Z 光栅表面的采样 m+OR W"o _&
KaI }O `(Q58wR} ,Yi =s;E 光栅表面的采样 v|{*y =;Wkg4\5 zE<vFP-1v
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