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摘要 \GbHS*\+ lJGqR0:r+
组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 %ojR?=O N
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 }ZM*[ j 'Ec:l(2Ec 寻找组件内部光场分析器： FMM M<# )D
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 .@8m\ I\Gp9w0f 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 c5wkzY h
90y9~.v bCE7 hutl 评估模式 ]Jq k C4| #iR yjD  4B3irHs \Q C+ L_61 评估区域 / BjGAa( ['}^;Y ?*o  ulPrb>i },Y;
(n' 光栅类型 HM$`z"p5jg "z#?OV5  v]`A _)[
|peMr# 光栅表面的采样 HgSmAziv g ~^{-6Vg  avxn }*:X.
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