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摘要 }2<7%FL d,n 'n 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 ]F'e
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<T|3`#o0 寻找组件内部光场分析器: FMM &AbNWtCV+G W+ko q*P
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pohp&Tcm 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 XLOh7(
6.nCV0xA o]M5b;1 评估模式 <s<n _C[q4? !\.pq 2 EVC]sUT 评估区域 GH:jH]u!V Xg!{K3OS A!WKnb_` uH- l%17 光栅类型 "N bq#w\ fN^8{w/O
70tH:Z)" !/i{l 光栅表面的采样 h-<81"}j1 G[I"8iS, =Qj{T Y;^l%ePuW 光栅表面的采样 |AU~_{H k],Q9 8ek@: Mw
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