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摘要 q90
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组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 bA- /"'Vp9
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 ;b5^ ) S [;C|WTYSL 寻找组件内部光场分析器： FMM 'uW&AD p
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 w61*jnvi@ _,<@II 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 .iV-Y *3<
1`sTGNo O[|_~v:^ 评估模式 >1 qum' #AR$'TE#  +h)1NX;o1 .MS41
E ! 评估区域 J'E ?Z 0 :anR/  y&W3CW\: +gyGA/5:d$ 光栅类型 h:AB`E1
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<74 r 光栅表面的采样 C"0vM UZ RhWW61!"  /,yRn3 1[ c :2 w(BVi 光栅表面的采样 Lng@'Yr V/+D] 
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