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摘要 c*(^:#"9 '2ZvK 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 -'SA&[7dP 4 Tw~4b
ic"8'Rwb z?( b|v 寻找组件内部光场分析器: FMM 1@Ju sS0^K ]5Dh<QY&.
-6~.;M 5 ]V_A4Df 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 aT(_c/t. |"I)1[7 ,wXmJ)/WZ 评估模式 VpSpj/\m)' _SJ:|I .Y"F3
R P^48]Kj7 评估区域 %.?V\l 0bT[05. RHMXPsj W5=)B`v 光栅类型 4+s6cQ]S` x!\q69nd v Qh(X7B G\TO]c 光栅表面的采样 |ns?c0rM !!H"B('m TlRc8r| 7.6L1srV 光栅表面的采样 q!?*M?Oz dRnf Dfa3#{
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