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摘要 [ \I&/?On it=4cHT 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 P4"Pb\o* 'r KDw06/
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yRl ^ 寻找组件内部光场分析器: FMM UQGOCP_ LnQm2uF
@agW{%R:. //c<p 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 !PN;XZ~{ . &dh7`l "NU l7ce.R 评估模式 j, SOL9yg _xgF?# I]qml2 ~n)!e#p 评估区域 7X3<8:% l_ycYD$ZA ;#np~gL W"9?D 光栅类型 l3Vw?f k+xj 2)d7 1}#(4tw) 7%p[n;-o& 光栅表面的采样 7aH E:Dnwp I(6k.PQ [al, UO
kyQUaFG 光栅表面的采样 p5<2t SD TGnyN'P| ;Qpp[V`
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