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摘要 ?n]e5R(cj ;: 0g N|+
组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 #!h +K"wX
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 tWo MUp qUW>qi, 寻找组件内部光场分析器： FMM x>E**a?!L
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 m{ya%F 9Ytd E*,k 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 p Pezy:
~w>Z !RuhT 1|PmZPKq9n 评估模式 OP-%t\sj> 1.5lJ:[G  .x^`y 2'U c v'Fc 评估区域 &dC #nw HOb-q| w  [xVE0l*\ 0 CJ4]mYl 光栅类型 i N}B Md.U 9hG+?  ]:Q7Gys
.)wj{(>TJ 光栅表面的采样 CwV1~@{- SwDUg}M~  >VAZ^kgi MKuy?mri~ 光栅表面的采样 .%@=,+nqz LqHeLN  LX
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