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摘要 "ubp`7%67 *PmZqe 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 ^F^g(|(K ;0DoZ
lyn%r @@d_F<Ym[ 寻找组件内部光场分析器: FMM {!,K[QwcI VKa+[
x}G:n[B7_V hBgE%#`s 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 jIh1)*]054 r$jWjb Mj0,Y#=76 评估模式 B,b8\\^k| >$Y/B=e bWSN]]e1# >oh Cz@~ 评估区域 ay"jWL- ~nZcA^b#DQ c*KE3: >Kgw2,y+ 光栅类型 {Jn0G; <q63?Ms' /=2aD5r --h\tj\U 光栅表面的采样 ]b-2:M -^&=I3bp OGZD$j IDct!53~ 光栅表面的采样 ,dC.|P' ` W(q3m;n 4v[y^P
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