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=ir;m 内容简介 @5@{Es1u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 |2]WA'q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 l:C0:m% 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ]mU*Y:< &CsBG?@Z| 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 >t<R6f_Q0 目录 G u I sM Preface 1 H.S|njn:r 内容简介 2 ba1QFzN 目录 i j%<@uiu 1 引言 1 [eik<1=,~? 2 光学薄膜基础 2 G8c}re
2.1 一般规则 2 T`DlOi]Z_ 2.2 正交入射规则 3 .Zz7LG{ 2.3 斜入射规则 6 2x J5 2.4 精确计算 7 /r{5Lyk* 2.5 相干性 8 39m"}26*E 2.6 参考文献 10 BPs
& 3 Essential Macleod的快速预览 10 )8>f 4 Essential Macleod的特点 32 [5:7WqB 4.1 容量和局限性 33 ] ]-0RJ=S? 4.2 程序在哪里? 33 )bg,rESM 4.3 数据文件 35 juZ3"" 4.4 设计规则 35 ]lG\t'R 4.5 材料数据库和资料库 37 .Bn2;nO 4.5.1材料损失 38 r?>Hg+ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 (ZSSp1Rv 4.5.2 材料库 41 J4^cd 4.5.3导出材料数据 43 %),O9*[9 4.6 常用单位 43 ~ ?_Z!eS 4.7 插值和外推法 46
%NoZf^? 4.8 材料数据的平滑 50 !{0!G 4.9 更多光学常数模型 54 bW3o%srxa 4.10 文档的一般编辑规则 55 6 Izv& 4.11 撤销和重做 56 p=T\3_q 4.12 设计文档 57 xfSvvCy 4.10.1 公式 58 IbQ~f+y&2 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 nxRrmR}F 4.10.3 沉积密度 59 / /rWc,c 4.10.4 平行和楔形介质 60 nuA!Jln_ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 e5]0<s$ 4.10.4 性能 61 aN3{\^ 4.10.5 保存设计和性能 64 C#0Wo 4.10.6 默认设计 64 a5&j=3)| 4.11 图表 64 AVZ@?aJgF 4.11.1 合并曲线图 67 ^;_b!7* 4.11.2 自适应绘制 68 [uHI
6Q# 4.11.3 动态绘图 68 C5
!n{ 4.11.4 3D绘图 69 bV,R*C 4.12 导入和导出 73 I@+<[n2 4.12.1 剪贴板 73 Y{@[)M{< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 L
*@>/N 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 L+CSF ] 4.13 背景 77 GTvb^+6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 B9-=.2.WU 4.15 生成Rugate 84 +[DVD 4.16 参考文献 91 bhYaG i0 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 \ed(<e> 5.1 Jobs 92 *k$&Hcr$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Q+dI,5YF 5.3 输入材料 94 pn|{P<b\ 5.4 设计数据文件夹 95 =ByW` 5.5 默认设计 95 ?H?r!MZ% 6 细化和合成 97 ;0E4S 6.1 优化介绍 97 ~3 (>_r 6.2 细化 (Refinement) 98 &x #5-O' 6.3 合成 (Synthesis) 100 Bnv%W4 6.4 目标和评价函数 101 P&;I]2# 6.4.1 目标输入 102 PGGJpD? 6.4.2 目标 103 ~K`blW47 6.4.3 特殊的评价函数 104 VPbNLi 6.5 层锁定和连接 104 'fsOKx4Z 6.6 细化技术 104 E~Nr4vq 6.6.1 单纯形 105 HC+R:Dz 6.6.1.1 单纯形参数 106 k,& QcYw 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Af~AE2b3" 6.6.2.1 Optimac参数 108 -9EbU7>! 6.6.3 模拟退火算法 109 ?`$4ZDM 6.6.3.1 模拟退火参数 109 tWuQKN`_ 6.6.4 共轭梯度 111 ZW"J]"A 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 E*vi@aI 6.6.5 拟牛顿法 112 hZy*E [i 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 |99eDgK, 6.6.6 针合成 113 40XI\yE_? 6.6.6.1 针合成参数 114 3*<W`yed 6.6.7 差分进化 114 .v{ty 6.6.8非局部细化 115 XJ+sm^`vOf 6.6.8.1非局部细化参数 115 teb(\% , 6.7 我应该使用哪种技术? 116
8:MYeE5 6.7.1 细化 116 T5)?6i-N 6.7.2 合成 117 /~:ztv\$M" 6.8 参考文献 117 c9@* 7 导纳图及其他工具 118 :&MiO3#+ 7.1 简介 118 paY%pU 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 !O*n6}nPE 7.2.1 四分之一波长规则 119 Cpl)byb 7.2.2 导纳图 120 s0CRrMk 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 M=%p$\x 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 aU@z\sQ 7.5 斜入射导纳图 141 Sk-Ti\ 7.6 对称周期 141 bmLNR 7.7 参考文献 142 <Bwu N,} 8 典型的镀膜实例 143 Up:#Zs2 8.1 单层抗反射薄膜 145 NNX/2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 4|qp&%9- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 |d$aISO` 8.4 W-膜层 148 vs+N{ V 8.5 V-膜层 149 hwJ.M4 8.6 V-膜层高折射基底 150 M6>l%[ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
2B#WWb 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 -kO=pYP*O 8.9 四层抗反射薄膜 153 4'M#m|V 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 7">.{
@S 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [0$Y@ek[ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 n~LR=o 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ,=FYf|Z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 .|K5b]na 8.15十五层宽带抗反射膜 159 R)v`ZF,/b 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 &nq[Vy0kO4 8.17 1/4波长堆栈 162 @0G}Q 8.18 陷波滤波器 163 `&o|= 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 LxbVRw 8.20 褶皱 165 R9HRbVBJf 8.21 消偏振分光器1 169 2
UgjH 8.22 消偏振分光器2 171 Pdv&X*KA 8.23 消偏振立体分光器 172 U[ed#9l> 8.24 消偏振截止滤光片 173 S9.jc@#.` 8.25 立体偏振分束器1 174 V:lDR20*\ 8.26 立方偏振分束器2 177 }v:h EMO 8.27 相位延迟器 178 W\Gg!XsLk 8.28 红外截止器 179 FUQT ,7CA 8.29 21层长波带通滤波器 180 )S]c'}^ 8.30 49层长波带通滤波器 181 uzS57 O% 8.31 55层短波带通滤波器 182 9wYbY* j 8.32 47 红外截止器 183 c;WS !. 8.33 宽带通滤波器 184 Q{%ow:;s* 8.34 诱导透射滤波器 186 ixp %aRRP 8.35 诱导透射滤波器2 188 _&T$0SZco 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 yfU1;MI 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,Vogo5~X 8.35 增益平坦滤波器 193 F>&8b^v bn 8.38 啁啾反射镜 1 196 %Z.!Bm: 8.39 啁啾反射镜2 198 It4F;Ah 8.40 啁啾反射镜3 199 ?VJ Fp^Ra 8.41 带保护层的铝膜层 200 Tb}b*d3 8.42 增加铝反射率膜 201 KS%,N _F< 8.43 参考文献 202 :%0Z 9 多层膜 204 35ng_,t$ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _C##U; e! 9.2 内部透过率 204 @?t) UE 9.3 内部透射率数据 205 =[P || 9.4 实例 206 Q5Wb) 9.5 实例2 210 G#csN&|, 9.6 圆锥和带宽计算 212 g,.iM8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 jWm<!<~ 10 光学薄膜的颜色 216 p4/D%*G^` 10.1 导言 216 /rquI y^ 10.2 色彩 216 myPo&"_ x 10.3 主波长和纯度 220 O)hNHIF 10.4 色相和纯度 221 6(eyUgnb 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 1PWDK1GI8 10.6 色差 226 wy7f7zIa 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 i6[Hu8 10.8 颜色渲染指数 234 5nk]{ G> V 10.9 色差计算 235 TG!sck4/-Q 10.10 参考文献 236 + 505 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 |kjk{ 11.1 短脉冲 238 (u~@@d" 11.2 群速度 239 YM5;mPR 11.3 群速度色散 241 NpSS/rd $ 11.4 啁啾(chirped) 245 ]":PO4M$* 11.5 光学薄膜—相变 245 lLnD%*03 11.6 群延迟和延迟色散 246 IF<jq\M 11.7 色度色散 246 d5h:py5 11.8 色散补偿 249 /W fpA\4S 11.9 空间光线偏移 256 tY VmB:l 11.10 参考文献 258 SoCa_9*X 12 公差与误差 260 d^w6_ 12.1 蒙特卡罗模型 260 /CH*5w)1
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Z/O5Dear/h 12.2.1 误差工具 267 Z[ys>\_To 12.2.2 灵敏度工具 271 p2\@E}
z 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ?v6xaVg: 12.2.2.2 灵敏度分布 275 SDZ/rC!C 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ,XR1N$LN8_ 12.3 参考文献 276 f`T#=6C4| 13 Runsheet 与Simulator 277 mkgDg y 13.1 原理介绍 277 L,BuzU[1S 13.2 截止滤光片设计 277 QO~!S_FRH 14 光学常数提取 289 '?4B0= 14.1 介绍 289 iXI >>9 14.2 电介质薄膜 289 0ZTT^2R 14.3 n 和k 的提取工具 295 n%A)#AGGc 14.4 基底的参数提取 302 \#L}KW 14.5 金属的参数提取 306 !?,rcgi 14.6 不正确的模型 306 "OkJPu2!W 14.7 参考文献 311 rQCj^=cf;~ 15 反演工程 313 /alJN`g 15.1 随机性和系统性 313 CnN PziB 15.2 常见的系统性问题 314 I~|.Re9a 15.3 单层膜 314 <8~bb-U$ 15.4 多层膜 314 NsPt1_Y8 15.5 含义 319 xO{yr[x"L 15.6 反演工程实例 319 ]%pr1Ey 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zW8rC! 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ve<D[jQsk 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 n2cb,b/7 16.1 光学性质的热致偏移 329 (}
?")$. 16.2 应力工具 335 741Sd8 16.3 均匀性误差 339 w6aq/m"' 16.3.1 圆锥工具 339 IBZ_xU\2 16.3.2 波前问题 341 E&9BeU
a# 16.4 参考文献 343 yJNQO'wcv 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 E0G"B'x 17.1 引言 345 "&W80,O3 17.2 操作数 345 l]C#bL>i 18 如何在Function中编写脚本 351 opc`n}Fc 18.1 简介 351 h8'`g 0 18.2 什么是脚本? 351 )H8Rfn? 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ^zn&"@ 18.4 基础 352 E+)3n[G 18.4.1 Classes(类别) 352 R.^
Y'TLyc 18.4.2 对象 352 Qq+$ea?> 18.4.3 信息(Messages) 352 ~lib~Y'- 18.4.4 属性 352 bi~1d"j 18.4.5 方法 353 opqY@>Vh& 18.4.6 变量声明 353 gaV>WF 18.5 创建对象 354 05hjC 18.5.1 创建对象函数 355 t>Lq
"]1 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 (ZSd7qH" 18.5.3 丢弃对象 356 ip8%9fG\> 18.5.4 总结 356 bf@H(gCW= 18.6 脚本中的表格 357 &L`^\B]k| 18.6.1 方法1 357 =Z}$X:
$ 18.6.2 方法2 357 i24t$7q 18.7 2D Plots in Scripts 358 3127 4O 18.8 3D Plots in Scripts 359 Q,v/]bXd 18.9 注释 360 [0MNq]gxf 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ^pwT8Bp 18.11 一个更高级的脚本 362 &Ql$7:r 18.12 <esc>键 364 37<^Oly! 18.13 包含文件 365 6--t6>5 18.14 脚本被优化调用 366 rel_Z..~ 18.15 脚本中的对话框 368 4M*Z1 18.15.1 介绍 368 ]sLdz^E3D 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Uhs/F:E[A 18.15.3 输入框函数 370 [eLMb)n 18.15.4 自定义对话框 371 "rA-u)Te 18.15.5 对话框编辑器 371 1
K(0tG:5 18.15.6 控制对话框 377 G9_7jX* 18.15.7 更高级的对话框 380 g^I?u$&E 18.16 Types语句 384 ^m
Ua5w 18.17 打开文件 385 \:-"? 18.18 Bags 387 {;5\ #VFg 18.13 进一步研究 388 7w\L<vFm 19 vStack 389 t03X/%H 19.1 vStack基本原理 389 ZSvU1T8 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 g>E.Snj} 19.3 五棱镜 393 oZ5 ,y+L4 19.4 光束距离 396 `NySTd)\ 19.5 误差 399 +N}yqgE 19.6 二向分色棱镜 399 %-fQ[@5 19.7 偏振泄漏 404 ?`T Q'#P` 19.8 波前误差—相位 405 LIE5of 19.9 其它计算参数 405 ;W{2\ Es 20 报表生成器 406 P](/5KrK 20.1 入门 406 l=UXikx 20.2 指令(Instructions) 406 <P~pn!F} 20.3 页面布局指令 406 9CG&MvF c 20.4 常见的参数图和三维图 407 [[#zB-| 20.5 表格中的常见参数 408 #$X _,+<HZ 20.6 迭代指令 408 $+|.
@ss 20.7 报表模版 408 :Z%-&)F 20.8 开始设计一个报表模版 409 NK\0X5##. 21 一个新的project 413 a(IUAh*mO 21.1 创建一个新Job 414 1z3>nou2{ 21.2 默认设计 415 T*z*x=<5 21.3 薄膜设计 416 dWTc3@xd 21.4 误差的灵敏度计算 420 J4%"38l 21.5 显色指数计算 422 `ztp u
~? 21.6 电场分布 424 `{%ImXQF 后记 426 {X5G
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