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K!>3`[:I" 内容简介 X9" T(` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 L4u.cHJ}0 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 8"ZcK xDk 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Ut1s~b1 e2nZwPH 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 trLxg H_Y 目录 nddCp~NX Preface 1 wc}x
[cS 内容简介 2 v=uQ8_0~N 目录 i xTcY& 1 引言 1 ,gkWksl9 2 光学薄膜基础 2 ">fRM=fl 2.1 一般规则 2 &
}"I! 2.2 正交入射规则 3 \
sz ](X 2.3 斜入射规则 6 I;$tBgOWq 2.4 精确计算 7 !HXsxNe 2.5 相干性 8 %A&g-4( 2.6 参考文献 10 QqeF 3 Essential Macleod的快速预览 10 )J[Ady^5 4 Essential Macleod的特点 32 K_N`My 4.1 容量和局限性 33 4l/~::y 4.2 程序在哪里? 33 &XhxkN$8 4.3 数据文件 35 VWCC(YRU|$ 4.4 设计规则 35 <P Vmr2Jp" 4.5 材料数据库和资料库 37 -/7@ A 4.5.1材料损失 38 e6T?2`5P 4.5.1材料数据库和导入材料 39 3] U/^f3 4.5.2 材料库 41 GapH^trm 4.5.3导出材料数据 43 A>:31C 4.6 常用单位 43 &(x>J:b 4.7 插值和外推法 46 hNp.%XnnZ 4.8 材料数据的平滑 50 c Ct5m 4.9 更多光学常数模型 54 k.Z?BNP 4.10 文档的一般编辑规则 55 Jx4~ o{Z}c 4.11 撤销和重做 56 1_n5: 4.12 设计文档 57 4tapQgj24 4.10.1 公式 58 `E>o:tff 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 GL&rT& 4.10.3 沉积密度 59 7tY~8gQel 4.10.4 平行和楔形介质 60 )B5U0iIi 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 TjctK [db@ 4.10.4 性能 61 `-rtU 4.10.5 保存设计和性能 64 Tl^)O^/ 4.10.6 默认设计 64 Zk gj_ 4.11 图表 64 +k 4.11.1 合并曲线图 67 f5nAD 4.11.2 自适应绘制 68 qMBEJ<o 4.11.3 动态绘图 68 /q`f3OV" 4.11.4 3D绘图 69 &#]||T- 4.12 导入和导出 73 Nn5sD3z# 4.12.1 剪贴板 73 Yd~Tzh 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 8O*O5 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Pv8AWQQJ 4.13 背景 77 CT{X$N 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 OadGwa\:s 4.15 生成Rugate 84 C2
!F 4.16 参考文献 91 mgEZiAV ? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Bq85g5Dc 5.1 Jobs 92 16N`xw+{ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 OgyHX>}bH 5.3 输入材料 94 !AL?bW 5.4 设计数据文件夹 95 dC">AW 5.5 默认设计 95 gHU0Pr9' 6 细化和合成 97 m] IN-' 6.1 优化介绍 97 YW-Ge 6.2 细化 (Refinement) 98 YccD^w[`B 6.3 合成 (Synthesis) 100 C5#$NV99p 6.4 目标和评价函数 101 }Ot2; T 6.4.1 目标输入 102 \,b_8^ 6.4.2 目标 103 a^9}ceu? 6.4.3 特殊的评价函数 104 RXbZaje$ 6.5 层锁定和连接 104 }9&~+Q2 6.6 细化技术 104 _5768G`P 6.6.1 单纯形 105 &eX^ll 6.6.1.1 单纯形参数 106 x$V[xX 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 "1$hfs 6.6.2.1 Optimac参数 108 ?u M2|Nk 6.6.3 模拟退火算法 109 Ob7F39):N 6.6.3.1 模拟退火参数 109 >K;C?gHo 6.6.4 共轭梯度 111 2ISnWzq; 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 j}DG +M 6.6.5 拟牛顿法 112 pd}af iF 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 +p)kemJ~ 6.6.6 针合成 113 km!jxs 6.6.6.1 针合成参数 114 '[Ch8Yf\ 6.6.7 差分进化 114 >c8EgSZJ 6.6.8非局部细化 115 9m_Hm')VG 6.6.8.1非局部细化参数 115 GVzG 6.7 我应该使用哪种技术? 116 }o#6g|"\sY 6.7.1 细化 116 kA<58,! 6.7.2 合成 117 Ps7Bt(/ 6.8 参考文献 117 |=4imM7 7 导纳图及其他工具 118 HA(G q 7.1 简介 118 "zBYhZr 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 w#`E;fN' 7.2.1 四分之一波长规则 119 Y+#VzIZw 7.2.2 导纳图 120 pD%Pg5p` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 OX)[?1m8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 M&K'5G)7 7.5 斜入射导纳图 141 '>5W`lZ 7.6 对称周期 141 4o*wLCo7^ 7.7 参考文献 142 !XS ;&s7[* 8 典型的镀膜实例 143 veh?oJi@ 8.1 单层抗反射薄膜 145 PWThm ooP 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 &8uq5uKg 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 g)#neEA J 8.4 W-膜层 148 3)+}2 8.5 V-膜层 149 h48
jKL( 8.6 V-膜层高折射基底 150 1-60gI1) 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 r@Tq-o 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 re\&'%~K 8.9 四层抗反射薄膜 153 =7uxzg/%Tj 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $&iw (BIq 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 %) 8 UyZG 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 n[pW^&7x 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 aI:G(C?jm 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \sZ!F&a~ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 U#W9]il$ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Ks@ 8.17 1/4波长堆栈 162 z<c@<M=Q* 8.18 陷波滤波器 163 N
v,Yikf 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1zUo.Tg0 8.20 褶皱 165 0WI3m2i 8.21 消偏振分光器1 169 (},TZ+u 8.22 消偏振分光器2 171 +WYXj 8.23 消偏振立体分光器 172 I+]q;dF; 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^ LTKX`p 8.25 立体偏振分束器1 174 NiQ_0Y} 8.26 立方偏振分束器2 177 Una7O] 8.27 相位延迟器 178 hWujio/h 8.28 红外截止器 179 @] `_+\y 8.29 21层长波带通滤波器 180 3-5X^!C 8.30 49层长波带通滤波器 181 `w
J^ 8.31 55层短波带通滤波器 182 jKI0d+U 8.32 47 红外截止器 183 Z;bg;@r| 8.33 宽带通滤波器 184 pIy+3&\e; 8.34 诱导透射滤波器 186 Hki 8.35 诱导透射滤波器2 188 fH/J8< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #sK:q&/G` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 L`Lro:E?kL 8.35 增益平坦滤波器 193 ,dM}B- 8.38 啁啾反射镜 1 196 -5~&A6+ILn 8.39 啁啾反射镜2 198 D/1f>sl 8.40 啁啾反射镜3 199 ,s*-2Sz 8.41 带保护层的铝膜层 200 s6|EvIVM 8.42 增加铝反射率膜 201 Rs<li\GS 8.43 参考文献 202 INFbj8T 9 多层膜 204 spE(s%dgL 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 V]V~q ]
9.2 内部透过率 204 i,DnXgmz@ 9.3 内部透射率数据 205 cZ{-h 9.4 实例 206 CXr]V"X9 9.5 实例2 210 FCu0)\ 9.6 圆锥和带宽计算 212 GoK[tjb 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 WxB}Uh 10 光学薄膜的颜色 216 <lj;}@qQ< 10.1 导言 216 "[[9i 10.2 色彩 216 3(De> gs$ 10.3 主波长和纯度 220 Hvto]~=GQ 10.4 色相和纯度 221 1/O7KR`K 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 2aef[TY 10.6 色差 226 gi|j! m 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 brk>oM;t 10.8 颜色渲染指数 234 MY]Z@ 10.9 色差计算 235 df=G}M( 10.10 参考文献 236 x4&<Vr 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Gf(|?"
H 11.1 短脉冲 238 "w#jC~J<W 11.2 群速度 239 =}6yMR!4R< 11.3 群速度色散 241 5m_$21 11.4 啁啾(chirped) 245 ai!zb2j!E 11.5 光学薄膜—相变 245 6PF7Wl7. 11.6 群延迟和延迟色散 246 {_GhS% 11.7 色度色散 246 U,?[x2LF 11.8 色散补偿 249 )*=ds, 11.9 空间光线偏移 256 %jgB;Y 11.10 参考文献 258 k?%?EsR 12 公差与误差 260 5E|y5|8fb 12.1 蒙特卡罗模型 260 uTgvMkO 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 s}NE[Tw 12.2.1 误差工具 267 oDtgBO< 12.2.2 灵敏度工具 271 \t6k(5J 12.2.2.1 独立灵敏度 271 8J}gj7^8 12.2.2.2 灵敏度分布 275 yHY \4OHS 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 |~'PEY 12.3 参考文献 276 z?NMQ8l|:6 13 Runsheet 与Simulator 277
Rt
&Oz!TQ 13.1 原理介绍 277 IkzY 13.2 截止滤光片设计 277 \uT2)X( N 14 光学常数提取 289 ;<j[0~qp: 14.1 介绍 289 Y7TW_[_u 14.2 电介质薄膜 289 r5h+_&v,M 14.3 n 和k 的提取工具 295 `Ap<xT0H 14.4 基底的参数提取 302 YueYa#7z 14.5 金属的参数提取 306 u@V|13p< 14.6 不正确的模型 306 8|5ttdZ 14.7 参考文献 311 f-lM[\ma_ 15 反演工程 313 '<}N`PS#N 15.1 随机性和系统性 313 &!|' EW 15.2 常见的系统性问题 314 qhFWQ1W 15.3 单层膜 314 cZ6Zx] 15.4 多层膜 314 l[Hgh, 15.5 含义 319 4'Svio 15.6 反演工程实例 319 T1\LS*~! 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 eXB'>#&s 15.6.2 反演工程提取折射率 327 _"b[UT}m 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 N-
!>\n 16.1 光学性质的热致偏移 329 :gD=F &V 16.2 应力工具 335 p_^Jr*Mv 16.3 均匀性误差 339 /$w,8pV= 16.3.1 圆锥工具 339 |ia#Elavo 16.3.2 波前问题 341 p\A!"KC 16.4 参考文献 343 %25GplMT 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 gk & 17.1 引言 345 JDp"!x{O 17.2 操作数 345 #(i9G^K 18 如何在Function中编写脚本 351 S.u1[Yz^ 18.1 简介 351 V7+fNr]I 18.2 什么是脚本? 351 Owe"x2D\ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ku8C#%.m3 18.4 基础 352 Y(a0*fh 18.4.1 Classes(类别) 352 c#-o@`Po 18.4.2 对象 352 {`-f<>N3 18.4.3 信息(Messages) 352 'AU:[eyUV 18.4.4 属性 352 zla^j, 18.4.5 方法 353 =tk O^ 18.4.6 变量声明 353 8h,>f#)0c 18.5 创建对象 354 (:g ZZG 18.5.1 创建对象函数 355 jN[P$}#b` 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 xaPaK- 18.5.3 丢弃对象 356 zJ"`40V*; 18.5.4 总结 356 |Ok@:Au 18.6 脚本中的表格 357 50<QF 18.6.1 方法1 357 Gr),o6}p 18.6.2 方法2 357 ZNHlq5 18.7 2D Plots in Scripts 358 <"GgqyRzv 18.8 3D Plots in Scripts 359 mz[Q]e~&i 18.9 注释 360 -o+<m4he 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 (uW$ch@2K 18.11 一个更高级的脚本 362 W@bZ~Q9 18.12 <esc>键 364 [w1 4hHnq 18.13 包含文件 365 })V^t3 18.14 脚本被优化调用 366 |c<h&p 18.15 脚本中的对话框 368 d~0k}|> 18.15.1 介绍 368 G!G]*p5 18.15.2 消息框-MsgBox 368 6Z}8"VJr { 18.15.3 输入框函数 370 PLb[U(~ 18.15.4 自定义对话框 371 k_o$ Ci 18.15.5 对话框编辑器 371 8q}955Nl 18.15.6 控制对话框 377 rf ?\s/#OY 18.15.7 更高级的对话框 380 4#^E$N: 18.16 Types语句 384 y#B4m`9 18.17 打开文件 385 3J3Yt` 18.18 Bags 387 Ha)Vf +W 18.13 进一步研究 388 !l(O$T9T 19 vStack 389 ;h7W(NO~z 19.1 vStack基本原理 389 l_2B 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 #CV;Np 19.3 五棱镜 393 ?LwBF;Y 19.4 光束距离 396 ~Y_5q)t( 19.5 误差 399 E ',z<S 19.6 二向分色棱镜 399 vWs#4JoG 19.7 偏振泄漏 404 |7$Q'3V 19.8 波前误差—相位 405 qexnsL 19.9 其它计算参数 405 : Yb_ 20 报表生成器 406 +{r~-Rn3 20.1 入门 406 2+oS'nL 20.2 指令(Instructions) 406 >d9b"T 20.3 页面布局指令 406 5qL;@Y 20.4 常见的参数图和三维图 407 )8JfBzR 20.5 表格中的常见参数 408 75"&"*R/*G 20.6 迭代指令 408 Clo}kdkd_ 20.7 报表模版 408 nu6p{_M 20.8 开始设计一个报表模版 409 %(X^GL 21 一个新的project 413 r,r"?}Z 21.1 创建一个新Job 414 8
U<$u,WS 21.2 默认设计 415 _kZ&t_] 21.3 薄膜设计 416 a
!yBEpMo 21.4 误差的灵敏度计算 420 EJid@ 21.5 显色指数计算 422 %_L~"E 2e 21.6 电场分布 424 j9d^8)O, 后记 426 DUMC4+i
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