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1vP.K 内容简介 $1n\jN Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )D"2Q: 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 DI=?{A 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 >
QK"r7f/ Xz"xp8Hc(6 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 l@g%A#
_ 目录 -+WE9 Preface 1 (/C
8\}Ox 内容简介 2 ZdlQ}l#F 目录 i 9:7&`JlC# 1 引言 1 Tua#~.3}J 2 光学薄膜基础 2 \vgM`32< 2.1 一般规则 2 yK0iW 2.2 正交入射规则 3 MI>_wG5P@ 2.3 斜入射规则 6 w\ddC DZ 2.4 精确计算 7 RP%FMb}nt 2.5 相干性 8 ]%+T+zg(Y 2.6 参考文献 10 /|8/C40aY 3 Essential Macleod的快速预览 10 bdHHOpXM 4 Essential Macleod的特点 32 8b< 'jft 4.1 容量和局限性 33 9lB$i2G>Zw 4.2 程序在哪里? 33 bf6:J
`5Z 4.3 数据文件 35 "B0I$`~wu 4.4 设计规则 35 c:2LG_mQ 4.5 材料数据库和资料库 37 AL*M`m_ 4.5.1材料损失 38 U3|9a8^H 4.5.1材料数据库和导入材料 39 okH*2F(- 4.5.2 材料库 41 ?D=C8[NEX 4.5.3导出材料数据 43 j7b 4wH\# 4.6 常用单位 43 j>Cp4 4.7 插值和外推法 46 d8&T62Dnd4 4.8 材料数据的平滑 50 fy={ 4.9 更多光学常数模型 54 MbXtmQ%C8 4.10 文档的一般编辑规则 55 mJ+mTA5bW 4.11 撤销和重做 56 qD{~QHDa 4.12 设计文档 57 B[fbP rM 4.10.1 公式 58 =a(]@8$!1 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 2!GyQ@&[W 4.10.3 沉积密度 59 ) h=[7}| 4.10.4 平行和楔形介质 60 gq050Bl) 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 3y yVI# 4.10.4 性能 61 t"X^|!hKIF 4.10.5 保存设计和性能 64 #dkSAS 4.10.6 默认设计 64 I.kuYD62 4.11 图表 64 HH|N~pBJB 4.11.1 合并曲线图 67 |};-.}u^`h 4.11.2 自适应绘制 68 1'b}Y8YO 4.11.3 动态绘图 68 v>sjS3 4.11.4 3D绘图 69 hZ-?-F?*@ 4.12 导入和导出 73 ^a=V. 4.12.1 剪贴板 73 8Od7e` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ISg-?h/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 C%AN4Mo 4.13 背景 77 8BX9JoDi 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 NV`=T?1[5 4.15 生成Rugate 84 U$LI~XZM 4.16 参考文献 91 4f'!,Q ; 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ~xf uq{L; 5.1 Jobs 92 ]BfJ~+ N 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8JU{]Z!G<; 5.3 输入材料 94 _eUd
RL> 5.4 设计数据文件夹 95 a!\^O).pA 5.5 默认设计 95 S>y}|MG 6 细化和合成 97 eJE!\ucS2W 6.1 优化介绍 97 3 V$
\s8 6.2 细化 (Refinement) 98 A}_0iwG 6.3 合成 (Synthesis) 100 /g$8JL 6.4 目标和评价函数 101 lA n^)EL 6.4.1 目标输入 102 uLrZl0%HT~ 6.4.2 目标 103 c=33O,_ 6.4.3 特殊的评价函数 104 Fz2CXC 6.5 层锁定和连接 104 Gp2Cwyv 6.6 细化技术 104 K9) |b`E= 6.6.1 单纯形 105 qE M,~:lTn 6.6.1.1 单纯形参数 106 /}nq?Vf 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9!s)52qt 6.6.2.1 Optimac参数 108 34 I Cn~ 6.6.3 模拟退火算法 109 p_CC KU 6.6.3.1 模拟退火参数 109 #2;8/"v 6.6.4 共轭梯度 111 LrdX^_,nt 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 3V3 q
vd 6.6.5 拟牛顿法 112 cQ(,M 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 bpdluWS+ ) 6.6.6 针合成 113 spma\,o 6.6.6.1 针合成参数 114 3 ]w a8| 6.6.7 差分进化 114 kg^5D3!2{Q 6.6.8非局部细化 115 <"nF`'olV 6.6.8.1非局部细化参数 115 ~LJt lJ
0 6.7 我应该使用哪种技术? 116 3]67U}` 6.7.1 细化 116 /l;_ xs 6.7.2 合成 117 R_b)2FU1y 6.8 参考文献 117 :a_MT 7 导纳图及其他工具 118 UD_8#DO{m1 7.1 简介 118 Iy Vmz' 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )TwA?kj 7.2.1 四分之一波长规则 119 }UqL2KXi4 7.2.2 导纳图 120 N\85fPSMG| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 yH]w(z5Z 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 wc?YzXP+ 7.5 斜入射导纳图 141 f9^MLb6) 7.6 对称周期 141 U\dLq&=V 7.7 参考文献 142 ,AG k4] 8 典型的镀膜实例 143 (VBO1 f 8.1 单层抗反射薄膜 145 !XO"lS 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 spTIhZ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 GSVLZF'+ 8.4 W-膜层 148 q1Ehl
S 8.5 V-膜层 149 p)s*Cw 8.6 V-膜层高折射基底 150 .cs4AWml< 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ]wEFm;N 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 7mnZ,gpb 8.9 四层抗反射薄膜 153 _cd=PZhI 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 h&x;#.SYK 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 G<`6S5J>hr 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 "`
kSI&2 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 GW0e=Y=LR 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 K.42 VM)F 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Z%QU5. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 WTwura, 8.17 1/4波长堆栈 162 EgTj
8.18 陷波滤波器 163 {emym$we 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 m*` W&k[ 8.20 褶皱 165 `9nk{!X\ 8.21 消偏振分光器1 169 gF r-P! 3 8.22 消偏振分光器2 171 B4w/cIj_ 8.23 消偏振立体分光器 172 -8z@FLUK- 8.24 消偏振截止滤光片 173 PF0AU T 8.25 立体偏振分束器1 174 DxxY<OkN 8.26 立方偏振分束器2 177 @%I-15Jz 8.27 相位延迟器 178 <+AvbqDe 8.28 红外截止器 179 t?h\Af4Tf 8.29 21层长波带通滤波器 180 JF(&+\i<p 8.30 49层长波带通滤波器 181 < [q{0, 8.31 55层短波带通滤波器 182 h{?cs%lZ 8.32 47 红外截止器 183 =|IY[2^ 8.33 宽带通滤波器 184 sg4TX?I 8.34 诱导透射滤波器 186 ABU~V+'2 8.35 诱导透射滤波器2 188 W!)B%.Q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /v7o!D1G 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 #F ;@Qi3z 8.35 增益平坦滤波器 193 1.z]/cx<y 8.38 啁啾反射镜 1 196 o| 9Mj71 8.39 啁啾反射镜2 198 InB'Ag" 8.40 啁啾反射镜3 199 b@9d@@/wx 8.41 带保护层的铝膜层 200 y
hNy 8.42 增加铝反射率膜 201 Jv59zI 8.43 参考文献 202 !5K5;M_Ih" 9 多层膜 204 @^,9O92l 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 0[7tJbN 9.2 内部透过率 204 W"\O+ 9.3 内部透射率数据 205 (RI+4V1 9.4 实例 206 U]
av{}U 9.5 实例2 210 6yedl0@wa! 9.6 圆锥和带宽计算 212 :$N{NChx 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 PbY=?>0 z 10 光学薄膜的颜色 216 8P*wt'Q$ 10.1 导言 216 b:W
x[+ 10.2 色彩 216 xQ>T.nP}1 10.3 主波长和纯度 220 ;I]$N]8YI 10.4 色相和纯度 221 6:AZZF1 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ;#ElJXS 10.6 色差 226 ,W5!=\Gg( 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 W|V9:A 10.8 颜色渲染指数 234 $DhW=(YM_a 10.9 色差计算 235 i`7:^v; 10.10 参考文献 236 ]ujXPK=t 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Lo5CVlK 11.1 短脉冲 238 a5uBQ? 11.2 群速度 239 SVqKG+{My 11.3 群速度色散 241 N`NW*~ 11.4 啁啾(chirped) 245 uX~YDy 11.5 光学薄膜—相变 245
u'qc=5 11.6 群延迟和延迟色散 246 nD#uOep9 11.7 色度色散 246 YguY5z 11.8 色散补偿 249 =|_k a8{? 11.9 空间光线偏移 256 I4MZJAYk 11.10 参考文献 258 }W5~89" 12 公差与误差 260 \>c1Z5H> 12.1 蒙特卡罗模型 260 1|oE3 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 -Rj3cx 12.2.1 误差工具 267 +=#@1k~ 12.2.2 灵敏度工具 271 )*Rr5l /l 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ?T_bjALW 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Y(h(Z 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Nuc2CB)J 12.3 参考文献 276 l` ?4O 13 Runsheet 与Simulator 277 z?.XVk- 13.1 原理介绍 277 -\V;Gw8mD 13.2 截止滤光片设计 277 tW"s^r=95 14 光学常数提取 289 #hh7fE'9 14.1 介绍 289 t9[%o=N~lD 14.2 电介质薄膜 289
7!^Zsp^+ 14.3 n 和k 的提取工具 295 ]`TX%Qni 14.4 基底的参数提取 302 X{;5jnpG 14.5 金属的参数提取 306 `k~w
14~w 14.6 不正确的模型 306 qWb 8" 14.7 参考文献 311 AJ)N?s-= 15 反演工程 313 Ql?>,FZ 15.1 随机性和系统性 313 *M+ CA_I( 15.2 常见的系统性问题 314 #gRtCoew 15.3 单层膜 314 RgLk AHA 15.4 多层膜 314 xHWD1> 15.5 含义 319 Ct386j>< 15.6 反演工程实例 319 4|xQQv 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 b0yNc:
15.6.2 反演工程提取折射率 327 hXQo>t-$ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 wo_iCjmK 16.1 光学性质的热致偏移 329 @S?D}myD 16.2 应力工具 335 Z]=9=S|
.4 16.3 均匀性误差 339 .oz(,$CS" 16.3.1 圆锥工具 339 oL*ZfF3 16.3.2 波前问题 341
W>m#Mz 16.4 参考文献 343 G|)fZQ1nS 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 \zV'YeG 17.1 引言 345 );L +)UV 17.2 操作数 345 7hfa?Mcz 18 如何在Function中编写脚本 351 yrV]I(Xe 18.1 简介 351 4L)Ox;6> 18.2 什么是脚本? 351 *sq+ Vc( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 5g4xhYl70n 18.4 基础 352
nIv/B/>pZ 18.4.1 Classes(类别) 352 +*KDtqZjk 18.4.2 对象 352 H?)?(t7@ 18.4.3 信息(Messages) 352 Mx=L lC) 18.4.4 属性 352 }BLT2]y0 18.4.5 方法 353 DWcEl: 18.4.6 变量声明 353 Df=zrs[" 18.5 创建对象 354 sr`)l& t? 18.5.1 创建对象函数 355 7K &j 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 W0KSLxM 18.5.3 丢弃对象 356 s78V \Vw3 18.5.4 总结 356 _`q ei0 18.6 脚本中的表格 357 3R ZD=` 18.6.1 方法1 357 7"$9js 2 18.6.2 方法2 357 xZp`Ke! 18.7 2D Plots in Scripts 358 WkK.ON^ 18.8 3D Plots in Scripts 359 @4%x7%+[c 18.9 注释 360 F+::UWKA 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 #{suH7 18.11 一个更高级的脚本 362 FHbw& 18.12 <esc>键 364 L_ 2R3w 18.13 包含文件 365 cKH By 18.14 脚本被优化调用 366 BZ>,Qh!J 18.15 脚本中的对话框 368 n]J;BW&Av 18.15.1 介绍 368 7g&<ZZo 18.15.2 消息框-MsgBox 368 v#Y9O6g]T 18.15.3 输入框函数 370 c`4i#R 18.15.4 自定义对话框 371 %XK<[BF 18.15.5 对话框编辑器 371 `~ {0 18.15.6 控制对话框 377 "uHU!)J#z 18.15.7 更高级的对话框 380 4-{f$Z@ 18.16 Types语句 384 L$s;tJ 18.17 打开文件 385 hYv;*] 18.18 Bags 387 j#JE4(& 18.13 进一步研究 388 _U/C G<n 19 vStack 389 iJ 8I#
j+N 19.1 vStack基本原理 389 `KzNBH,W 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 `=rDB7!$yL 19.3 五棱镜 393 i 79;;9M 19.4 光束距离 396 e6igx 19.5 误差 399 zHW}A
`Rz 19.6 二向分色棱镜 399 :} 9Lb)Yp 19.7 偏振泄漏 404 YztW1GvI 19.8 波前误差—相位 405 PvB-Cqc 19.9 其它计算参数 405 ;mLbgiqQ J 20 报表生成器 406 ZsepTtY 20.1 入门 406 +q@g 20.2 指令(Instructions) 406 R.B3
20.3 页面布局指令 406 Jb"0P`senY 20.4 常见的参数图和三维图 407 fN{JLp 20.5 表格中的常见参数 408 !ie'}|c 20.6 迭代指令 408 ejI nJ 20.7 报表模版 408 o5|P5h 20.8 开始设计一个报表模版 409 EHY}gG) 21 一个新的project 413 =pR'XF% 21.1 创建一个新Job 414 p:q?8+W-r 21.2 默认设计 415 !BikqTM 21.3 薄膜设计 416 )#_:5^1 21.4 误差的灵敏度计算 420 TBp$S=_** 21.5 显色指数计算 422 1!`B8y) 21.6 电场分布 424 @8qo(7<~Q 后记 426 ;L.RfP"5<
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