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_K0izKTA. 内容简介 %tzN@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $u; >hk 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 [y|^P\D 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 `Di ^6UK( S,*{q( 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 !2zo]v4? 目录 H.YIv50E Preface 1 dThR)Z'= 内容简介 2 5JBB+g 目录 i n|70x5Z?}J 1 引言 1 q_<*esZ, 2 光学薄膜基础 2 oLrkOn/aY 2.1 一般规则 2 yhcNE8mkQ/ 2.2 正交入射规则 3 ~\IF9! 2.3 斜入射规则 6 UF&0&`@ 2.4 精确计算 7 ku/\16E/k 2.5 相干性 8 MxO
W)$f 2.6 参考文献 10 je&dioZ> 3 Essential Macleod的快速预览 10 h8f!<:rTS 4 Essential Macleod的特点 32 bz,Da 4.1 容量和局限性 33 6=ZRn gQ 4.2 程序在哪里? 33 P0%N
Q1bn 4.3 数据文件 35 {S5RK-ax 4.4 设计规则 35 LP^p~5Az 4.5 材料数据库和资料库 37 5h`m]#YEG 4.5.1材料损失 38 +1otn~(E 4.5.1材料数据库和导入材料 39 V";mWws+?# 4.5.2 材料库 41
#4vV%S 4.5.3导出材料数据 43 m b%C}8D 4.6 常用单位 43 ]b4pI*:$I 4.7 插值和外推法 46 h5L=M^z!> 4.8 材料数据的平滑 50 x96qd%l/ 4.9 更多光学常数模型 54 y;Qy"-)qb 4.10 文档的一般编辑规则 55 oN *SRaAp 4.11 撤销和重做 56 <Q2u)m' 4.12 设计文档 57 :PgF 4.10.1 公式 58 H@K#|A=a 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 @SU8 \:(U 4.10.3 沉积密度 59 {eEBrJJeB 4.10.4 平行和楔形介质 60 \Dn&"YG7 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 CQ@LmTW[ 4.10.4 性能 61 2>F\& 4.10.5 保存设计和性能 64 }5Yj 4.10.6 默认设计 64 u@<Pu@?xm 4.11 图表 64 `TUZZz 4.11.1 合并曲线图 67 ZU=,f'bU 4.11.2 自适应绘制 68 IikG/8lP 4.11.3 动态绘图 68 b6 $,Xh 4.11.4 3D绘图 69 dZPW2yf 4.12 导入和导出 73 7=}6H3|& 4.12.1 剪贴板 73 0CT}DQ._^N 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 10mK}HT>4B 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ZTN(irK 4.13 背景 77 9lKn%|=T 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 3pB}2] 4.15 生成Rugate 84 3)}(M 4.16 参考文献 91 &=YSM.G 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 1o8wy_eSs 5.1 Jobs 92 Sa L"!uAk 5.2 创建一个新Job(工作) 93 b3}Q#Y\G 5.3 输入材料 94 v2d<o[[C 5.4 设计数据文件夹 95 *P`v^& 5.5 默认设计 95 y<TOqn 6 细化和合成 97 '!p=aF9L 6.1 优化介绍 97 Rq) 0i}F 6.2 细化 (Refinement) 98 ^7.XGWQ)- 6.3 合成 (Synthesis) 100 Q8p=!K 6.4 目标和评价函数 101 jAXR`D 6.4.1 目标输入 102 4CLsY n? 6.4.2 目标 103 HN{z T& 6.4.3 特殊的评价函数 104 j.DHqHx 6.5 层锁定和连接 104 qP7G[%=v 6.6 细化技术 104 nP<S6:s: 6.6.1 单纯形 105 k}GjD2m 6.6.1.1 单纯形参数 106 xOythvO 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 k0L] R5W 6.6.2.1 Optimac参数 108 wxE?3%.j\ 6.6.3 模拟退火算法 109 _K'7(d0z 6.6.3.1 模拟退火参数 109 (?vK_{ 6.6.4 共轭梯度 111 KF+mZB 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 L1sqU-gt 6.6.5 拟牛顿法 112 ,of]J| 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 61} i5o 6.6.6 针合成 113 @xS]!1- 6.6.6.1 针合成参数 114 Vo\H<_=G 6.6.7 差分进化 114 yYY Nu` 6.6.8非局部细化 115 +TH3&H5I_A 6.6.8.1非局部细化参数 115
dy<27 = 6.7 我应该使用哪种技术? 116 {pWBwf>R C 6.7.1 细化 116 -p`L%xj\ 6.7.2 合成 117 NgVR,G|1 6.8 参考文献 117 ?DPHo)w 7 导纳图及其他工具 118 v`x|]-/M& 7.1 简介 118 9C/MRmv` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ='}#`', 7.2.1 四分之一波长规则 119 L2fZ{bgy 7.2.2 导纳图 120 !77NG4B 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 hJf2o 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 .IgRY\?Q 7.5 斜入射导纳图 141 -R0/o7 7.6 对称周期 141 s9O2k}] 7.7 参考文献 142 xzm@
v( 8 典型的镀膜实例 143 OX\$ nQ\o 8.1 单层抗反射薄膜 145 4r&f%caU 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 o5!f#Y 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 71"+<C . 8.4 W-膜层 148 w2dcH4& 8.5 V-膜层 149 A_R!uRD8- 8.6 V-膜层高折射基底 150 zXZir7NfM 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 &^!h}D%T/ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 HbM0TXo 8.9 四层抗反射薄膜 153 }Cj8 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 .TpsJXF 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 U]R~ gy}# 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ab.tH$:< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <41ZZ0<EwY 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 `)Ky0&? 8.15十五层宽带抗反射膜 159 $4m*kQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ;a
r><w 8.17 1/4波长堆栈 162 ,DQjDMjrf 8.18 陷波滤波器 163 V'pqxjfd 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 |^a;77nE_^ 8.20 褶皱 165 ^U@~+dw 8.21 消偏振分光器1 169 tg\|? 8.22 消偏振分光器2 171 e,gyQjJR 8.23 消偏振立体分光器 172 3@<zg1.9- 8.24 消偏振截止滤光片 173 )OP){/ 8.25 立体偏振分束器1 174 #_JYh? 8.26 立方偏振分束器2 177 UzG[:ic% 8.27 相位延迟器 178 V
'.a)6 8.28 红外截止器 179 [XR$F@o 8.29 21层长波带通滤波器 180 {ci.V*:" 8.30 49层长波带通滤波器 181 /M=3X|| 8.31 55层短波带通滤波器 182 56}X/u 8.32 47 红外截止器 183 rD
&D)w 8.33 宽带通滤波器 184 d`y!cu2} 8.34 诱导透射滤波器 186 N( Oyi 8.35 诱导透射滤波器2 188 ZDt?j 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 `]i
[]| 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 zjl!9M! 8.35 增益平坦滤波器 193 %, P>%'0 8.38 啁啾反射镜 1 196 `3 cCH 8.39 啁啾反射镜2 198 4hs)b 8.40 啁啾反射镜3 199 ravyiOL 8.41 带保护层的铝膜层 200 viX
+|A4gJ 8.42 增加铝反射率膜 201 P8Qyhc 8.43 参考文献 202 K > g[k_ 9 多层膜 204 =r2]uW9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L2UsqVU 9.2 内部透过率 204 x;s0j"`Jb 9.3 内部透射率数据 205 % Zjdl 9.4 实例 206 ?)D^~/
A 9.5 实例2 210 YJV% a 9.6 圆锥和带宽计算 212 dT|vYK}\ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |{>ER,<- 10 光学薄膜的颜色 216 yx38g
ca 10.1 导言 216 3SttHu0X 10.2 色彩 216 p'_%aVm7 10.3 主波长和纯度 220 $g0+,ll[6 10.4 色相和纯度 221 V!_71x\-Q 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 q*7<)VwI 10.6 色差 226 ^x>Qf(b 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 RE2&mYt 10.8 颜色渲染指数 234 hVUh0XeO 10.9 色差计算 235 (t+;O; 10.10 参考文献 236 %EbPI)yY3 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ED>prE0 11.1 短脉冲 238 Pz*_)N}j > 11.2 群速度 239 XRx+Dddt; 11.3 群速度色散 241 fxaJZz$o 11.4 啁啾(chirped) 245 \NZIEu)5? 11.5 光学薄膜—相变 245 Fb`a~c~s 11.6 群延迟和延迟色散 246 CC=d I 11.7 色度色散 246 ^!<dgBNj 11.8 色散补偿 249 `.jzuX 11.9 空间光线偏移 256 d\{>TdyF 11.10 参考文献 258 ,l YE 12 公差与误差 260 2Y\
d<.M 12.1 蒙特卡罗模型 260
S8[=S 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 i<kD 12.2.1 误差工具 267 4fk8*{Y 12.2.2 灵敏度工具 271 eV:9y 12.2.2.1 独立灵敏度 271 IJYL s
12.2.2.2 灵敏度分布 275 Q1d'~e 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 lGwl1,= 12.3 参考文献 276 _.IxRk)T 13 Runsheet 与Simulator 277 Qd}m`YW-f$ 13.1 原理介绍 277 3s\.cG?`r 13.2 截止滤光片设计 277 g8qgk:} 14 光学常数提取 289 wN1niR' 14.1 介绍 289 3vhnwDcK 14.2 电介质薄膜 289 N{
Z
H 14.3 n 和k 的提取工具 295 $vC1 K5sLk 14.4 基底的参数提取 302 wO ?+Nh 14.5 金属的参数提取 306 _vSn` 14.6 不正确的模型 306 k.("3R6v: 14.7 参考文献 311 dm0QcW4 15 反演工程 313 NI#X@ 15.1 随机性和系统性 313 p&+;w 15.2 常见的系统性问题 314 }bY;q- 15.3 单层膜 314 pyLRgD0
g 15.4 多层膜 314 (py]LBZ 15.5 含义 319 { eCC$&" 15.6 反演工程实例 319 I2nF-JzD2a 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 yjfat&$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 7VcmVq}X 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
;};wq&b# 16.1 光学性质的热致偏移 329 l @^3Exwt 16.2 应力工具 335 }|PY!O
16.3 均匀性误差 339 }*.0N;;C 16.3.1 圆锥工具 339 3a.kBzus 16.3.2 波前问题 341 GpZc5c 16.4 参考文献 343 qM#R0ZUIe\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 T] 2q?;N 17.1 引言 345 :ba5iMa 17.2 操作数 345 XsnF~)YW 18 如何在Function中编写脚本 351 w"R:\@ F 18.1 简介 351 /rUo{j 18.2 什么是脚本? 351 W6On93sa 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 KII *az 18.4 基础 352 _.L4e^N&UO 18.4.1 Classes(类别) 352 D9j3Xu 18.4.2 对象 352 z5)s/;Sc 18.4.3 信息(Messages) 352 jDQZQ NS 18.4.4 属性 352 os/vtyP:a 18.4.5 方法 353 r*Yi1j/ 18.4.6 变量声明 353 ~gGZmTb 18.5 创建对象 354 `uC@nJ 18.5.1 创建对象函数 355 ]('D^Ro 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `FoxP 18.5.3 丢弃对象 356 oWYmj=D~2z 18.5.4 总结 356 NH+(?TN 18.6 脚本中的表格 357 mdRU^n 18.6.1 方法1 357 *zr(Zv 18.6.2 方法2 357 N^3N[lD{ 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;qrB\j" 18.8 3D Plots in Scripts 359 E9~Ghx. 18.9 注释 360 9W(dmde> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 _cXqAo[V 18.11 一个更高级的脚本 362 -wjN"g< 18.12 <esc>键 364 *4V=z# 18.13 包含文件 365 F7Zwh5W 18.14 脚本被优化调用 366 -|E!e.^7: 18.15 脚本中的对话框 368 aG^4BpIP 18.15.1 介绍 368 ;<leKcvhQ& 18.15.2 消息框-MsgBox 368 St e=&^ 18.15.3 输入框函数 370 R~Ne|V2 18.15.4 自定义对话框 371 XGl+S 18.15.5 对话框编辑器 371 8QM(?A 18.15.6 控制对话框 377 je!-J8{ 18.15.7 更高级的对话框 380 nw-I|PVTNa 18.16 Types语句 384 J>\B`E 18.17 打开文件 385 >uSy 18.18 Bags 387 KQ~i<1&j 18.13 进一步研究 388 KN* 19 vStack 389 Nqu>6^-z0 19.1 vStack基本原理 389 5O\*h;U 6 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 y~FV2$ 19.3 五棱镜 393 }I
:OsAw 19.4 光束距离 396 92 [;Y 19.5 误差 399 }2e??3 19.6 二向分色棱镜 399 .C--gQpIv 19.7 偏振泄漏 404 Sv +IS 19.8 波前误差—相位 405
6q{HU]N+ 19.9 其它计算参数 405
Y*UA,<- 20 报表生成器 406 >k'c'7/ 20.1 入门 406 #W|'1
OX4 20.2 指令(Instructions) 406 .,OVzW 20.3 页面布局指令 406 [<6S%s 20.4 常见的参数图和三维图 407 Z-l=\ekJ 20.5 表格中的常见参数 408 PbmDNKEh{ 20.6 迭代指令 408 0|a(]a}V*j 20.7 报表模版 408 <"_d]?, 20.8 开始设计一个报表模版 409 O<,\^[x 21 一个新的project 413 \ioH\9 21.1 创建一个新Job 414 `b^Ru+(dM 21.2 默认设计 415 ]bK=FIK2 21.3 薄膜设计 416 JhLgCnm 21.4 误差的灵敏度计算 420 lR(+tj)9uO 21.5 显色指数计算 422 D ^x-^6^ 21.6 电场分布 424 bdc&1I$ 后记 426 WS`qVL]^&
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