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}y0UyOa{C 内容简介 '~a!~F~> Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 V8N<%/A= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 */qv} 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 N
.SszZh CBF>157B 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 !WIL|\jbh 目录 }ShZ4 xMz Preface 1 U 26Iz 内容简介 2 Y${ $7+@ 目录 i 1Ju{IEV 1 引言 1 FB</~
g 2 光学薄膜基础 2 'Y-c*q 2.1 一般规则 2 fa!iQfr 2.2 正交入射规则 3 KpK'?WhX7^ 2.3 斜入射规则 6 WIbU^WJ0 2.4 精确计算 7 Aimgfxag 2.5 相干性 8 ?^6RFbke+ 2.6 参考文献 10 '7xY,IY 3 Essential Macleod的快速预览 10 8d>OtDLa 4 Essential Macleod的特点 32
k&rl%P 4.1 容量和局限性 33 &KD
m5p 4.2 程序在哪里? 33 ?HBc7$nW 4.3 数据文件 35 RLIugz{IH 4.4 设计规则 35 Cx@, J\rsQ 4.5 材料数据库和资料库 37 N8!B2uPQ 4.5.1材料损失 38 Oc"2|X 4.5.1材料数据库和导入材料 39 gfp#G,/B 4.5.2 材料库 41 cy? EX~s4 4.5.3导出材料数据 43 f:=?"MX7 4.6 常用单位 43 ]6(NeS+ 4.7 插值和外推法 46 Dui<$jl0b 4.8 材料数据的平滑 50 }5%!:= 4.9 更多光学常数模型 54 AMkjoy3+] 4.10 文档的一般编辑规则 55 #kxg|G[Ol 4.11 撤销和重做 56 k3e
$0`Q 4.12 设计文档 57 Ddu$49{S: 4.10.1 公式 58 /*8"S mte 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 |D<~a(0 4.10.3 沉积密度 59 ]pFYAe ? 4.10.4 平行和楔形介质 60 \BS^="AcpP 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 L>xN7N3&m 4.10.4 性能 61 jaDZPX-yS 4.10.5 保存设计和性能 64 p;C`n)7P7 4.10.6 默认设计 64 UZXnABg,J 4.11 图表 64 bhFzu[B 4.11.1 合并曲线图 67 f^',J@9@ 4.11.2 自适应绘制 68 M~^|dR)D 4.11.3 动态绘图 68 ]xFd_OHdb 4.11.4 3D绘图 69 6r^(VT
4.12 导入和导出 73 /y1,w JI 4.12.1 剪贴板 73 B!9<c9/ P] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 zfvl<"Rv 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 yA6"8fr 4.13 背景 77 F|Ou5WD 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 fv}h;?C 4.15 生成Rugate 84 (B[0BjU 4.16 参考文献 91 p6>3
p 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 P=eL24j 5.1 Jobs 92 VFRUiz/C 5.2 创建一个新Job(工作) 93 gx#TRp}- 5.3 输入材料 94 x!
Z|^q
5.4 设计数据文件夹 95 S3.Pqp_< 5.5 默认设计 95 .( 75.^b2) 6 细化和合成 97 )=2iGEVW 6.1 优化介绍 97 >/-<,,<\C 6.2 细化 (Refinement) 98 tEZ@v(D 6.3 合成 (Synthesis) 100 <w8*Ly:L 6.4 目标和评价函数 101 r"k\G\,% 6.4.1 目标输入 102 &i6WVNGy 6.4.2 目标 103 mKn:EqA 6.4.3 特殊的评价函数 104 Un7jzAvQ 6.5 层锁定和连接 104 bW[Y:}Hk~ 6.6 细化技术 104 `@-H
; 6.6.1 单纯形 105 PT|t6V"wd 6.6.1.1 单纯形参数 106 \_0nH` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 "Bn!<h}mg 6.6.2.1 Optimac参数 108 P!1y@R>Ln 6.6.3 模拟退火算法 109 2Fp.m}42i( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 mD=x3d 6.6.4 共轭梯度 111 Bv@NE2 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 iVwI}%k 6.6.5 拟牛顿法 112 I6zKvP8pb 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 -NHc~=m 6.6.6 针合成 113 m)g:@^$ 6.6.6.1 针合成参数 114 ]qvrpI!E! 6.6.7 差分进化 114 I6X_DPY 6.6.8非局部细化 115 evz{@;.R 6.6.8.1非局部细化参数 115 IL*C/y 6.7 我应该使用哪种技术? 116 o[&*vc) 6.7.1 细化 116 ALJ^XvB4V 6.7.2 合成 117 AEp|#H'
> 6.8 参考文献 117 6XKiVP;h% 7 导纳图及其他工具 118 yC(xi"! 7.1 简介 118 =c[9:&5Q 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 :$L^l{gT 7.2.1 四分之一波长规则 119 MB%yC]w8 7.2.2 导纳图 120 M e_.X_ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vYcea 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 #2^eGhwnI 7.5 斜入射导纳图 141 3E)
X(WJY 7.6 对称周期 141 &,JrhMr\ 7.7 参考文献 142 |eU{cK~e^ 8 典型的镀膜实例 143 j.=VZ 8.1 单层抗反射薄膜 145 U\s.fIr 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 >kU$bh.( 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 . =yF 8.4 W-膜层 148 GHaD32 8.5 V-膜层 149 l`>|XUf6 8.6 V-膜层高折射基底 150 =c8xg/ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 h/?$~OD 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 bwG$\Oe6 8.9 四层抗反射薄膜 153 w&8N6gA14 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 IT!u4iH[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 1P;J%.{ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ]
-iMo4H 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 !Z]#1"A8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 bvzNur_ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 <$metN~9j 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 vgKZr 8.17 1/4波长堆栈 162 sVWOh|O[W 8.18 陷波滤波器 163 ObnQ,x( 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 {wA(%e3_ 8.20 褶皱 165 0 w Q'~8 8.21 消偏振分光器1 169 UNY
O
P{ 8.22 消偏振分光器2 171 y=.`:EB9b 8.23 消偏振立体分光器 172 40h 8.24 消偏振截止滤光片 173 [
*P~\' U 8.25 立体偏振分束器1 174 PuO5@SP~ 8.26 立方偏振分束器2 177 %wil' 8.27 相位延迟器 178 W2yNwB+{ 8.28 红外截止器 179 )d(F]uV:y 8.29 21层长波带通滤波器 180 ?gYQE&M ! 8.30 49层长波带通滤波器 181 Z{XF!pS%H 8.31 55层短波带通滤波器 182 Wz{,N07Q#{ 8.32 47 红外截止器 183 N_L~oX_ 8.33 宽带通滤波器 184 n4Xh}KtH 8.34 诱导透射滤波器 186 `
ES-LLhVf 8.35 诱导透射滤波器2 188 GW{e"b/x 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 `-Y8T\ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 uE E;~`G 8.35 增益平坦滤波器 193 `s8*n(\h 8.38 啁啾反射镜 1 196 q8 &\;GK| 8.39 啁啾反射镜2 198 +6~ut^YiM. 8.40 啁啾反射镜3 199 ~ p~ 8.41 带保护层的铝膜层 200 @3*S:;x 8.42 增加铝反射率膜 201 {gT4Oq__ 8.43 参考文献 202 -8zdkm8k 9 多层膜 204 p ;]Qxh 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 }vK8P r% 9.2 内部透过率 204 e92,@ 9.3 内部透射率数据 205 &s^t~>Gpr 9.4 实例 206 w 3kX!%a: 9.5 实例2 210 aoUz_7 9.6 圆锥和带宽计算 212 +,xluwv$ 9 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 GD-L0kw5 10 光学薄膜的颜色 216 eL" +_lW 10.1 导言 216 _~Id~b 10.2 色彩 216 &TTvX%T 10.3 主波长和纯度 220 WBN3:Y7 10.4 色相和纯度 221 nixIKOnjC 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 M!R=&a=Z 10.6 色差 226 |1%eo. 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 L_`D 10.8 颜色渲染指数 234 nPW=m`jG 10.9 色差计算 235 `eEiSf 10.10 参考文献 236 =|LB,REN 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 y0]"qB 11.1 短脉冲 238 <s=i5t
My5 11.2 群速度 239 W:VX^8</ 11.3 群速度色散 241 Xl,707 11.4 啁啾(chirped) 245 PiIP%$72O 11.5 光学薄膜—相变 245 Og-v][ 11.6 群延迟和延迟色散 246 O$ARk+ 11.7 色度色散 246 #;0F-pt 11.8 色散补偿 249 f4;V7DJ 11.9 空间光线偏移 256 Vd;NT$S$ 11.10 参考文献 258 a)S{9q}%
12 公差与误差 260 6o.Dgt/f 12.1 蒙特卡罗模型 260 cv5+[;(b 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 XUVBD;"f! 12.2.1 误差工具 267 uCHM 12.2.2 灵敏度工具 271 }ijFvIHV 12.2.2.1 独立灵敏度 271 "_0sW3rG 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9\Md.> 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 B7.<A#y2 12.3 参考文献 276 G){A&F 13 Runsheet 与Simulator 277 o&$Of 13.1 原理介绍 277 )YVs=0j 13.2 截止滤光片设计 277 Qk2*=BVh 14 光学常数提取 289 d(YAH@ 14.1 介绍 289 *X!+wK-+ 14.2 电介质薄膜 289 .npD<* 14.3 n 和k 的提取工具 295 &})Zqc3Lqk 14.4 基底的参数提取 302 mtf><YU 14.5 金属的参数提取 306 SveP:uJA[ 14.6 不正确的模型 306 >~O/ZDu/@ 14.7 参考文献 311 |JiN;
O+K 15 反演工程 313 /Yj; '\3 15.1 随机性和系统性 313 NC3XJ
4 15.2 常见的系统性问题 314 +h? Gps 15.3 单层膜 314 "
1h~P, 15.4 多层膜 314 )}J}d) 15.5 含义 319 T"e"?JSRJ 15.6 反演工程实例 319 RF
[81/w] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 79uAsI2-Y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ZEB,Q~ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Jq:Wt+a 16.1 光学性质的热致偏移 329 TU1W!=Z 16.2 应力工具 335 Tdxc%'l 16.3 均匀性误差 339 N97WI+` 16.3.1 圆锥工具 339 Bxf&gDwjgr 16.3.2 波前问题 341 RgD:"zeM 16.4 参考文献 343 ,Vy_%f 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 n){u!z)Al 17.1 引言 345 )&[ol9+\ 17.2 操作数 345 2]5ux!Lqln 18 如何在Function中编写脚本 351 F!RP * 18.1 简介 351 xf;Tk 18.2 什么是脚本? 351 ),@m
3wQ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 :n OCs 18.4 基础 352 v<ati c 18.4.1 Classes(类别) 352 m[%P3 18.4.2 对象 352 :m0pm@ 18.4.3 信息(Messages) 352 #<5i/5& 18.4.4 属性 352 POQ4&ChA 18.4.5 方法 353 G)gPL]C0 18.4.6 变量声明 353 {3BWT 18.5 创建对象 354 (r-PkfXvIf 18.5.1 创建对象函数 355 |~+bbN|b 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 gb26Y!7% 18.5.3 丢弃对象 356 ;Ouu+#s 18.5.4 总结 356 ]YUst]gu3 18.6 脚本中的表格 357 d z\yP
v~ 18.6.1 方法1 357 xgIb4Y% 18.6.2 方法2 357 p@3 <{kLm 18.7 2D Plots in Scripts 358
-K4 uqUp 18.8 3D Plots in Scripts 359 lGEfI&1%! 18.9 注释 360 wx^1lC2 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ej[Y
`N 18.11 一个更高级的脚本 362 !Xzy: 18.12 <esc>键 364 mpzm6Ieu 18.13 包含文件 365 {'o\#4Wk 18.14 脚本被优化调用 366 Vah.tOU 18.15 脚本中的对话框 368 `<?((l%;R 18.15.1 介绍 368 Zb2.o5#} 18.15.2 消息框-MsgBox 368 w_#5Na}>d 18.15.3 输入框函数 370 O*1la/~m 18.15.4 自定义对话框 371 9 j1
tcT 18.15.5 对话框编辑器 371 (o8?j^ -v 18.15.6 控制对话框 377 cKt8e^P 18.15.7 更高级的对话框 380 51puR8AG> 18.16 Types语句 384 `7_s@4: 18.17 打开文件 385 eSSv8[u 18.18 Bags 387 rlkg.e6 18.13 进一步研究 388 @qB1:==@7 19 vStack 389 FD^s5>"Y+ 19.1 vStack基本原理 389 nn/_>%Y 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 $,jynRk7q 19.3 五棱镜 393 .*L_*}tno 19.4 光束距离 396 W4=<hB 19.5 误差 399 yV5AVMo 19.6 二向分色棱镜 399 !}Ty"p` 19.7 偏振泄漏 404 `BY&&Bv#? 19.8 波前误差—相位 405 ^qPS&G 19.9 其它计算参数 405 ea!Znld] 20 报表生成器 406 6M@m`c 20.1 入门 406 #}zL?s^G 20.2 指令(Instructions) 406 d<v)ovQJ] 20.3 页面布局指令 406 XLFo"f
20.4 常见的参数图和三维图 407 u/4|Akui 20.5 表格中的常见参数 408 D4ud|$s1 20.6 迭代指令 408 >=ng? 20.7 报表模版 408 ' q{|p+ 20.8 开始设计一个报表模版 409 }'Yk#Q 21 一个新的project 413 Z#062NL
" 21.1 创建一个新Job 414 B#(2,j7M 21.2 默认设计 415 J/ ^|Y6 21.3 薄膜设计 416 =#{i;CC% 21.4 误差的灵敏度计算 420 8(0q,7)y 21.5 显色指数计算 422 ]73BJ 21.6 电场分布 424 3gY4h*|`< 后记 426 qEB]Tj e[
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