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8yF15[' 内容简介 O
sbY}*S Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 {|O8)bW' 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 1}}.e^Tsfr 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 FDkRfh K y9?B vPp+ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 >t20GmmN 目录 'RC(ss1G Preface 1 t:9}~%~ 内容简介 2 g>CF|Wj 目录 i D: NBb!
1 引言 1 tK`sVsm> 2 光学薄膜基础 2 @{:E&K1f 2.1 一般规则 2 !-m(1 2.2 正交入射规则 3 G29PdmY$< 2.3 斜入射规则 6 @(,k%84z 2.4 精确计算 7 hCD0Zel 2.5 相干性 8 ;$wS<zp6 2.6 参考文献 10 \f}S Hh 3 Essential Macleod的快速预览 10 kOmTji7 4 Essential Macleod的特点 32 wm}6$ n?Za 4.1 容量和局限性 33 TxoMCN?7c 4.2 程序在哪里? 33 >2_BL5<S 4.3 数据文件 35 y{0`+/\` 4.4 设计规则 35 |CexP^;!U 4.5 材料数据库和资料库 37 5? &k? v@ 4.5.1材料损失 38 bc}U &X< 4.5.1材料数据库和导入材料 39 MRwls@z= 4.5.2 材料库 41 EW%%W6O6 4.5.3导出材料数据 43 `(vgBz`e[ 4.6 常用单位 43 O[+S/6uy 4.7 插值和外推法 46 tV<}!~0,* 4.8 材料数据的平滑 50 sU^2I v\% 4.9 更多光学常数模型 54 mL?9AxO 4.10 文档的一般编辑规则 55 s4<[f%^ 4.11 撤销和重做 56 'ejuzE9 4.12 设计文档 57 bIu'^ 4.10.1 公式 58 `Rub"zM 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 D}XyT/8G3 4.10.3 沉积密度 59 :DXkAb2 4.10.4 平行和楔形介质 60 16 _HO%v-> 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 LYhgBG, 4.10.4 性能 61 q(M[ij 4.10.5 保存设计和性能 64 pk%I98! Jy 4.10.6 默认设计 64 5"u-oE& 4.11 图表 64 =QHW>v 4.11.1 合并曲线图 67 MC D]n 4.11.2 自适应绘制 68 &PI}o 4.11.3 动态绘图 68 $Q{)AN;m 4.11.4 3D绘图 69 rk*Igqf 4.12 导入和导出 73 p%EU,:I6 4.12.1 剪贴板 73 eS8tsI 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 VT96ph 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 z'=*pIY5f 4.13 背景 77 GMU.Kt 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Y5&Jgn.l 4.15 生成Rugate 84 {9vvj 4.16 参考文献 91 I&l 1b> 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 aR6?+`6< 5.1 Jobs 92 Dq/[g,( 5.2 创建一个新Job(工作) 93 MNzq,/Wf 5.3 输入材料 94 jz
QmYcd 5.4 设计数据文件夹 95 060<wjX6 5.5 默认设计 95 JP)/
O! 6 细化和合成 97 #Z;ziM: 6.1 优化介绍 97 v%n'_2J =^ 6.2 细化 (Refinement) 98 3Q*K+(`{ 6.3 合成 (Synthesis) 100 4Z)`kS}=] 6.4 目标和评价函数 101 /Mb?dVwA 6.4.1 目标输入 102 \u?z:mV 6.4.2 目标 103 UeV2`zIg` 6.4.3 特殊的评价函数 104 zYO+;;*@ 6.5 层锁定和连接 104 3P 3x^NI 6.6 细化技术 104 XeX0\L')R 6.6.1 单纯形 105 fIN8::Cs[ 6.6.1.1 单纯形参数 106 '31pb9@fH 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 rVd (H 6.6.2.1 Optimac参数 108 IE.JIi^w 6.6.3 模拟退火算法 109 )28Jz6.I 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Idop!b5! 6.6.4 共轭梯度 111 ~z#Faed=a 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ?6+GE_VZ 6.6.5 拟牛顿法 112 Rcs7 'q5 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 +6@".< 6.6.6 针合成 113 y K)7%j! 6.6.6.1 针合成参数 114 ]b4*`}\ 6.6.7 差分进化 114 htk5\^(X 6.6.8非局部细化 115 A<2_V1 6.6.8.1非局部细化参数 115 p/>}{Q )Y 6.7 我应该使用哪种技术? 116 $J"}7+ 6.7.1 细化 116 I&Q.MItW 6.7.2 合成 117 y5B4t6M( 6.8 参考文献 117 7].tt 7 导纳图及其他工具 118 *X8<hYKZq 7.1 简介 118 mwVH>3{j 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 C9`#57 Pp 7.2.1 四分之一波长规则 119 s`GwRH<# 7.2.2 导纳图 120 Sq8 `)$\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 .>DqdtP[ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 YQe9g>G& 7.5 斜入射导纳图 141 mG@xehH 7.6 对称周期 141 vS%o>"P 7.7 参考文献 142 D@*<p h= 8 典型的镀膜实例 143 g+;m?VJ 8.1 单层抗反射薄膜 145 :"7V,UP
@ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 o7<pI8\ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 qFp }+s 8.4 W-膜层 148 gfG Mu0FjB 8.5 V-膜层 149 cdVh_"[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 [R*UPa 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 RX}6H<5R 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 DcaVT]" 8.9 四层抗反射薄膜 153 Ic/D!J{Y 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ;W,XP#{W 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 1.U5gW/3L 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ^_
L'I%%[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 z[Xs=S!]I 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 =UYZ){rt9E 8.15十五层宽带抗反射膜 159 fa9c!xDt 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Fl<|/DCg 8.17 1/4波长堆栈 162 0*S]m5#; 8.18 陷波滤波器 163 *>,8+S33r{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 K n%[& 8.20 褶皱 165 [t/7hx"2t 8.21 消偏振分光器1 169 ts/rV#s~ 8.22 消偏振分光器2 171 'bVDm m). 8.23 消偏振立体分光器 172 "_t2R &A 8.24 消偏振截止滤光片 173 8gWifx
#N 8.25 立体偏振分束器1 174 b!Pz~faXD 8.26 立方偏振分束器2 177 <seb,> : 8.27 相位延迟器 178 Y ]&D;w 8.28 红外截止器 179 oe`t ? (U 8.29 21层长波带通滤波器 180 \9TCP;{ 8.30 49层长波带通滤波器 181 KR4X&d6 8.31 55层短波带通滤波器 182 unu%\f>^4 8.32 47 红外截止器 183 'z7,)Q&8 8.33 宽带通滤波器 184 ew
-5VL 8.34 诱导透射滤波器 186 ,paD/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 XA75tU[# 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ]`39E"zY 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 |2w,Np- 8.35 增益平坦滤波器 193 ;zVtJG` 8.38 啁啾反射镜 1 196 'oSs5lW 8.39 啁啾反射镜2 198 ~ /s(.oji 8.40 啁啾反射镜3 199 DU(QQ53 8.41 带保护层的铝膜层 200 /KGVMBifM 8.42 增加铝反射率膜 201 e@N@8i"q5 8.43 参考文献 202 `Mx&,;x 9 多层膜 204 gE2k]`[j] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 UkK`5p<D7 9.2 内部透过率 204 ?IRp3H 9.3 内部透射率数据 205 2k}~"!e1 9.4 实例 206 KY 085Fvs 9.5 实例2 210 gI<e=|J6w 9.6 圆锥和带宽计算 212 "cSH[/ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 KqC8ozup 10 光学薄膜的颜色 216 K. [2uhB) 10.1 导言 216 nP`#z&C 10.2 色彩 216 yneIY-g(p 10.3 主波长和纯度 220 )fSO|4 10.4 色相和纯度 221 l]tda( 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 b.HfxYt( 10.6 色差 226 NvCq5B$C 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 #+dF3]X(& 10.8 颜色渲染指数 234 t* eZe`| 10.9 色差计算 235 lS<T|:gz@ 10.10 参考文献 236 aVTTpMY 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 oAaUXkQE 11.1 短脉冲 238 W
&wqN 11.2 群速度 239 cb|cY Co5 11.3 群速度色散 241 *$+k-BV 11.4 啁啾(chirped) 245 UC&f 11.5 光学薄膜—相变 245
%T9'dcM 11.6 群延迟和延迟色散 246 IJX75hE0g 11.7 色度色散 246 G-FeDP 11.8 色散补偿 249 MP"Pqt 11.9 空间光线偏移 256 {[B^~Y>Lr 11.10 参考文献 258 ?+6w8j%\ 12 公差与误差 260 c*F'x-TH 12.1 蒙特卡罗模型 260 |ci1P[y 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 l6o?(!:!% 12.2.1 误差工具 267 mx\b6w7 12.2.2 灵敏度工具 271 7O)j]eeoL 12.2.2.1 独立灵敏度 271 NlLgXn! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 OJX* :Q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 PeCU V6 12.3 参考文献 276 bWp40&vx 13 Runsheet 与Simulator 277 4-ijuqjN 13.1 原理介绍 277 k)l*L1Y4: 13.2 截止滤光片设计 277 >v1E;-ZA 14 光学常数提取 289 MZ9{*y[z 14.1 介绍 289 U9N1)3/u 14.2 电介质薄膜 289 ^)-* Ubzz 14.3 n 和k 的提取工具 295 WEX6I16 14.4 基底的参数提取 302 E<=h6Ha 14.5 金属的参数提取 306 jGV+ ~a 14.6 不正确的模型 306 H|Vq 14.7 参考文献 311 (y^[k {# 15 反演工程 313 +[W_Jz 15.1 随机性和系统性 313 <$m=@@qg 15.2 常见的系统性问题 314 #p<1@, 15.3 单层膜 314 4(2iR0N 15.4 多层膜 314 gZ{q85C.> 15.5 含义 319 X MkyX&y 15.6 反演工程实例 319 fK-tvP0}* 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 N%3
G\|~Q 15.6.2 反演工程提取折射率 327 XLG6f(B= F 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 J})#43P 16.1 光学性质的热致偏移 329 BgPwIK
x 16.2 应力工具 335 Xgq-r $O2X 16.3 均匀性误差 339 ;;6e
t/8 16.3.1 圆锥工具 339 ]{2Eo 16.3.2 波前问题 341 0W}iKT[Z 16.4 参考文献 343 ' pnkm0=` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 SM3qPlsF 17.1 引言 345 X{8/]'( 17.2 操作数 345 +Ndo$|XCy] 18 如何在Function中编写脚本 351 4q<LNvJA 18.1 简介 351 NhP&sQO 18.2 什么是脚本? 351 ,ypD0Q 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 $x%3^{G 18.4 基础 352 'a&( r; 18.4.1 Classes(类别) 352 0iy-FV;J 18.4.2 对象 352 WziX1%0$n 18.4.3 信息(Messages) 352 hU3z4|~+ 18.4.4 属性 352 A4kYEA 18.4.5 方法 353 jGp|:!'w 18.4.6 变量声明 353 zYL</!6a[ 18.5 创建对象 354 RA5*QW
18.5.1 创建对象函数 355 (C1@f!Z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 \1 ^qfw 18.5.3 丢弃对象 356 *F ya
qJ) 18.5.4 总结 356 C`)n\?:Sth 18.6 脚本中的表格 357 P5&mpl1 18.6.1 方法1 357 hvc%6A\nm 18.6.2 方法2 357 -~wGJM
VA 18.7 2D Plots in Scripts 358 L%3m_'6QP 18.8 3D Plots in Scripts 359 iJIDx9 )Z 18.9 注释 360 n_8wYiBs( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 NrC(.*?m 18.11 一个更高级的脚本 362 p-KMELB 18.12 <esc>键 364 ow,4'f!d 18.13 包含文件 365 QvPG
6A]T 18.14 脚本被优化调用 366 ;,z[|"y 18.15 脚本中的对话框 368 )_7OHV *3 18.15.1 介绍 368 &s]wf 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Ax'jNol 18.15.3 输入框函数 370 vai.w-}Z 18.15.4 自定义对话框 371 ZO^Y9\L 18.15.5 对话框编辑器 371 uU7s4oJ| 18.15.6 控制对话框 377 k1EAmA
l 18.15.7 更高级的对话框 380 .H.#W1` 18.16 Types语句 384 {nl]F 18.17 打开文件 385 Oyfc! 18.18 Bags 387 kX\\t.nH 18.13 进一步研究 388 ?O]iX;2vM 19 vStack 389 btQDG 19.1 vStack基本原理 389 i]qVT)j 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 gEejLyOag 19.3 五棱镜 393 Q%x | 19.4 光束距离 396 }w,^]fC: 19.5 误差 399 xj1FCT2 19.6 二向分色棱镜 399 EQ;,b4k?&g 19.7 偏振泄漏 404 im}= 19.8 波前误差—相位 405 AbWnDqv 19.9 其它计算参数 405 (|(#W+l~
20 报表生成器 406 `L-GI{EJ 20.1 入门 406 ,+iREh; 20.2 指令(Instructions) 406 $#bgt 20.3 页面布局指令 406 sz5&P )X 20.4 常见的参数图和三维图 407 ~ jR:oN 20.5 表格中的常见参数 408 O{sb{kk 20.6 迭代指令 408 RV*7?y%3 20.7 报表模版 408 K#O8P+n5[ 20.8 开始设计一个报表模版 409 @0XqUcV 21 一个新的project 413 4h|48</ 21.1 创建一个新Job 414 |_=o0lf 21.2 默认设计 415 DOr()X 21.3 薄膜设计 416 %:^|Q;xe 21.4 误差的灵敏度计算 420 ;:w?&4 21.5 显色指数计算 422 q#8$@*I 21.6 电场分布 424 !,f#oCL 后记 426 ?q&*|-%)_d
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