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5[SwF&zZ 内容简介 vuPNru" 2 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 9D1WUUa 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 /m"/#; ^l 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 o=($'(1 k*fU:q1
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Pn OWQ8= 目录 8^ f: -5 Preface 1 \OVtvJV] 内容简介 2 -C
q; 目录 i e9h@G# 1 引言 1 X%5eZ"1{x 2 光学薄膜基础 2 NgGMsE\C} 2.1 一般规则 2
< v] 2.2 正交入射规则 3 ,<tJ`,0X 2.3 斜入射规则 6 7amVnR1f 2.4 精确计算 7 >Dr(%z6CN 2.5 相干性 8 JyMk @Y 2.6 参考文献 10 6^]| 3 Essential Macleod的快速预览 10 ^_bG{du 4 Essential Macleod的特点 32 4$&l`yWU+ 4.1 容量和局限性 33 $gBQ5Wd 4.2 程序在哪里? 33 o?Hfxp0} 4.3 数据文件 35 /]TNEU,K 4.4 设计规则 35 |qUGB.Q 4.5 材料数据库和资料库 37 ]5Uuz?:e 4.5.1材料损失 38 =*,SD 4.5.1材料数据库和导入材料 39 -XV,r<'' 4.5.2 材料库 41 .*zS2z 4.5.3导出材料数据 43 A#"Wk]jX 4.6 常用单位 43 YJ _eE 4.7 插值和外推法 46 QO'Hyf t 4.8 材料数据的平滑 50 G68KoM 4.9 更多光学常数模型 54 R{#< NE 4.10 文档的一般编辑规则 55 2a$.S" ? 4.11 撤销和重做 56 Zo3!Hs ZA 4.12 设计文档 57 K|P0nJT 4.10.1 公式 58 y7,fFUKl 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ZLkl:'E_ 4.10.3 沉积密度 59 Hy.u6Jt*/ 4.10.4 平行和楔形介质 60 ?,vLRq. 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 7*5B 4.10.4 性能 61 TrjyU 4.10.5 保存设计和性能 64 }@r23g% 4.10.6 默认设计 64 E`IXBI 4.11 图表 64 7> Z| K 4.11.1 合并曲线图 67 >;fVuy 4.11.2 自适应绘制 68 |#TU"$; 4.11.3 动态绘图 68 \QvGkcDc{ 4.11.4 3D绘图 69 eHphM;C 4.12 导入和导出 73 E'QAsU8pP 4.12.1 剪贴板 73 C(N'=-;Kl 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 xVx s~p1 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 %F*9D3^h 4.13 背景 77 }je<^]a 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _{*} )&!M 4.15 生成Rugate 84 22l'kvo4" 4.16 参考文献 91 Wg-mJu( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
|Xso}Y{ 5.1 Jobs 92 */aY$aWv 5.2 创建一个新Job(工作) 93 4)8k?iC* 5.3 输入材料 94 Etz#+R&* 5.4 设计数据文件夹 95 QQJGqM3a2 5.5 默认设计 95 ,1]UOQ>AP 6 细化和合成 97 '@n"'vks(\ 6.1 优化介绍 97 VUP|j/qD 6.2 细化 (Refinement) 98 ti5fsc 6.3 合成 (Synthesis) 100 j+jC
J< 6.4 目标和评价函数 101 ,ri&zbB 6.4.1 目标输入 102 +t7HlAXB# 6.4.2 目标 103 HhbBt'fH 6.4.3 特殊的评价函数 104 a*M|_&MH* 6.5 层锁定和连接 104 #qd!_oN 6.6 细化技术 104 }8O9WS 6.6.1 单纯形 105 Qf:e;1F! 6.6.1.1 单纯形参数 106 RXXHg 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 x?i
wtZ@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 %Wtf24'o;v 6.6.3 模拟退火算法 109 a~2Jf @I3 6.6.3.1 模拟退火参数 109 M+t)#O4 6.6.4 共轭梯度 111 Ar%*NxX 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]}`t~#Irz 6.6.5 拟牛顿法 112 8@3=SO 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 =Uk#7U"P 6.6.6 针合成 113 uQdeKp4( 6.6.6.1 针合成参数 114 J.iz%8 6.6.7 差分进化 114 )Kx.v' 6.6.8非局部细化 115 cqU6 Y*n 6.6.8.1非局部细化参数 115 F=F84_+K 6.7 我应该使用哪种技术? 116 p5]W2i., 6.7.1 细化 116 V lZ+x)E 6.7.2 合成 117 w5Fk#zJv 6.8 参考文献 117 6jpzyf=~ 7 导纳图及其他工具 118 GW
{tZaB 7.1 简介 118 \d:Q%S 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 zFOtOz`9H 7.2.1 四分之一波长规则 119 :h,}yBJ1L 7.2.2 导纳图 120 KXMf2)pa 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 .*NPoW4Kv 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 j*>]HNo& 7.5 斜入射导纳图 141 EG4~[5[YgI 7.6 对称周期 141 ]Mq-67 7.7 参考文献 142 @
2hGkJ- 8 典型的镀膜实例 143 M8lw;
( 8.1 单层抗反射薄膜 145 @o[ZJ4>* 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 N+~
MS3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 KyIUz9$ 8.4 W-膜层 148 rFcz0 8.5 V-膜层 149 dr#%~I 8.6 V-膜层高折射基底 150 9T;>gm 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 +M.BMS2A<l 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ="G2I\ 8.9 四层抗反射薄膜 153 h_-4Q"fb( 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 "}
:CM_ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "T[BSj?E 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 RaLV@>jPm 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 [1GwcXr 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 T5`ML'Dej 8.15十五层宽带抗反射膜 159 UvMkL 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 %1
RWF6 8.17 1/4波长堆栈 162 xA^E+f:W_ 8.18 陷波滤波器 163 \ v+>qY<q 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 L~/L<M s 8.20 褶皱 165 $+2QbEk&- 8.21 消偏振分光器1 169 PcbhylKd 8.22 消偏振分光器2 171 He8]Eb 8.23 消偏振立体分光器 172 RU#}!Kq 8.24 消偏振截止滤光片 173 l(x0d 8.25 立体偏振分束器1 174 Rkg)yme!N 8.26 立方偏振分束器2 177 h}nS&. 8.27 相位延迟器 178 a/s5Oit2'X 8.28 红外截止器 179 ]}Ys4(} 8.29 21层长波带通滤波器 180 P3!@}!r8 8.30 49层长波带通滤波器 181 S;t`C~l\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 '>"blfix8 8.32 47 红外截止器 183 Nk7=[y#z 8.33 宽带通滤波器 184 i@D4bd9lR 8.34 诱导透射滤波器 186 ml|FdQ 8.35 诱导透射滤波器2 188 r"K!]Vw 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 &'zc2 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 *MlEfmB( 8.35 增益平坦滤波器 193 [X /s^42 8.38 啁啾反射镜 1 196 <7)sS<I 8.39 啁啾反射镜2 198 K:XP;#OsP 8.40 啁啾反射镜3 199 f`;w@gR`= 8.41 带保护层的铝膜层 200 8G$BQ 8.42 增加铝反射率膜 201 B1FJAKI); 8.43 参考文献 202 &N= vs 9 多层膜 204 RcJtVOrd 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 cR!M{U.q 9.2 内部透过率 204 LibQlNW\ 9.3 内部透射率数据 205 iOZ#}" 9.4 实例 206 f34/whD65 9.5 实例2 210 o_b3G 9.6 圆锥和带宽计算 212 )HI\T]; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 j
`!Ge 10 光学薄膜的颜色 216 =Yl ea,S 10.1 导言 216 32HF&P+0% 10.2 色彩 216 p/nATvh$ 10.3 主波长和纯度 220 djnES,^%9 10.4 色相和纯度 221 5oCg&aT 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 xk/-TXB
0 10.6 色差 226 } LC 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )=iv3nF?6N 10.8 颜色渲染指数 234 U$OI]Dd9 10.9 色差计算 235 {K"hlu[ 10.10 参考文献 236 YU8]W% 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 FP=27= 11.1 短脉冲 238 XKws_ 11.2 群速度 239 d8agM/F*/ 11.3 群速度色散 241 RjvW*'2G 11.4 啁啾(chirped) 245 li\=mH,Wr 11.5 光学薄膜—相变 245 rq!*unJ 11.6 群延迟和延迟色散 246 IaSpF<&Y; 11.7 色度色散 246 >l AtfN=' 11.8 色散补偿 249 gELG/6l 11.9 空间光线偏移 256 N2'aC}
I 11.10 参考文献 258 $57b.+2n 12 公差与误差 260 UQ0<sI= 12.1 蒙特卡罗模型 260 4LB8p7$|a3 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 hPNMp@Nm6 12.2.1 误差工具 267 wz69Yw7 12.2.2 灵敏度工具 271 M:}u| 12.2.2.1 独立灵敏度 271 0stc$~~v 12.2.2.2 灵敏度分布 275 r#4/~a5i~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 jci,]*X4 12.3 参考文献 276 fM"*;LN!N 13 Runsheet 与Simulator 277 RM `qC 13.1 原理介绍 277 @
G)yz!H 13.2 截止滤光片设计 277 9ZJ 8QH 14 光学常数提取 289 S=mqxIo@m 14.1 介绍 289 +K'Hr:( 14.2 电介质薄膜 289 2,q*[Kh1 14.3 n 和k 的提取工具 295 eyyME c! 14.4 基底的参数提取 302 PZusYeV8b 14.5 金属的参数提取 306 h.PBe 14.6 不正确的模型 306 A'KH_]) 14.7 参考文献 311 ^HJ?k:u 15 反演工程 313 <R /\nY Xz 15.1 随机性和系统性 313 ~.%HZzR6& 15.2 常见的系统性问题 314 /!?LBtqy 15.3 单层膜 314 'V]&X.=zC 15.4 多层膜 314 VWE>w|' 15.5 含义 319
L\PmT 15.6 反演工程实例 319 6UeY Z g 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 RPW46l34 15.6.2 反演工程提取折射率 327 aZWj52 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 !,m 16.1 光学性质的热致偏移 329 LTTMa-]Yy 16.2 应力工具 335 hWT
jN 16.3 均匀性误差 339 4a-JC" 16.3.1 圆锥工具 339 i3,IEN 16.3.2 波前问题 341 G@k]rwub 16.4 参考文献 343 /kbU< 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 $8=|<vt 17.1 引言 345 gJ
\6cZD 17.2 操作数 345 Y_JQPup
18 如何在Function中编写脚本 351 ITn% 18.1 简介 351 @AEH?gOX 18.2 什么是脚本? 351 D:1@1Jr 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 %f;dn<m=c 18.4 基础 352 *q=T1JY 18.4.1 Classes(类别) 352 q>$MqKWM 18.4.2 对象 352 s?w2^<P 18.4.3 信息(Messages) 352 ?b;2PH" 18.4.4 属性 352 IfK~~XYG 18.4.5 方法 353 {zwH3)|Hn 18.4.6 变量声明 353 s#9q3JV0 18.5 创建对象 354 W[ l 18.5.1 创建对象函数 355 H7zN|NdNw 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 qoO`)< 18.5.3 丢弃对象 356 oD)]4| 18.5.4 总结 356 7Sx|n}a-3 18.6 脚本中的表格 357 YM}a>o 18.6.1 方法1 357 J9Ao*IW~ 18.6.2 方法2 357 ~:ASv>m 18.7 2D Plots in Scripts 358 ,Z
q:na 18.8 3D Plots in Scripts 359 u<-)C)z 18.9 注释 360 PCviQ!X 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Rx-\B$G 18.11 一个更高级的脚本 362 PkvW6,lS 18.12 <esc>键 364 3l{V:x!9@ 18.13 包含文件 365 fAsb:P 18.14 脚本被优化调用 366 n'~==2 18.15 脚本中的对话框 368 +:S`] 18.15.1 介绍 368 g)Lf^ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 scg&"s 18.15.3 输入框函数 370 1djZ5`+ 18.15.4 自定义对话框 371 /<rvaR 18.15.5 对话框编辑器 371 Rb6BY-/J 18.15.6 控制对话框 377 )UzJ2Pa<+_ 18.15.7 更高级的对话框 380 IW~R{ ]6 18.16 Types语句 384 fap`;AuwK 18.17 打开文件 385 R(1:I@<?E 18.18 Bags 387 6S`_L 18.13 进一步研究 388 x~e._k= 19 vStack 389 _.5{vGyxr 19.1 vStack基本原理 389 y;b#qUd5a 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 GwX)~.i 19.3 五棱镜 393 Q]WBH_j 19.4 光束距离 396 ]A5F}wV4 19.5 误差 399 cY?|RXNmZ 19.6 二向分色棱镜 399 V:\:[KcL^ 19.7 偏振泄漏 404 K~L&Z?~|E 19.8 波前误差—相位 405 x-%O1frc 19.9 其它计算参数 405 .p[uIRd` 20 报表生成器 406 kWr1>})' 20.1 入门 406 ]IuZ T 20.2 指令(Instructions) 406 0#V"
20.3 页面布局指令 406 4|x_C-@ 20.4 常见的参数图和三维图 407 L=lSW7R 20.5 表格中的常见参数 408 a\P :jgF 20.6 迭代指令 408 72nZ`u 20.7 报表模版 408 fFJ7Y+^ 20.8 开始设计一个报表模版 409 rJiF2 W 21 一个新的project 413 xlv(PVdn 21.1 创建一个新Job 414 U$y9f 21.2 默认设计 415 }a" =K%b<\ 21.3 薄膜设计 416 K|%Am4 21.4 误差的灵敏度计算 420 /\1'.GR 21.5 显色指数计算 422 P'KA-4! 21.6 电场分布 424 @b(@`yz.a 后记 426 N@thewt|
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