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`OBDx ^6F 内容简介 ny#7iz/ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 V{(ve#y7`{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~
Iv[ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 hLBX,r)u thkL< 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 hmks\eb~ 目录 5~ jGF Preface 1 F n6>n04v 内容简介 2 u<):gI 目录 i q~a6ES_lA 1 引言 1 /*st,P$" 2 光学薄膜基础 2 K+n6.BzW 2.1 一般规则 2
}mX;0qO 2.2 正交入射规则 3 Bm^vKzp 2.3 斜入射规则 6 Mq6"7L 2.4 精确计算 7 @!K)(B;A0b 2.5 相干性 8 u0N1+-6kr+ 2.6 参考文献 10 WM9QC59 3 Essential Macleod的快速预览 10 Ll&Y_Ry 4 Essential Macleod的特点 32 lQ@2s[ 4.1 容量和局限性 33 +8v!vuO' 4.2 程序在哪里? 33 B<+}_3. 4.3 数据文件 35 [<bfwTFsl 4.4 设计规则 35 + 4.5 材料数据库和资料库 37 .(3B}}gB> 4.5.1材料损失 38 }>SHTHVye 4.5.1材料数据库和导入材料 39 t R*JM$T 4.5.2 材料库 41 1 aIJ0#nE 4.5.3导出材料数据 43 tZ4W]od 4.6 常用单位 43 o^gqpQv 4.7 插值和外推法 46 1)M3*h3 4.8 材料数据的平滑 50 :h?Zg(l 4.9 更多光学常数模型 54 ,p0R4gi 4.10 文档的一般编辑规则 55 1P&c:n 4.11 撤销和重做 56 kE/>Ys@w 4.12 设计文档 57 ,HR~oT^ 4.10.1 公式 58 f |aO9w 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 fXO"Mr1 4.10.3 沉积密度 59 vlx
wt~ 4.10.4 平行和楔形介质 60 mG\,T3/* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 TRG"fVR 4.10.4 性能 61 )k=8.j4 4.10.5 保存设计和性能 64 7G!SlC
X}W 4.10.6 默认设计 64 Lab{?!E>U 4.11 图表 64 zN*/G6>A 4.11.1 合并曲线图 67 ;?bRRW 4.11.2 自适应绘制 68 NC|&7qQ 4.11.3 动态绘图 68 ,??xW{*| 4.11.4 3D绘图 69 {WT"\Xj>B? 4.12 导入和导出 73 8K7zh.E 4.12.1 剪贴板 73 qFt%{~a
S 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 NZmmO )p4 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 DBbmM*r 4.13 背景 77 =^O84Cp 6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1KAA(W;nq 4.15 生成Rugate 84 T&6{|IfM_ 4.16 参考文献 91 *ofK|r 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 6D6=5!l 5.1 Jobs 92 *~4w%U4T0 5.2 创建一个新Job(工作) 93 s>E4.0[I% 5.3 输入材料 94 &YDb/{|CIC 5.4 设计数据文件夹 95 XLI'f$w& 5.5 默认设计 95 }mk9-7 6 细化和合成 97 bvk+i?{H 6.1 优化介绍 97 v6;XxBR6 6.2 细化 (Refinement) 98 <j-Bj$3 6.3 合成 (Synthesis) 100 ')}$v+9h 6.4 目标和评价函数 101 coiTVDwA 6.4.1 目标输入 102
YNH>^cD1 6.4.2 目标 103 S\MD]>4 6.4.3 特殊的评价函数 104 rmk'{" 6.5 层锁定和连接 104 _T<ney}Y< 6.6 细化技术 104 +TfMj1Zx 6.6.1 单纯形 105 z@{|Y;s 6.6.1.1 单纯形参数 106 Y6W3WPs( 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 u,*$n'l] 6.6.2.1 Optimac参数 108 Gq$9he< 6.6.3 模拟退火算法 109 lD _
u 6.6.3.1 模拟退火参数 109 `9kjYSd#E 6.6.4 共轭梯度 111 &B/cy<;y, 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 *(& J^ 6.6.5 拟牛顿法 112 {y)s85:t 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 W9ZT=#>)[ 6.6.6 针合成 113 j+88J 6.6.6.1 针合成参数 114 (3&@c!E 6.6.7 差分进化 114 '[{M"S 6.6.8非局部细化 115 6oL-Atf 6.6.8.1非局部细化参数 115 o>\j c 6.7 我应该使用哪种技术? 116 vWXj6} 6.7.1 细化 116 6 7~m9pk 6.7.2 合成 117 _Oh;._PS 6.8 参考文献 117 cJGA5m/{I 7 导纳图及其他工具 118 na?jCq9C 7.1 简介 118 Gg{@]9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 h,\^Sb5AP 7.2.1 四分之一波长规则 119 ,.x5 7.2.2 导纳图 120 ouPwhB,bg 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 = K"F!} 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 J<H$B +;qR 7.5 斜入射导纳图 141 0v,DQJ?w8 7.6 对称周期 141 jcYI"f"~ 7.7 参考文献 142 {o*z iZh 8 典型的镀膜实例 143 .1t$(]CyC 8.1 单层抗反射薄膜 145 M+ ^]j 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 H2zd@l:R 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 /#G^?2oM 8.4 W-膜层 148 mRW(]OFIai 8.5 V-膜层 149 "a?k #!E 8.6 V-膜层高折射基底 150 MVe5j+8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 qF%wl 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 a'
.o 8.9 四层抗反射薄膜 153 Ni(D[?mZ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 [t: =%&B 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6aX m9J 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 svU107? 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 s3uT:Xw3rW 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 49
fs$wr@ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^pKC0E[% 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0d9rJv}~ 8.17 1/4波长堆栈 162 +`mJh\* 8.18 陷波滤波器 163 Y\%R6/Gj|u 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 66[yL(*+ 8.20 褶皱 165 4_F<jx,G 8.21 消偏振分光器1 169 U:J~Oy_Z 8.22 消偏振分光器2 171
&j2L-) 8.23 消偏振立体分光器 172 %[B &JhT 8.24 消偏振截止滤光片 173 _0oZgt) 8.25 立体偏振分束器1 174 dGQy=T: 8.26 立方偏振分束器2 177 4T Gg`$e; 8.27 相位延迟器 178 V.1sb
pI
8.28 红外截止器 179 wAVO%8u 8.29 21层长波带通滤波器 180 pE^L Qi 8.30 49层长波带通滤波器 181 5u~Ik c~ 8.31 55层短波带通滤波器 182 t1n'Ecm( 8.32 47 红外截止器 183 "P&|e|7 8.33 宽带通滤波器 184 x1|5q/I 8.34 诱导透射滤波器 186 x*}(l%[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 [77]0V7 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 .^,fw=T|1 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 j8hb 8.35 增益平坦滤波器 193 A^3cP, L 8.38 啁啾反射镜 1 196 \%mR*J+ 8.39 啁啾反射镜2 198 :>F:G%(DK 8.40 啁啾反射镜3 199 R)nhgp(~ 8.41 带保护层的铝膜层 200 [LjYLm%< 8.42 增加铝反射率膜 201 yJ/m21f 8.43 参考文献 202 QI0ARdS 9 多层膜 204 3543[W#a 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ag:#82C 9.2 内部透过率 204 fR_)e: 9.3 内部透射率数据 205 zc*qmb 9.4 实例 206 uQ5NN*C= 9.5 实例2 210 vTh-I&}: 9.6 圆锥和带宽计算 212 sOzjViv 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 '+f!(teLz 10 光学薄膜的颜色 216 4{}u PbS 10.1 导言 216 7M3q|7? 10.2 色彩 216 Dr7,>Yx 10.3 主波长和纯度 220 wD22@uM#] 10.4 色相和纯度 221 d0MX4bhZ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ugVsp&i# 10.6 色差 226 *>$'aQ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 g#Zb}^ 10.8 颜色渲染指数 234 &7E 0H{ 10.9 色差计算 235 k8Qv>z 10.10 参考文献 236 _^#PV} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Wj8\~B=(' 11.1 短脉冲 238 S4~^HvMG[Y 11.2 群速度 239 )Qw|)='- 11.3 群速度色散 241 ]L}<Y9)t 11.4 啁啾(chirped) 245 j(va#f# 11.5 光学薄膜—相变 245 0:v7X)St 11.6 群延迟和延迟色散 246 Y5c( U)R8 11.7 色度色散 246 nUd(@@%m 11.8 色散补偿 249 :3Ty%W&& 11.9 空间光线偏移 256 #uu wzE*M_ 11.10 参考文献 258 /bt@HFL|` 12 公差与误差 260 +&(sZFW5o 12.1 蒙特卡罗模型 260 lJ}G"RTm 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 !%T@DT=l& 12.2.1 误差工具 267 $Snwx 12.2.2 灵敏度工具 271 9 I]*T 12.2.2.1 独立灵敏度 271 :_)Xe*O 12.2.2.2 灵敏度分布 275 nzhQ\'TC 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 CDU^X$Q 12.3 参考文献 276 yK{ ;72 13 Runsheet 与Simulator 277 0Zk A.p 13.1 原理介绍 277 A3C<9wXx 13.2 截止滤光片设计 277 dRWp/3 } 14 光学常数提取 289 wQPjo!FEX 14.1 介绍 289 #V4_. t# 14.2 电介质薄膜 289 8Ln:y'K 14.3 n 和k 的提取工具 295 vlEd=H,LT 14.4 基底的参数提取 302 li/IKS)e$ 14.5 金属的参数提取 306 &EA4`p 14.6 不正确的模型 306 }I05&/o.3p 14.7 参考文献 311 NFmB ^@k 15 反演工程 313 Pg*ZQE[ME8 15.1 随机性和系统性 313 i`Lt=)@& 15.2 常见的系统性问题 314 jUW{Z@{U 15.3 单层膜 314 qI8{JcFx: 15.4 多层膜 314 ]E[Mv}
= 15.5 含义 319 h %MPppCEa 15.6 反演工程实例 319 9.vHnMcq 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 5x=tOR/h 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ZiVT c/b 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 {^MR^4&}( 16.1 光学性质的热致偏移 329 K'1rS[^>R 16.2 应力工具 335 z~z.J] 16.3 均匀性误差 339 xV<NeU 16.3.1 圆锥工具 339 :t\PYDp1 16.3.2 波前问题 341 |JuXOcr4 16.4 参考文献 343 bG2!5m4L 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 z'fGHiX7.0 17.1 引言 345 ]9;WM. 17.2 操作数 345 sNS!/ 18 如何在Function中编写脚本 351 BuK 82 18.1 简介 351 33"{"2==` 18.2 什么是脚本? 351 (MJu3t
@ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 .i[Tp6'%, 18.4 基础 352 lt}|Y9h 18.4.1 Classes(类别) 352 E*rDwTd 18.4.2 对象 352 #_|b;cf 18.4.3 信息(Messages) 352 Jw;J$
u!d 18.4.4 属性 352 8M(N 18.4.5 方法 353 /c3DltOdr 18.4.6 变量声明 353 ;uR8pz e 18.5 创建对象 354 Wc-P= J*m 18.5.1 创建对象函数 355 ?$=N!>P# 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 3smcCQA% 18.5.3 丢弃对象 356 Q0ev*MS9Z 18.5.4 总结 356 {PYN3\N, 18.6 脚本中的表格 357 #t3ju^ |? 18.6.1 方法1 357 `,\WhJ?9 18.6.2 方法2 357 vV"TTzs! 18.7 2D Plots in Scripts 358 gy9!T(z 18.8 3D Plots in Scripts 359 NoDq4>
18.9 注释 360 KWN0$*4 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Q$Vxm+ 18.11 一个更高级的脚本 362 M7!&gFv8 18.12 <esc>键 364 jf .ikxm 18.13 包含文件 365 j0:F E 18.14 脚本被优化调用 366 F}i rCi47c 18.15 脚本中的对话框 368 qX-Jpi P 18.15.1 介绍 368 iK=H9j 18.15.2 消息框-MsgBox 368 %Cb8vYz~ 18.15.3 输入框函数 370 AVyo)=& 18.15.4 自定义对话框 371 ,ulTZV 18.15.5 对话框编辑器 371 %oC]Rpdu 18.15.6 控制对话框 377 z\fD}`^8 18.15.7 更高级的对话框 380 fN8A'p[ 18.16 Types语句 384 `I_%`1 5> 18.17 打开文件 385 H-7*)D 18.18 Bags 387 6Y\9h)1Jo 18.13 进一步研究 388 1cOp"! 19 vStack 389 q&
4Z.( 19.1 vStack基本原理 389 ~''qd\.f$ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 _Ndy;MQ 19.3 五棱镜 393 G0y%_"[ 19.4 光束距离 396 j!m~ :D 19.5 误差 399 K& 2p<\2 19.6 二向分色棱镜 399 &<.Z4GxS 19.7 偏振泄漏 404 P,D >gxl 19.8 波前误差—相位 405 6t/})Xv 19.9 其它计算参数 405 |WubIj*\{ 20 报表生成器 406 (WN 'wp 20.1 入门 406 |w /txn8G| 20.2 指令(Instructions) 406 /KlA7MH 6 20.3 页面布局指令 406 ,7/un8:%c 20.4 常见的参数图和三维图 407 r/3!~??x 20.5 表格中的常见参数 408 x1mxM#ql 20.6 迭代指令 408 My_fm?n 20.7 报表模版 408 @YWfq$23 20.8 开始设计一个报表模版 409 McH*J j 21 一个新的project 413 7{az %I$h 21.1 创建一个新Job 414 gEU)UIJ 21.2 默认设计 415 *M-.Vor?R 21.3 薄膜设计 416 6TPcG d Z 21.4 误差的灵敏度计算 420 $`_(%tl 21.5 显色指数计算 422 Qpf BM 21.6 电场分布 424 '{6`n5:e 后记 426 [h8F)
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