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J=*X%^jX9Z 内容简介 OjUZ-_J Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 SG)hrd 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 yd-r7iq 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 vuOixAkw "8'aZ.P 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 f*{~N!g 目录 t81}jD Preface 1 bm &$wf 内容简介 2 :dZq!1~t 目录 i ";&5@H| 1 引言 1 ^Ia:e
?)W 2 光学薄膜基础 2 ;~2RWj=- 2.1 一般规则 2 h7}D//~p 2.2 正交入射规则 3 &at^~o 2.3 斜入射规则 6 VS W:h 2.4 精确计算 7 XtJ_po 2.5 相干性 8 vp"b_x1- 2.6 参考文献 10 jJ}3WJ 3 Essential Macleod的快速预览 10 ?!h
jI;_& 4 Essential Macleod的特点 32 GW]b[l 4.1 容量和局限性 33 !`3q9RT3." 4.2 程序在哪里? 33 J
FYV@%1~ 4.3 数据文件 35 MDHTZ94\Q 4.4 设计规则 35 G(g.~|=EZ 4.5 材料数据库和资料库 37 7Vn;LW 4.5.1材料损失 38 Rl. YF+YH 4.5.1材料数据库和导入材料 39 =B0#z]qu 4.5.2 材料库 41 Z{9
mZlIy 4.5.3导出材料数据 43 x&n gCB@O 4.6 常用单位 43 +"u6+[E 4.7 插值和外推法 46 F8c^M</ 4.8 材料数据的平滑 50 F%Xj'= 4.9 更多光学常数模型 54 SuO@LroxTB 4.10 文档的一般编辑规则 55 &<oZl.T 4.11 撤销和重做 56 $CgJ+ua\8 4.12 设计文档 57 ^an3& 4.10.1 公式 58 *dTI4k 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 7U@;X~c 4.10.3 沉积密度 59 w7(jSPB 4.10.4 平行和楔形介质 60 X\Y:9^5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 rZ|!y ~S| 4.10.4 性能 61 dbmty|d 4.10.5 保存设计和性能 64 \Q
CH.~] 4.10.6 默认设计 64 4v=NmO} 4.11 图表 64 gbC!>LV 4.11.1 合并曲线图 67 X-Yy1"6m1 4.11.2 自适应绘制 68 QJsud{ada 4.11.3 动态绘图 68 B{In
"R8 4.11.4 3D绘图 69 ;;*'<\lP.j 4.12 导入和导出 73 /5PV|onO 4.12.1 剪贴板 73 ^Hdru]A$2 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Ah_Ttj 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 b8>2Y'X 4.13 背景 77 |t1ij'N 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ]]InD N 4.15 生成Rugate 84 2I!L+j_ 4.16 参考文献 91 , :10 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Q9[$8 5.1 Jobs 92 "G(^v?x:P 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1]yjhw9g 5.3 输入材料 94 2E*k@ 5.4 设计数据文件夹 95 KBb{Z;% 5.5 默认设计 95 *<5zMSZO 6 细化和合成 97 B(omD3jzN 6.1 优化介绍 97 =LUDg7P 6.2 细化 (Refinement) 98 Mzbbr57n 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]Zj6W9]m 6.4 目标和评价函数 101 Gx$rk<;ZW 6.4.1 目标输入 102 =`
%iv|>r0 6.4.2 目标 103 1Ar6hA 6.4.3 特殊的评价函数 104 5W(S~} 6.5 层锁定和连接 104 2f=7`1RCD 6.6 细化技术 104 %"1*,g{ 6.6.1 单纯形 105 _kJ?mTk 6.6.1.1 单纯形参数 106 xIrRFK9[Q 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 .ZB/!WiF 6.6.2.1 Optimac参数 108 dWCU Z,6} 6.6.3 模拟退火算法 109 :Hn*|+' 6.6.3.1 模拟退火参数 109 #fb <\!iza 6.6.4 共轭梯度 111 hlgBx~S[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 z ]d^%>Ef 6.6.5 拟牛顿法 112 ] VN4;R 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 q,W6wM;,E 6.6.6 针合成 113 @t;WdbxB% 6.6.6.1 针合成参数 114 +Yuy%VT 6.6.7 差分进化 114 S!/N
lSr< 6.6.8非局部细化 115 Gm]]Z_ 6.6.8.1非局部细化参数 115 oQkY@)3.w 6.7 我应该使用哪种技术? 116 XO=UKk+EK 6.7.1 细化 116 <Bmqox0 6.7.2 合成 117 X1P_IB 6.8 参考文献 117 e>ZF? (a0 7 导纳图及其他工具 118 {O"?_6', 7.1 简介 118 /f:)I.FUm 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^w+jPT-n 7.2.1 四分之一波长规则 119 fO4e[g;G 7.2.2 导纳图 120 w84
]s%y 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 e'
`xU 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 /!r#=enG7 7.5 斜入射导纳图 141 h%hE$2 7.6 对称周期 141 'k9?n)<DW 7.7 参考文献 142 S[TJ{L( 8 典型的镀膜实例 143 l*+"0 8.1 单层抗反射薄膜 145 bi fi02 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 -*?Y4}mK 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 A0NNB%4|/ 8.4 W-膜层 148 ~~.v*C[ 8.5 V-膜层 149 iw,F)O 8.6 V-膜层高折射基底 150 R|Oy/RGY$ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !~'\Ey 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 _HT*>-B 8.9 四层抗反射薄膜 153 /nK)esB1L 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 q4k)E 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _{EO9s2FG 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 &h7q=-XU 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~urV`J 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 + *YGsM`E9 8.15十五层宽带抗反射膜 159 @G
vDl=. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9`8\<a'rU 8.17 1/4波长堆栈 162 $ {$XJs4 8.18 陷波滤波器 163 W#<&(s4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 w"CcWng1 8.20 褶皱 165 6~b~[gA 8.21 消偏振分光器1 169 9<An^lLK* 8.22 消偏振分光器2 171 Nk-biD/J 8.23 消偏振立体分光器 172 -R!qDA" 8.24 消偏振截止滤光片 173 W|U!kqU 8.25 立体偏振分束器1 174 0Fw0#eE 8.26 立方偏振分束器2 177 Co2* -[R 8.27 相位延迟器 178 dqMR<Nl& 8.28 红外截止器 179 *yuw8 8.29 21层长波带通滤波器 180 %6`{KT? 8.30 49层长波带通滤波器 181 \?,'i/c- 8.31 55层短波带通滤波器 182 UarU.~Uqi 8.32 47 红外截止器 183 }2Lh'0 xY 8.33 宽带通滤波器 184 r)|X? 8.34 诱导透射滤波器 186 }b9#.H9 8.35 诱导透射滤波器2 188 ]MkZ1~f7 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 u7u8cVF 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 /EUv=89{! 8.35 增益平坦滤波器 193 29"eu#-Qj 8.38 啁啾反射镜 1 196 s,TKC67.%+ 8.39 啁啾反射镜2 198 XA~Rn>7&H 8.40 啁啾反射镜3 199 PUB|XgQDY: 8.41 带保护层的铝膜层 200 (o_fY. 8.42 增加铝反射率膜 201 pRtxyL"y 8.43 参考文献 202 NyD[9R? 9 多层膜 204 N\<RQtDg 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 u93=>S 9.2 内部透过率 204 0&U,WA 9.3 内部透射率数据 205 M/5e4b 9.4 实例 206 $Yt29AQ 9.5 实例2 210 (Rvke!"B 9.6 圆锥和带宽计算 212 y
D.S" 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 7?K?-Oj 10 光学薄膜的颜色 216 p.q:vI$J 10.1 导言 216 *b?C%a9 10.2 色彩 216 8uoFV=bj\ 10.3 主波长和纯度 220 c,KT1me 10.4 色相和纯度 221 UYH;15s 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 S .rT5A[ 10.6 色差 226 *=L3bBu? 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 TH2D ;uv 10.8 颜色渲染指数 234 SoODss~X 10.9 色差计算 235 u~yJFIo 10.10 参考文献 236 =+q9R`!L] 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 4KE"r F 11.1 短脉冲 238 2 q J}5 11.2 群速度 239 Q7$ILW-S 11.3 群速度色散 241 buGW+TrWY 11.4 啁啾(chirped) 245 F\+wM*:U 11.5 光学薄膜—相变 245 hGcq>Cvf 11.6 群延迟和延迟色散 246
a
+Q9kh 11.7 色度色散 246 y3$i?}?A 11.8 色散补偿 249 SF 61rm 11.9 空间光线偏移 256 k,M%/AXd 11.10 参考文献 258 Pze$QBNoRd 12 公差与误差 260 >#B%gxff 12.1 蒙特卡罗模型 260 D%umL/[] 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 s
z/7cLo 12.2.1 误差工具 267 %y33evX/B 12.2.2 灵敏度工具 271 &R/)#NAp 12.2.2.1 独立灵敏度 271 /hf}f=7kH 12.2.2.2 灵敏度分布 275 vpx8GiV 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 OA2<jrGB! 12.3 参考文献 276 [P2$[|IM 13 Runsheet 与Simulator 277 C$\|eC j 13.1 原理介绍 277 !8vHN=)z 13.2 截止滤光片设计 277 +ex@[grsGT 14 光学常数提取 289 9g+/^j^>?f 14.1 介绍 289 S2K_>kvG)~ 14.2 电介质薄膜 289 =)m2u2c M 14.3 n 和k 的提取工具 295 d8Jy$,/`? 14.4 基底的参数提取 302 ~fB: >ceD 14.5 金属的参数提取 306 7*y_~H 14.6 不正确的模型 306 ^ng#J\
14.7 参考文献 311 ?U~C= F?K 15 反演工程 313 jdQ`Y+BC 15.1 随机性和系统性 313 zu<b#W v 15.2 常见的系统性问题 314 4)+MvKxjS 15.3 单层膜 314 (E59)z - 15.4 多层膜 314 < i*v 15.5 含义 319 r#*kx# " 15.6 反演工程实例 319 j[gX"PdQ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 "T@9]>6.f 15.6.2 反演工程提取折射率 327 E#r6e+e1Q% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 *}Zd QJL 16.1 光学性质的热致偏移 329 v0 |A
N 16.2 应力工具 335 rH8^Fl&jT 16.3 均匀性误差 339 d7qY(!& 16.3.1 圆锥工具 339 }N(-e$88 16.3.2 波前问题 341 jNB|98NN 16.4 参考文献 343 R_\{a*lV0 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 pj&vnX6O^ 17.1 引言 345 D4<nS<8 17.2 操作数 345 :j9{n ,F 18 如何在Function中编写脚本 351 r]Bwp i% 18.1 简介 351 b gGd 18.2 什么是脚本? 351 Z+)R%Z'aL 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Q.#@xaX'{` 18.4 基础 352 {NXc<0a( 18.4.1 Classes(类别) 352 "DM$FRI0 18.4.2 对象 352 &Qy_= -] 18.4.3 信息(Messages) 352 5Tluxt71 18.4.4 属性 352 :pcKww|V 18.4.5 方法 353 G`PSb<h\oc 18.4.6 变量声明 353 id@!kSR 18.5 创建对象 354 <splLZW3k 18.5.1 创建对象函数 355
NqvL,~1G 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ChF:N0w?
p 18.5.3 丢弃对象 356 S{{D G 18.5.4 总结 356 v5i[jM8 18.6 脚本中的表格 357 _aL:XKM 18.6.1 方法1 357 F=yrqRS= 18.6.2 方法2 357 |Y|{9Osus 18.7 2D Plots in Scripts 358 RS!~5nk5 18.8 3D Plots in Scripts 359 G*uy@s: 18.9 注释 360 Bx0^?> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Kf2*|ZHj 18.11 一个更高级的脚本 362 qCOv4b` 18.12 <esc>键 364 EC$wi|i 18.13 包含文件 365 cW;to Q!P 18.14 脚本被优化调用 366 b+yoD 18.15 脚本中的对话框 368 j':Ybr>BR 18.15.1 介绍 368 UOSa`TZbZ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Q7UFF 18.15.3 输入框函数 370 *,{. oO9# 18.15.4 自定义对话框 371 xekW-=#a7- 18.15.5 对话框编辑器 371 ;!DUN zl 18.15.6 控制对话框 377 {EGiGwpf 18.15.7 更高级的对话框 380 n?_!gqK 18.16 Types语句 384 B2:6=8< 18.17 打开文件 385 X+;Ivx 18.18 Bags 387 8:0QI kqk 18.13 进一步研究 388 ~b/lr 19 vStack 389 3&_O\nD 19.1 vStack基本原理 389 _JOrGVmD 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 o1YX^-<[F 19.3 五棱镜 393 {\jh?P| 19.4 光束距离 396 VI0^Zq!6R 19.5 误差 399 |4aV~n[># 19.6 二向分色棱镜 399 Gp'rN}i^ 19.7 偏振泄漏 404 ;X-~C.7k 19.8 波前误差—相位 405 1O*5>dkX;% 19.9 其它计算参数 405 HGfV2FtT z 20 报表生成器 406 {ER!
0w/ 20.1 入门 406 .x5Yfe 20.2 指令(Instructions) 406 ^qs=fF 20.3 页面布局指令 406 R}c,ahd 20.4 常见的参数图和三维图 407 \.2?951} 20.5 表格中的常见参数 408 z:-a7_ 20.6 迭代指令 408 XWV) 20.7 报表模版 408 I8@NQ=UV0 20.8 开始设计一个报表模版 409 U(3+*'8r,1 21 一个新的project 413 D% }?l 21.1 创建一个新Job 414 f@l$52f3D 21.2 默认设计 415 m5Q,RwJ!xK 21.3 薄膜设计 416 rM#jxAb 21.4 误差的灵敏度计算 420 W76K/A<h> 21.5 显色指数计算 422 v Ic0V 21.6 电场分布 424 f9u ^/QVS& 后记 426 w'z?1M(*
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