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g[*+R9' 内容简介 LD: w
wH Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 d?WA}VFU 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 rmUTl 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 c_}i(HQ ':!w%& \ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 `j0T[Pi 目录 Y fk[mo Preface 1 Z}f$KWj 内容简介 2 H:#b(&qw2 目录 i .a:"B\B` 1 引言 1 Xw`vf7z* 2 光学薄膜基础 2 "@W0Lk[ 2.1 一般规则 2 t9&)9,my 2.2 正交入射规则 3 !EF~I8d\] 2.3 斜入射规则 6 +
htTrHjt 2.4 精确计算 7 x%B^hH;W 2.5 相干性 8 B@HW@j 2.6 参考文献 10 yY4*/w7*j4 3 Essential Macleod的快速预览 10 HC*=E.J 4 Essential Macleod的特点 32 Wd_bDZQ 4.1 容量和局限性 33 !Y!Cv % 4.2 程序在哪里? 33 UMm<HQ 4.3 数据文件 35 !e&ZhtTuC 4.4 设计规则 35 'I($IM 4.5 材料数据库和资料库 37 qw&Wfk\} 4.5.1材料损失 38 ]7O)iq% 4.5.1材料数据库和导入材料 39 + Q
If7= 4.5.2 材料库 41 Yb%H9A 4.5.3导出材料数据 43 w3 PE.A"Q 4.6 常用单位 43 /S$p_7N 4.7 插值和外推法 46 I.Co8is 4.8 材料数据的平滑 50 bRJYw6oA< 4.9 更多光学常数模型 54 W tnZF]1:u 4.10 文档的一般编辑规则 55 1 <.I2\^ 4.11 撤销和重做 56 )W:`Q&/G 4.12 设计文档 57 iUi{)xa2 4.10.1 公式 58 Ym(^ih 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 UA!h[+Z 4.10.3 沉积密度 59 Z}T<^
F 4.10.4 平行和楔形介质 60 gTY\B. 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 O4$ra;UM` 4.10.4 性能 61 Jn +[:s. 4.10.5 保存设计和性能 64 8;4vr@EV 4.10.6 默认设计 64 /v:g' #n 4.11 图表 64 sVZb[|zSri 4.11.1 合并曲线图 67 -\6tVF11z 4.11.2 自适应绘制 68 lzBy;i 4.11.3 动态绘图 68 Oq(_I
b)9 4.11.4 3D绘图 69 }$hxD9z 4.12 导入和导出 73 pNcNU[c 4.12.1 剪贴板 73 }el.qZ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ve.iyr 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :J@q
Xa 4.13 背景 77 @4B+<,i
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 s!~M,zsQN 4.15 生成Rugate 84 {lT9gJ+ 4.16 参考文献 91 3uwu}aw 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 miCt)Qd 5.1 Jobs 92 WiH%URFB 5.2 创建一个新Job(工作) 93 -TU7GCb= 5.3 输入材料 94 ME[Wg\ 5.4 设计数据文件夹 95 o\@1\#a 5.5 默认设计 95 ~cz]Rhq 6 细化和合成 97 ^b~&}uU 6.1 优化介绍 97 }pbyC 6.2 细化 (Refinement) 98 W'E!5T^ 6.3 合成 (Synthesis) 100 t LdBnf 6.4 目标和评价函数 101 x1Q}B 6.4.1 目标输入 102 df
nmUE 6.4.2 目标 103 LG [2u 6.4.3 特殊的评价函数 104 Cfyas' 6.5 层锁定和连接 104 _U1~^ucV 6.6 细化技术 104 D%LqLLD 6.6.1 单纯形 105 fGcAkEstT! 6.6.1.1 单纯形参数 106 p>Ju)o 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 j1N1c~2 6.6.2.1 Optimac参数 108 Z@nM\/vLA 6.6.3 模拟退火算法 109 Dj;h!8t. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ^TyusfOz 6.6.4 共轭梯度 111 DdJxb{y7 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 " 6~pTHT 6.6.5 拟牛顿法 112 = PqQJE} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 mq[(yR 6.6.6 针合成 113 &O#a==F!( 6.6.6.1 针合成参数 114 U;?%rM6 6.6.7 差分进化 114 | H2{%! 6.6.8非局部细化 115 kI<C\*N 6.6.8.1非局部细化参数 115 Bg-C:Ok2' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 -DlKFN 6.7.1 细化 116 k)'hNk"x 6.7.2 合成 117 $G"PZ7 6.8 参考文献 117
doBfpQ2 7 导纳图及其他工具 118 y rdJX 7.1 简介 118 D2[wv+#) 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 k*-_CO-h 7.2.1 四分之一波长规则 119 HyiuU` 7.2.2 导纳图 120 Xf:CGR8_ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 fNFdZ[qOd 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Sr)/
Mf 7.5 斜入射导纳图 141 C0jmjZ%w@ 7.6 对称周期 141 jm =E_86_ 7.7 参考文献 142 V3$!`T}g4 8 典型的镀膜实例 143 4(R O1VWsb 8.1 单层抗反射薄膜 145 )*G3q/l1u6 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 DvG. G+mo# 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Umm_FEU#] 8.4 W-膜层 148 +AZ=nMgW 8.5 V-膜层 149 J@"Pv~R 8.6 V-膜层高折射基底 150 lT@5=ou[ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Gc~A,_( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 $.QnM 8.9 四层抗反射薄膜 153 fm;1Iu# 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 :GIY"l' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 V{HZ/p_Y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 enF.}fo] 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 RoxzCFsI\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 j5R= K*y 8.15十五层宽带抗反射膜 159
p[0Ws460 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Ufv{6"sH 8.17 1/4波长堆栈 162 ~r]ZD) 8.18 陷波滤波器 163 J,;;`sf 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Fz?ON1\ 8.20 褶皱 165 |}es+<P 8.21 消偏振分光器1 169 ve1jLjsB 8.22 消偏振分光器2 171 56G5JSB=\ 8.23 消偏振立体分光器 172 R=i$*6}a 8.24 消偏振截止滤光片 173 MQQiQ 2 8.25 立体偏振分束器1 174 YM 7P!8Gc 8.26 立方偏振分束器2 177 {Xwin$C 8.27 相位延迟器 178 z Rz#0 8.28 红外截止器 179 dDi 1{s 8.29 21层长波带通滤波器 180 kX'1.<[ 8.30 49层长波带通滤波器 181 B6 x5E 8.31 55层短波带通滤波器 182 y@~.b^?_u 8.32 47 红外截止器 183 '&?47+W 8.33 宽带通滤波器 184 >%qGK-_ 8.34 诱导透射滤波器 186 5>j,P 8.35 诱导透射滤波器2 188 vW"x)~B 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 cOOPNa>5_ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 8ji!FZf 8.35 增益平坦滤波器 193 )Si`>o3T-. 8.38 啁啾反射镜 1 196 vD:.1,72 8.39 啁啾反射镜2 198 FDbx"%A 8.40 啁啾反射镜3 199 E"#<I*b 8.41 带保护层的铝膜层 200 J0@m
Ol 8.42 增加铝反射率膜 201 ) OZDq]mV 8.43 参考文献 202 g[8VfIe 9 多层膜 204 O5_[T43 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )09_CC!a 9.2 内部透过率 204 [mw#a9 9.3 内部透射率数据 205 5Lum$C
c} 9.4 实例 206 VY=~cVkzS 9.5 实例2 210 p&Nw:S 9.6 圆锥和带宽计算 212 4d!&.Qo9 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
6C
r$R]5 10 光学薄膜的颜色 216 M[<O]p6 10.1 导言 216 ovm*,La)g 10.2 色彩 216 L
nw+o} 10.3 主波长和纯度 220 tI.(+-q 10.4 色相和纯度 221 XiKv2vwA 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 "N4c>2Q 10.6 色差 226 P/nXY 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 "9LPq 10.8 颜色渲染指数 234 "
8;D^ 10.9 色差计算 235 qbqJ1^!6R 10.10 参考文献 236 YyK9UZjI 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 B^h]6Z/O 11.1 短脉冲 238 Y)BKRS~ 11.2 群速度 239 ut3jIZ1] 11.3 群速度色散 241 %m+Z rH( 11.4 啁啾(chirped) 245 S_ nTp) 11.5 光学薄膜—相变 245 <u->hT 11.6 群延迟和延迟色散 246 eC[g"Ef 11.7 色度色散 246 uKpl+> 11.8 色散补偿 249 )byQ=-<1 11.9 空间光线偏移 256 oJ6
d: 11.10 参考文献 258 G <Lm} 12 公差与误差 260 7T4rx53 12.1 蒙特卡罗模型 260 y,Dfqt 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ?xN8HG4 12.2.1 误差工具 267 6TfXz2D'J 12.2.2 灵敏度工具 271 KO{}+~,.6 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =%2 E|/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 \sp7[}Sw 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 %}'sFum` 12.3 参考文献 276 n[ba 13 Runsheet 与Simulator 277 $PrzJc 13.1 原理介绍 277 tG%R_$* 13.2 截止滤光片设计 277 J3$`bK6F6 14 光学常数提取 289 KxJJ?WyM 14.1 介绍 289 \+cQiN b@ 14.2 电介质薄膜 289 (&njZdcb* 14.3 n 和k 的提取工具 295 n>#h( 14.4 基底的参数提取 302 =1\'xz}p? 14.5 金属的参数提取 306 }d6g{` 14.6 不正确的模型 306 r>z8DX@ 14.7 参考文献 311 Ty@&s58a 15 反演工程 313 ef!I |.FW 15.1 随机性和系统性 313 0n(Q@O 15.2 常见的系统性问题 314 T}u ' 15.3 单层膜 314 >"`:w
15.4 多层膜 314 {/n$Y|TIQt 15.5 含义 319 AiO,zjM = 15.6 反演工程实例 319 N>]u;HjH 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _10#rucr 15.6.2 反演工程提取折射率 327 YI\^hP# 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 EEkO[J[= 16.1 光学性质的热致偏移 329 x; b'y4kH 16.2 应力工具 335 YVs{\1|' 16.3 均匀性误差 339 4pc=MR 16.3.1 圆锥工具 339 \OY2| 16.3.2 波前问题 341 F." L{g 16.4 参考文献 343 :+-s7'!4 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 }>tUkXlhJ< 17.1 引言 345 0K#dWc}"a 17.2 操作数 345 `8'|g8,wb0 18 如何在Function中编写脚本 351 &JF^a 18.1 简介 351 B<0lif| 18.2 什么是脚本? 351 DORFK 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Z ,T TI>P 18.4 基础 352 $6Ty~.RP5H 18.4.1 Classes(类别) 352 nY~CAo/: 18.4.2 对象 352 cFH,fj 18.4.3 信息(Messages) 352 [9>1e 18.4.4 属性 352 xNm<` Y? 18.4.5 方法 353 yq&]>ox 18.4.6 变量声明 353 H:~LL0Md% 18.5 创建对象 354 +, PBhB 18.5.1 创建对象函数 355 ){ wE)NN 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 1miTE4;? 18.5.3 丢弃对象 356 ;OVJM
qg 18.5.4 总结 356 nR
,j1IUF 18.6 脚本中的表格 357 Ad`;O+/; 18.6.1 方法1 357 w>m/c1 18.6.2 方法2 357 H"n"Q:Yp 18.7 2D Plots in Scripts 358 A4SM@ry 18.8 3D Plots in Scripts 359 Yoaz|7LS 18.9 注释 360 hd^?svID 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Sc*p7o: A 18.11 一个更高级的脚本 362 IS8ppu&E 18.12 <esc>键 364 ea B-u 18.13 包含文件 365 ]54V9l: 18.14 脚本被优化调用 366 R%5\1!Fl=G 18.15 脚本中的对话框 368 UUA7m$F1 18.15.1 介绍 368 |yqx
] 18.15.2 消息框-MsgBox 368 -5E%f|U 18.15.3 输入框函数 370 YZmD:P 18.15.4 自定义对话框 371 5[;p<GqGN 18.15.5 对话框编辑器 371 rL_AqSGAK1 18.15.6 控制对话框 377 ]Oe#S"-Oo 18.15.7 更高级的对话框 380 Z !hDTT 18.16 Types语句 384 kOkgsQQ 18.17 打开文件 385 Uu3[Cf=C 18.18 Bags 387 ZT|E1[Q 18.13 进一步研究 388 !O $EVl 19 vStack 389 X,gXgx P\ 19.1 vStack基本原理 389 *S<>_R 8 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 [kn`~hI 19.3 五棱镜 393 C96|T>bk 19.4 光束距离 396 '8dgYj 19.5 误差 399 ,.F,]m= 19.6 二向分色棱镜 399 JLs7[W)O 19.7 偏振泄漏 404 Bz]64/ 19.8 波前误差—相位 405
\1|T 19.9 其它计算参数 405 A$%%;O 20 报表生成器 406 V!~uGf 20.1 入门 406 J *^|ojX 20.2 指令(Instructions) 406 {{giSW' 20.3 页面布局指令 406 s8 3_Bd 20.4 常见的参数图和三维图 407 r@iGMJx$ 20.5 表格中的常见参数 408 dNbN]gHC 20.6 迭代指令 408 YY$K;t{dk 20.7 报表模版 408 Xhi9\wteYw 20.8 开始设计一个报表模版 409 5 {'%trDEy 21 一个新的project 413 iF<VbQP=X^ 21.1 创建一个新Job 414 2uU~$7~N 21.2 默认设计 415 8l)^#"ySA 21.3 薄膜设计 416 'w!Hjq]$ 21.4 误差的灵敏度计算 420 > \KBXS} 21.5 显色指数计算 422 !U*i13 21.6 电场分布 424 5\qoZs*e 后记 426 Rl$NiY?2
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