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eLny-.i,7 内容简介 !y`e,(E Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Cpcd`y=IN 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 yp^* TD/J 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 =7Vl{>*1N Zg&\K~OC 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 lKUm_; m 目录 ek)(pJ(+# Preface 1 B?yt%f1 内容简介 2 /AW>5r] 目录 i t`,IW{ 1 引言 1 })lT fy 2 光学薄膜基础 2 wWU_?Dr_~ 2.1 一般规则 2 NCFV 2.2 正交入射规则 3 :5{@* 2.3 斜入射规则 6 i q:Q$z& 2.4 精确计算 7 +~Ay h[V 2.5 相干性 8 ~+egu89'TU 2.6 参考文献 10 QCfpDE} 3 Essential Macleod的快速预览 10 pHB35=p28 4 Essential Macleod的特点 32 JvL'gJ$70 4.1 容量和局限性 33 Zw][c7% 4.2 程序在哪里? 33 ('q vYQ 4.3 数据文件 35 Lu 39eO6 4.4 设计规则 35 JlQT5k 4.5 材料数据库和资料库 37 m`IQ+,e 4.5.1材料损失 38 ~hslLUE 4.5.1材料数据库和导入材料 39 {IHK<aW 4.5.2 材料库 41 lp-Zx[#`}C 4.5.3导出材料数据 43 j&
iL5J; 4.6 常用单位 43 SM+fG: 4d 4.7 插值和外推法 46 E ' JC 4.8 材料数据的平滑 50 -5v.1y=!L 4.9 更多光学常数模型 54 L?27q 4.10 文档的一般编辑规则 55 MlK`sH6 4.11 撤销和重做 56 `uZv9I" 4.12 设计文档 57 a@y5JxFAy 4.10.1 公式 58 _G[I2] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 \41)0,sEy 4.10.3 沉积密度 59 J.mewD!%z 4.10.4 平行和楔形介质 60 Z3So|M{v 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 YB
B$uGA 4.10.4 性能 61 rk,1am:cg 4.10.5 保存设计和性能 64 )YMlFzYr 4.10.6 默认设计 64 ^I<T+X+< 4.11 图表 64 j8Q5d` 4.11.1 合并曲线图 67 #;LMtDaL 4.11.2 自适应绘制 68 Kq 4<l 4.11.3 动态绘图 68 :~3{oZGX& 4.11.4 3D绘图 69 Yuo1'gE+ 4.12 导入和导出 73 CQjZAv
4.12.1 剪贴板 73 :{b6M/ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Sci4EGc 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 gO:Z6}3vM 4.13 背景 77 {jM<t 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 g"]<J& 4.15 生成Rugate 84 AuDR |;i 4.16 参考文献 91 .D,?u"fk| 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 x , Vh 5.1 Jobs 92 HKiVEg 5.2 创建一个新Job(工作) 93 _TOi
[GT 5.3 输入材料 94 5+bFy.UW 5.4 设计数据文件夹 95 ?S@R~y0K 5.5 默认设计 95 S -6"f/ 6 细化和合成 97 <F)w=_%& 6.1 优化介绍 97 )y`TymM[F 6.2 细化 (Refinement) 98 6<s(e_5f 6.3 合成 (Synthesis) 100 +t>*l>[ 6.4 目标和评价函数 101 <,@H;|mZ 6.4.1 目标输入 102 <DXmZ1 6.4.2 目标 103 KIKq9 * 6.4.3 特殊的评价函数 104 4aN+}TkH@G 6.5 层锁定和连接 104 0n*rs=\VG 6.6 细化技术 104 kQwm"Z 6.6.1 单纯形 105 ?UZ$bz 6.6.1.1 单纯形参数 106 7~ *;=,mw 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 r}R^<y@I 6.6.2.1 Optimac参数 108 DhWWN>I 6.6.3 模拟退火算法 109 13.{Y) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 18.Y/nZAgQ 6.6.4 共轭梯度 111 x[PEn 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 a:yB%:2 6.6.5 拟牛顿法 112 z [qdmx^ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 x/%7%_+' 6.6.6 针合成 113 :'d76pM- 6.6.6.1 针合成参数 114 t&R!5^R 6.6.7 差分进化 114 &@4.;u 6.6.8非局部细化 115 Lf^5Eo/
5A 6.6.8.1非局部细化参数 115 Nt
zq"ces) 6.7 我应该使用哪种技术? 116 HZDk
<aU/! 6.7.1 细化 116 !K3i-zY 6.7.2 合成 117 NV8]#b 6.8 参考文献 117 V<i<0E 7 导纳图及其他工具 118 5ys#L&q'Z 7.1 简介 118 M8^.19q; 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 d&aBs++T 7.2.1 四分之一波长规则 119 ?eL='>Ne 7.2.2 导纳图 120 Mx/h?}u; 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 5jn$7iE` 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 vIVw'Z(g} 7.5 斜入射导纳图 141 %"l81z 7.6 对称周期 141 Cq?',QU6j 7.7 参考文献 142 u}Ei_
O<z 8 典型的镀膜实例 143 u?q&K|
8.1 单层抗反射薄膜 145 b
A)b`1lI 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 bbd0ocva 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 m!#_CQ: 8.4 W-膜层 148 <\, &:< 8.5 V-膜层 149 7<EJo$-j 8.6 V-膜层高折射基底 150 uQ:Qb| 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 gI)w^7Gi 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 $Hp.{jw 8.9 四层抗反射薄膜 153 <TI3@9\qXE 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Az
U|p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 4@DVc7\x$ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 R(: 4s 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 D3%l4.h 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 WYSck&9 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ZJ^s} 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 yDd=&
T
8.17 1/4波长堆栈 162 "0|BoG 8.18 陷波滤波器 163 /K_ i8!y 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 HR[Q
?rg 8.20 褶皱 165 o*%3[HmV 8.21 消偏振分光器1 169 GS}0;x 8.22 消偏振分光器2 171 b\1+kB/8 8.23 消偏振立体分光器 172 wX-RQ[2X 8.24 消偏振截止滤光片 173 H \r `7 8.25 立体偏振分束器1 174 +->\79<#V( 8.26 立方偏振分束器2 177 cICHRp&& 8.27 相位延迟器 178 N\_( w:q 8.28 红外截止器 179 BiA>QQ 8.29 21层长波带通滤波器 180 :tKbz
nd/ 8.30 49层长波带通滤波器 181 hgj CXl 8.31 55层短波带通滤波器 182 L<0=giE 8.32 47 红外截止器 183 DZJeup?Z 8.33 宽带通滤波器 184 !\aV0, 8.34 诱导透射滤波器 186 a|UqeNI{ 8.35 诱导透射滤波器2 188 wOjv[@d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 !loO%3_) 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 e:qo_eSC^- 8.35 增益平坦滤波器 193 w]n4KR4 8.38 啁啾反射镜 1 196 *7\W=- 8.39 啁啾反射镜2 198 e d_m +NM 8.40 啁啾反射镜3 199 /a%*u6z@ 8.41 带保护层的铝膜层 200 *0O<bm 8.42 增加铝反射率膜 201 _~ v-:w 8.43 参考文献 202 V{KjRSVf= 9 多层膜 204 _]P
a>8X* 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ]+AAT=B<! 9.2 内部透过率 204 {&uT3*V1 9.3 内部透射率数据 205 =Qyqfy*@D? 9.4 实例 206 60'6/3 9.5 实例2 210 "s% 686Vz 9.6 圆锥和带宽计算 212 rWJ*e Y 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 p[u4, 10 光学薄膜的颜色 216 XHy? 10.1 导言 216 Ga.0Io&}C 10.2 色彩 216 Cgo9rC~] 10.3 主波长和纯度 220 S:#e8H_7m] 10.4 色相和纯度 221 M]1; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 C]/&vh7ta 10.6 色差 226 N50fL 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 `y'aH
'EEd 10.8 颜色渲染指数 234 )R~a;?T_c0 10.9 色差计算 235 am2a#4` 10.10 参考文献 236 (X*9w##x( 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 bCzdszvg3 11.1 短脉冲 238 1ADv?+j)A/ 11.2 群速度 239 +miR3~w. 11.3 群速度色散 241 gd
K*"U 11.4 啁啾(chirped) 245 Gp,'kw"I 11.5 光学薄膜—相变 245 xLZ bU4 11.6 群延迟和延迟色散 246 w m19T7*L 11.7 色度色散 246 C*a,<` 11.8 色散补偿 249 ":V%(c 11.9 空间光线偏移 256 X3AwM%,! 11.10 参考文献 258 Jns/v6 12 公差与误差 260 n%*tMr9 s 12.1 蒙特卡罗模型 260 -rO*7HO 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 vffH 12.2.1 误差工具 267 ly[lrD0Kn. 12.2.2 灵敏度工具 271 )&Mq,@ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ZEqE$: 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9l#gMFknI 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 s047"Q 12.3 参考文献 276 @*SA$9/l 13 Runsheet 与Simulator 277 l:)S 3 13.1 原理介绍 277 YIO.yN"0 13.2 截止滤光片设计 277 ,aWCiu} 14 光学常数提取 289 ?]5Ix1 14.1 介绍 289 `4skwvS= 14.2 电介质薄膜 289 rfc|`*m}0 14.3 n 和k 的提取工具 295 $7Cgo &J 14.4 基底的参数提取 302 2
^oGwx @ 14.5 金属的参数提取 306 {<!hlB 14.6 不正确的模型 306 2Y$ 14.7 参考文献 311 ZL,6_L/ 15 反演工程 313 F*,5\s< 15.1 随机性和系统性 313 |*ReqM|_C 15.2 常见的系统性问题 314 6P^hN%0 15.3 单层膜 314 [8TS"ph> 15.4 多层膜 314 lA]N04 d 15.5 含义 319 %XR<isn 15.6 反演工程实例 319 \OT6L'l], 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ~XKZXGw 15.6.2 反演工程提取折射率 327 JL``iA 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 vbaC+AiX 16.1 光学性质的热致偏移 329 djfU:$!j& 16.2 应力工具 335 L0xsazX:x 16.3 均匀性误差 339 {pC\\} 16.3.1 圆锥工具 339 (7~%B" 16.3.2 波前问题 341 7VY8CcL 16.4 参考文献 343 #Skj#)I" 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 "|hlDe< 17.1 引言 345 i?x$w{co 17.2 操作数 345 ~5T$8^K 18 如何在Function中编写脚本 351 Cg^:jd 18.1 简介 351 }2=hd. . 18.2 什么是脚本? 351 c})wD+1 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 op.d;lO@ 18.4 基础 352 .lr5!Stb 18.4.1 Classes(类别) 352 )P%4:P 18.4.2 对象 352 '-.wFB; 18.4.3 信息(Messages) 352 {!r#f(?uT 18.4.4 属性 352 h;nQxmJ9 18.4.5 方法 353 =|"=l1 18.4.6 变量声明 353 nd.hHQ 18.5 创建对象 354 N8QH*FX/F1 18.5.1 创建对象函数 355 4kh8W~i;/ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 fK"iF@=Z` 18.5.3 丢弃对象 356 _JA:.V^3gm 18.5.4 总结 356 3daC;;XO 18.6 脚本中的表格 357 kT2Wm/L 18.6.1 方法1 357 X.eB ;w/} 18.6.2 方法2 357 v^TkDf(Oz 18.7 2D Plots in Scripts 358 =JxFp,
Xr 18.8 3D Plots in Scripts 359 a%*_2# 18.9 注释 360 c 6q/X* 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 }uiPvO+&p 18.11 一个更高级的脚本 362 `O
n(v 18.12 <esc>键 364 =Epq%,4nG 18.13 包含文件 365 59Nd}wPO; 18.14 脚本被优化调用 366 +q-c8z 18.15 脚本中的对话框 368 sG1BNb_ 18.15.1 介绍 368 c=aO5(i0 18.15.2 消息框-MsgBox 368 U6c@Et , 18.15.3 输入框函数 370 [<S^c[47U 18.15.4 自定义对话框 371 SBL+e]P 18.15.5 对话框编辑器 371 g}Mi9Kp 18.15.6 控制对话框 377 _r5wF(Y?7 18.15.7 更高级的对话框 380 uJ8x 18.16 Types语句 384 p6Gcts?, 18.17 打开文件 385 %6HX*_Mr& 18.18 Bags 387 2vvh|?M 18.13 进一步研究 388 P63
(^R 19 vStack 389 AqqHD=Yp 19.1 vStack基本原理 389 R\y'_S=#a 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 bl$j%gI%, 19.3 五棱镜 393 Z'ao[CG 19.4 光束距离 396 WGMb8 /{$P 19.5 误差 399 Fv@tD4I> 19.6 二向分色棱镜 399 'kQ~ 19.7 偏振泄漏 404 cd&B?\I 19.8 波前误差—相位 405 F|*tNJU> 19.9 其它计算参数 405 ,5w]\z 20 报表生成器 406 Ro~fvL~Ps 20.1 入门 406 #D0W7a 20.2 指令(Instructions) 406 `)2[ST 20.3 页面布局指令 406 X Ny
Y$ 20.4 常见的参数图和三维图 407 &g
{<HU?BT 20.5 表格中的常见参数 408 0ERsMnU' 20.6 迭代指令 408 C5;wf3 20.7 报表模版 408 5zVQ;;9 20.8 开始设计一个报表模版 409 #fj[kq)&S 21 一个新的project 413 qy&\Xgn;GA 21.1 创建一个新Job 414 z{/LX
\ 21.2 默认设计 415 2qXo{C3 21.3 薄膜设计 416 8$m1eQ`{ 21.4 误差的灵敏度计算 420 ^9=4iXd 21.5 显色指数计算 422 :~erh}~ps 21.6 电场分布 424 J^h'9iQpi 后记 426 03F3q4"
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