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huz86CO 内容简介 5O&d3;p' Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 rJu[N(2k 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 q0Xoj__c!A 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 80Ag L[rpb.'FG 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Jy9bY 目录 sxo;/~.p Preface 1 9qpU@V! 内容简介 2 >9=:sSQu 目录 i eK'wVg# 1 引言 1 I~)cYl:|G 2 光学薄膜基础 2 \^LWCp,C" 2.1 一般规则 2 tw=K&/@^O 2.2 正交入射规则 3 y_*n9
)Ct 2.3 斜入射规则 6 !i^]UN 2.4 精确计算 7 >8|+%pK8< 2.5 相干性 8 40 2x<H 2.6 参考文献 10 Txo@U 3 Essential Macleod的快速预览 10 (3VGaUlx 4 Essential Macleod的特点 32 .]P2}w)x? 4.1 容量和局限性 33 g5y;?fqJ 4.2 程序在哪里? 33 M ?*Tf& 4.3 数据文件 35 ;|<(9u` 4.4 设计规则 35 #|Oj]bd(= 4.5 材料数据库和资料库 37 O+_N!/ 4.5.1材料损失 38 3y ryeS 4.5.1材料数据库和导入材料 39 P/MM
UmO 4.5.2 材料库 41 <W*xshn 4.5.3导出材料数据 43 0 " y%9
4.6 常用单位 43 JS!*2*Wr 4.7 插值和外推法 46 \5~;MI.Sq 4.8 材料数据的平滑 50 dAL3. % 4.9 更多光学常数模型 54 Iq^if> 4.10 文档的一般编辑规则 55 7d;pvhnH 4.11 撤销和重做 56 @uM EXP 4.12 设计文档 57 JB^Q\;$ 4.10.1 公式 58 E"#Xc@ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 v0#*X5C1' 4.10.3 沉积密度 59 ^,TTwLy-t 4.10.4 平行和楔形介质 60 ^ S 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 #f*g]p{ 4.10.4 性能 61 B76 v}O: 4.10.5 保存设计和性能 64 "Z T.k5Z 4.10.6 默认设计 64 C#;@y|Rw 4.11 图表 64 _9@ >;] 4.11.1 合并曲线图 67 y\'P3ihK 4.11.2 自适应绘制 68 G 4qy*. 4.11.3 动态绘图 68 f8'MP9Lv 4.11.4 3D绘图 69 KzphNHd 4.12 导入和导出 73 lZWK2 4.12.1 剪贴板 73 __I/F6{ 9V 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 nNaXp*J 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &:3Z.G 4.13 背景 77 0y~<%`~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 zN{JJ3- 4.15 生成Rugate 84 /YH`4e5g 4.16 参考文献 91 >o~Z>lr 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 c#lPc>0xb 5.1 Jobs 92 PB9/m-\H 5.2 创建一个新Job(工作) 93 c0ez/q1S 5.3 输入材料 94 M T6/2d 5.4 设计数据文件夹 95 X}cZxlqc 5.5 默认设计 95 0 [8=c&F 6 细化和合成 97 A&,,9G< 6.1 优化介绍 97 J!TBREK 6.2 细化 (Refinement) 98 |c2xy 6.3 合成 (Synthesis) 100 HjA_g0u 6.4 目标和评价函数 101 |0.Xl+7 6.4.1 目标输入 102 A}5fCx.{ 6.4.2 目标 103 p $ouh 6.4.3 特殊的评价函数 104 --fFpM3EvS 6.5 层锁定和连接 104 0Fw6Dq<8-! 6.6 细化技术 104 <
g|Z}Y 6.6.1 单纯形 105 U#
JIs 6.6.1.1 单纯形参数 106 z0bJ?~w, 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 JObMZA$ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ?LaUed' 6.6.3 模拟退火算法 109 VDGCWg6z 6.6.3.1 模拟退火参数 109 zt=0o|k 6.6.4 共轭梯度 111 k?6z_vu 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Zy0aJN> 6.6.5 拟牛顿法 112 ^ qvZ XS 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 q,%:h`t\ 6.6.6 针合成 113 hs+kr?Pg` 6.6.6.1 针合成参数 114 .*YD&( 6.6.7 差分进化 114 +jP~s 6.6.8非局部细化 115 0;.<~;@h 6.6.8.1非局部细化参数 115 ]zfG~^. 6.7 我应该使用哪种技术? 116 EU-]sTJLF 6.7.1 细化 116 atF?OP|{,w 6.7.2 合成 117 Sr_VL:Gg 6.8 参考文献 117 57,dw-|xi 7 导纳图及其他工具 118 [10zTU` 7.1 简介 118 1HT_ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 beXNrf=bG 7.2.1 四分之一波长规则 119 +q<B.XxkA 7.2.2 导纳图 120 ]J7Qgp)i 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 )C%N]9FvY 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 d3;qsUh$yv 7.5 斜入射导纳图 141 \qh*E#j 7.6 对称周期 141 sEc;!L 7.7 参考文献 142 gI]GUD- 8 典型的镀膜实例 143 >vbY<HGt 8.1 单层抗反射薄膜 145 \ I`p|&vG 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^:=f^N=^ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9uk<&nqx 8.4 W-膜层 148 xiblPF_n3 8.5 V-膜层 149 ``U^COD 8.6 V-膜层高折射基底 150 13hE}g;. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |JF@6 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 0k,-; j, 8.9 四层抗反射薄膜 153 gB'fFkd 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 E#wS_[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 J% H;%ROx 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ;)AfB#:d 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 =
u[#2! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 .Dg*\ h 8.15十五层宽带抗反射膜 159 5N[9
vW 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 e4>"92hX 8.17 1/4波长堆栈 162 3r+.N 8.18 陷波滤波器 163 NB_)ZEmF 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 _nh[(F<hz 8.20 褶皱 165 7R4z}2F2 8.21 消偏振分光器1 169 2i{cQ96 8.22 消偏振分光器2 171 K14^JAdY/ 8.23 消偏振立体分光器 172 Z6p5*+ 8.24 消偏振截止滤光片 173 ~@ jY[_ 8.25 立体偏振分束器1 174 KJ2Pb"s 8.26 立方偏振分束器2 177 $Fkaa<9;P 8.27 相位延迟器 178 (6l+lru[ 8.28 红外截止器 179 }Ew hj>w 8.29 21层长波带通滤波器 180 rKH:[lKm 8.30 49层长波带通滤波器 181 )rW&c-' 8.31 55层短波带通滤波器 182 Isy'{-H
8.32 47 红外截止器 183 u9+kLepOT 8.33 宽带通滤波器 184 ZK;z m 8.34 诱导透射滤波器 186 Q6gt+FKU9 8.35 诱导透射滤波器2 188 $$APgj"|< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 EtbnE*S 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 GeszgtK{T 8.35 增益平坦滤波器 193 sg'pO*_& 8.38 啁啾反射镜 1 196 osARA3\Xt 8.39 啁啾反射镜2 198 ;W>Cqg= 8.40 啁啾反射镜3 199 ~lNsa".c 8.41 带保护层的铝膜层 200 *]hBGr#6 8.42 增加铝反射率膜 201 {@! Kx`(: 8.43 参考文献 202 WrPUd{QM 9 多层膜 204 6 DG@?O 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 9O{b]=>wq 9.2 内部透过率 204 fXI:Y8T 9.3 内部透射率数据 205 Q+4tIrd+ 9.4 实例 206 X@@8"@/u|* 9.5 实例2 210 =K'cM=WM6 9.6 圆锥和带宽计算 212 8
C [/dH 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 BH]Yn u&o 10 光学薄膜的颜色 216 ^7zu<lX 10.1 导言 216 z#BR5jF 10.2 色彩 216 s,#>m*Rh 10.3 主波长和纯度 220 |@NiW\O 10.4 色相和纯度 221 kmzH'wktt 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Bqma\1cgb 10.6 色差 226 V%$/#sza 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 pym!U@$t 10.8 颜色渲染指数 234 4DZ-bt' 10.9 色差计算 235 ]smkTo/ 10.10 参考文献 236 Z{&cuo.@<] 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 D}8EER b 11.1 短脉冲 238 Eu"_MgD 11.2 群速度 239 hI9 11.3 群速度色散 241 rZ8`sIWQt 11.4 啁啾(chirped) 245 W9NX=gE4 11.5 光学薄膜—相变 245 D %Xo&V[ 11.6 群延迟和延迟色散 246 &0f5:M{P 11.7 色度色散 246 \&U>LwZd? 11.8 色散补偿 249 q,
O$ %-70 11.9 空间光线偏移 256 :y7c k/> 11.10 参考文献 258 :
]C~gc 12 公差与误差 260 tcxcup% 12.1 蒙特卡罗模型 260 4apL4E"r 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 jLg9H/w{ 12.2.1 误差工具 267 ]_N|L|]M 12.2.2 灵敏度工具 271 cnTaJ/o 12.2.2.1 独立灵敏度 271 oudxm[/U 12.2.2.2 灵敏度分布 275 )GHq/:1W 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8WnwQ%;m? 12.3 参考文献 276 P.gb1$7< 13 Runsheet 与Simulator 277 sQkhwMg 13.1 原理介绍 277 t!RiU ZAo 13.2 截止滤光片设计 277 N7e"@Ic 14 光学常数提取 289 1GzAG;UUo6 14.1 介绍 289 6}r`/?"A1 14.2 电介质薄膜 289 *}P~P$q% 14.3 n 和k 的提取工具 295 c38D}k^): 14.4 基底的参数提取 302 2}8v(%s p 14.5 金属的参数提取 306 eJg8,7WC 14.6 不正确的模型 306 F$)[kP,wtO 14.7 参考文献 311
O({2ivX 15 反演工程 313 1I:+MBGin 15.1 随机性和系统性 313 (+0v<uR^D 15.2 常见的系统性问题 314 wmTb97o 15.3 单层膜 314 eA<0$Gs,h 15.4 多层膜 314 -B +4+&{T 15.5 含义 319 )ut&@] 15.6 反演工程实例 319 %7|9sQ: 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 &Xf}8^T<V 15.6.2 反演工程提取折射率 327 YPxM<Gfa8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 WlU0:(d 16.1 光学性质的热致偏移 329 q<M2,YrbAI 16.2 应力工具 335 AIZ]jq 16.3 均匀性误差 339 v?geCe=ng 16.3.1 圆锥工具 339 &v@a5 L 16.3.2 波前问题 341 vam;4vyu 16.4 参考文献 343 \kZ? 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ez|)ph7 17.1 引言 345 vX.VfY 17.2 操作数 345 mHRiugb! 18 如何在Function中编写脚本 351 }~L.qG 18.1 简介 351 :>5@cvc 18.2 什么是脚本? 351 -qGa]a 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ;=MU';o 18.4 基础 352 y+NN< EY@ 18.4.1 Classes(类别) 352 yU*8|FQbP 18.4.2 对象 352 A*\.NTM 18.4.3 信息(Messages) 352 d$1@4r 18.4.4 属性 352 M!o##* *` 18.4.5 方法 353 Te[n,\Nb 18.4.6 变量声明 353 F'21jy& 18.5 创建对象 354 BI%$c~wS 18.5.1 创建对象函数 355 e~=;c 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 @u6B;)'l 18.5.3 丢弃对象 356 p;>ec:z3M 18.5.4 总结 356 %V7at7>o 18.6 脚本中的表格 357 cPlZXf 18.6.1 方法1 357 'DCTc&J[' 18.6.2 方法2 357 3ca (i/c 18.7 2D Plots in Scripts 358 ~UP[A'9jJ 18.8 3D Plots in Scripts 359 MDn ua 18.9 注释 360 7fZDsj: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 gi1^3R[ 18.11 一个更高级的脚本 362 Q ~#Wf? 18.12 <esc>键 364 &OH={Au 18.13 包含文件 365 X4~y7 18.14 脚本被优化调用 366 Fj2BnM3# 18.15 脚本中的对话框 368 cQ
R]le%( 18.15.1 介绍 368 _uy44;zq 18.15.2 消息框-MsgBox 368 \"P%`C 18.15.3 输入框函数 370
f*?]+rz 18.15.4 自定义对话框 371 Po^?QVJ7 18.15.5 对话框编辑器 371 ?67Y-\} 18.15.6 控制对话框 377 !$gR{XH$] 18.15.7 更高级的对话框 380 wfLaRP 18.16 Types语句 384 +V{kb<P 18.17 打开文件 385 L 0TFo_ 18.18 Bags 387 4O^xY
6m 18.13 进一步研究 388 lR6@
xJd:@ 19 vStack 389 KW pVw! 19.1 vStack基本原理 389 %]} 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 A P?R"% 19.3 五棱镜 393 ia!y!_L\' 19.4 光束距离 396 Ng2twfSl$ 19.5 误差 399 vN;N/mL 19.6 二向分色棱镜 399 r@H /kD 19.7 偏振泄漏 404 &]|?o_p3W 19.8 波前误差—相位 405 #lL^?|M 19.9 其它计算参数 405 @@Kp67Iv 20 报表生成器 406 3YOq2pW72G 20.1 入门 406 KPKt^C 20.2 指令(Instructions) 406 2} /aFR 20.3 页面布局指令 406 V]lLw) 20.4 常见的参数图和三维图 407 NJWA3zz
20.5 表格中的常见参数 408 1#< '&Lr 20.6 迭代指令 408 Nk?
^1n$ 20.7 报表模版 408 $r@zs'N 20.8 开始设计一个报表模版 409 bN1|q|9 21 一个新的project 413 *&^Pj%DX 21.1 创建一个新Job 414 t%/&c::(6 21.2 默认设计 415 |4;Fd9q^m 21.3 薄膜设计 416 `EA\u]PwQ 21.4 误差的灵敏度计算 420 ) j#`r/ 21.5 显色指数计算 422 `ts$(u.w 21.6 电场分布 424 "c%0P"u 后记 426 9<6;Hr,>G
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