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K06&.>v_ 内容简介 dr7ry"5Zq Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 L/J)OJe\ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 M$GZK'% 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 4ze4{a^ ji|tc9#6 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ZzO.s$ 目录 RV+0C&0ff Preface 1 VbzW4J_ 内容简介 2 ?`D/#P 目录 i y 4jelg 1 引言 1 rv97Wm+ 2 光学薄膜基础 2 Z\M8DZW8Y 2.1 一般规则 2 !+I!J
s" 2.2 正交入射规则 3 HOAgRhzE 2.3 斜入射规则 6 , 8F(R%v 2.4 精确计算 7 BIjQ8 t 2.5 相干性 8 js\|xfDxP 2.6 参考文献 10 zc#aQ. 3 Essential Macleod的快速预览 10 4ky@rcD 1 4 Essential Macleod的特点 32 2f$6}m'Ad 4.1 容量和局限性 33 n$y)F} .- 4.2 程序在哪里? 33 :CAbGs:56 4.3 数据文件 35 ~<#!yRy>r 4.4 设计规则 35 ]p2M!N,? 4.5 材料数据库和资料库 37 $]yHk
4.5.1材料损失 38 |cE 69UFB 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ta 66AEc9 4.5.2 材料库 41 wtw 4.5.3导出材料数据 43 I=I'O?w 4.6 常用单位 43 AlRng&o~ 4.7 插值和外推法 46 fgSe]q// 4.8 材料数据的平滑 50 !
uyC$8V*l 4.9 更多光学常数模型 54 }[OOkYF#r 4.10 文档的一般编辑规则 55 Bzw!,(u/
" 4.11 撤销和重做 56 Z>H
y+Q4 4.12 设计文档 57 kW@,P.88 4.10.1 公式 58 +MfdZD 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 <X_I` 4.10.3 沉积密度 59 }XiV$[xHd 4.10.4 平行和楔形介质 60 24
i00s|# 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 >)3[CU, 4.10.4 性能 61 hs"=>(P) 4.10.5 保存设计和性能 64 2Y@:Vgg 4.10.6 默认设计 64 AI&Bv 4.11 图表 64 (
o_lH2 4.11.1 合并曲线图 67 ^sp+ sr : 4.11.2 自适应绘制 68 q^_PR| 4.11.3 动态绘图 68 1c}
%_Z/ 4.11.4 3D绘图 69 [l2ds: 4.12 导入和导出 73 6:(*u{ 4.12.1 剪贴板 73 Ok=RhoZZ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Wm/0Y'$r&k 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =hO0@w 4.13 背景 77 2R!1Vl 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ;U=RV& 4.15 生成Rugate 84 F`$V H^%V 4.16 参考文献 91 <I{)p;u1 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 8_S<zE`Ha 5.1 Jobs 92
N{u4 5.2 创建一个新Job(工作) 93 f"j"ZM{~U 5.3 输入材料 94 y%21`y&Os 5.4 设计数据文件夹 95 z;_fO>u: 5.5 默认设计 95 MW^,l=kqW) 6 细化和合成 97 B%c):`w8] 6.1 优化介绍 97 ",c(cYVW 6.2 细化 (Refinement) 98 1{8SKfMdP 6.3 合成 (Synthesis) 100 f<V#Yc(U} 6.4 目标和评价函数 101 8T:|~%Sw 6.4.1 目标输入 102 6p
X[m{ 6.4.2 目标 103 ]F5qXF5 6.4.3 特殊的评价函数 104 8 ]N 6.5 层锁定和连接 104 8v},&rhPQq 6.6 细化技术 104 YI=03}I 6.6.1 单纯形 105 8Q&hhmOnz 6.6.1.1 单纯形参数 106 Y7yh0r_ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 06 kjJ4 6.6.2.1 Optimac参数 108 d?RKobk 6.6.3 模拟退火算法 109 |-Z9-rl 6.6.3.1 模拟退火参数 109 7T]}<aK<c[ 6.6.4 共轭梯度 111 c5?;^a[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 bY4~\cP. 6.6.5 拟牛顿法 112 +1Ha,Ok 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 e5bRi0 6.6.6 针合成 113 2} ,|RQETy 6.6.6.1 针合成参数 114 T [
`t?, 6.6.7 差分进化 114 5G@z l 6.6.8非局部细化 115 @aU%1h5W;l 6.6.8.1非局部细化参数 115 l I&%^> 6.7 我应该使用哪种技术? 116 uP\?y(=" 6.7.1 细化 116 #:{Bd8PS 6.7.2 合成 117 p m+_s]s, 6.8 参考文献 117 OAu?F}O 7 导纳图及其他工具 118
&D
"$N" 7.1 简介 118 sjpcz4|K 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 N5$L),?\y 7.2.1 四分之一波长规则 119 fZ2>%IxG} 7.2.2 导纳图 120 i]:T{2 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 _ECWS fZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Fi+v:L| 7.5 斜入射导纳图 141 ^zv0hGk 2 7.6 对称周期 141 zkXG%I4h 7.7 参考文献 142 x |
= 8 典型的镀膜实例 143 DBuvbq- 8.1 单层抗反射薄膜 145 .0l0*~[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 uFDJRQJ< 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 !Pf_he 8.4 W-膜层 148 TFbMrIF
8.5 V-膜层 149 5CZii=@ 8.6 V-膜层高折射基底 150 }Yt/e-Yg%r 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 CQf!< 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 CzKU;~D=B 8.9 四层抗反射薄膜 153 gVM9*3LH6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 QMoh<[3qu
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 HS"E3s8 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5?+ECxPt 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 5;wA7@ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 +H5=zf2 8.15十五层宽带抗反射膜 159 `+_UG^aeW 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 -POV#1s 8.17 1/4波长堆栈 162 } 5~|h% 8.18 陷波滤波器 163 8_8r{a<xW 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 gPO,Z 8.20 褶皱 165 iUl5yq 8.21 消偏振分光器1 169 8RJXY:% 8.22 消偏振分光器2 171 Tbl~6P 8.23 消偏振立体分光器 172 vT)(#0>z 8.24 消偏振截止滤光片 173 1!,xB]v1Ri 8.25 立体偏振分束器1 174 %N#8D<ULd 8.26 立方偏振分束器2 177 i3~"qbU%z[ 8.27 相位延迟器 178 B#RwW, 8.28 红外截止器 179 4LqJ4jo 8.29 21层长波带通滤波器 180 TwBwqQ)t 8.30 49层长波带通滤波器 181 P;o6rQf 8.31 55层短波带通滤波器 182 8?ldD 8.32 47 红外截止器 183 tbHU(#~ 8.33 宽带通滤波器 184 2GNtO!B. 8.34 诱导透射滤波器 186 J%d\ 7 8.35 诱导透射滤波器2 188 lub(chCE[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 |7Fe~TC 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 L&$ X\\Lv^ 8.35 增益平坦滤波器 193 qgd#BJ= 8.38 啁啾反射镜 1 196 8&g|iG 8.39 啁啾反射镜2 198 *RugVH4 8.40 啁啾反射镜3 199 4.)hC b 8.41 带保护层的铝膜层 200 7=yC*]BH-= 8.42 增加铝反射率膜 201 =Nn&$h l 8.43 参考文献 202 ]O'dwC 9 多层膜 204 {2<A\nW 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 nQ4 s 9.2 内部透过率 204 P6,~0v(S 9.3 内部透射率数据 205 //63?s+ 9.4 实例 206 <fq?{z 9.5 实例2 210 B. Rc s 9.6 圆锥和带宽计算 212 >[TB8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 OZ\ ]6]L 10 光学薄膜的颜色 216 zlC|Sp af 10.1 导言 216 `9QvokD 10.2 色彩 216 S-{3'D[Nj 10.3 主波长和纯度 220 yi`Z(j; 10.4 色相和纯度 221 gJn|G#! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 U 2k^X=yl 10.6 色差 226 CAg\-*P| 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =ML6"jr 10.8 颜色渲染指数 234 .]+Z<5Fo 10.9 色差计算 235 0Lcd@3XL 10.10 参考文献 236 Vy-N3L 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 /Po't(-x 11.1 短脉冲 238 !~5;Jb>s[/ 11.2 群速度 239 L'k) 11.3 群速度色散 241 (=:9pbP 11.4 啁啾(chirped) 245 =Q985)Y& 11.5 光学薄膜—相变 245 b X.S` 11.6 群延迟和延迟色散 246 %Od?(m"& 11.7 色度色散 246 4qq+7B 11.8 色散补偿 249 jbx@ty 11.9 空间光线偏移 256 K5-wuD1 11.10 参考文献 258 $_s"16s 12 公差与误差 260 L{fKZ 12.1 蒙特卡罗模型 260 ~\A(xmW} 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 vZj:\geV 12.2.1 误差工具 267 y/t{*a
12.2.2 灵敏度工具 271 *,g|I8?%VD 12.2.2.1 独立灵敏度 271 NoS|lT 12.2.2.2 灵敏度分布 275 {qO[93yg)/ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 _@I<H\^ 12.3 参考文献 276 Zcq'u
jU 13 Runsheet 与Simulator 277 II$B"- 13.1 原理介绍 277 _:oB#-0
13.2 截止滤光片设计 277 p/jC}[$v 14 光学常数提取 289 Pg[XIfBva 14.1 介绍 289 gMe)\5`\Y 14.2 电介质薄膜 289 5o;M 14.3 n 和k 的提取工具 295 o*OYZ/_L 14.4 基底的参数提取 302 1eue.iuQ 14.5 金属的参数提取 306 $j61IL3+ 14.6 不正确的模型 306 cVjs-Xf7D% 14.7 参考文献 311 7J@iJW],, 15 反演工程 313 hwkm'$} 15.1 随机性和系统性 313 dh r)ra] 15.2 常见的系统性问题 314 >Micc 15.3 单层膜 314 G gmv(! 15.4 多层膜 314 k}T#-Gb 15.5 含义 319 &,B\ig1Jf 15.6 反演工程实例 319 &DoYz[q 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |F)BKo D 15.6.2 反演工程提取折射率 327 'p3JYRT$ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 9
cU]@j}2 16.1 光学性质的热致偏移 329 _;baZ- 16.2 应力工具 335 kSJWXNC 16.3 均匀性误差 339 r;}%} /IX 16.3.1 圆锥工具 339 P|,@En 1! 16.3.2 波前问题 341 .U.Knn 16.4 参考文献 343 }7p`8? 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ktlI(#\% 17.1 引言 345 o6L eC* 17.2 操作数 345 Zpfsh2` 18 如何在Function中编写脚本 351 -4du`dg 18.1 简介 351 TEQs\d 18.2 什么是脚本? 351 ug]WIG7 S
18.3 Function中脚本和操作数对比 351 #R2wt7vE 18.4 基础 352 3[mVPV 18.4.1 Classes(类别) 352 5>z`==N) 18.4.2 对象 352 e}%~S9\UL5 18.4.3 信息(Messages) 352 M7U:UV) 18.4.4 属性 352 8T ?=_| 18.4.5 方法 353 xgsE JE 18.4.6 变量声明 353 fmqHWu*wG 18.5 创建对象 354 D#VUx9kugv 18.5.1 创建对象函数 355 #.1+-^TQk 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 }HdibCAOf 18.5.3 丢弃对象 356 8YroEX[5l 18.5.4 总结 356 3d<Z##`{4 18.6 脚本中的表格 357 sw<GlF" 18.6.1 方法1 357 v|DgRPY 18.6.2 方法2 357 ft |W 18.7 2D Plots in Scripts 358 nPlg5&E 18.8 3D Plots in Scripts 359 ! @EZ 18.9 注释 360 mn5y]:;` 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 b;kgP`%% 18.11 一个更高级的脚本 362 !vd(WKq 18.12 <esc>键 364 }Xa1K;KM{ 18.13 包含文件 365 {'O,G$Ldkr 18.14 脚本被优化调用 366 mdzUL
d5J 18.15 脚本中的对话框 368 |HT5G=dw 18.15.1 介绍 368 bF_SD\/ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "{TVd>9_ 18.15.3 输入框函数 370 @\ udaZc 18.15.4 自定义对话框 371 o03Y w)* 18.15.5 对话框编辑器 371 /6Bm
<k% 18.15.6 控制对话框 377 42E%&DF 18.15.7 更高级的对话框 380 ;ZOu-B]q 18.16 Types语句 384 3^!Y9$y1 18.17 打开文件 385 w|t}.u 18.18 Bags 387 0oT~6BGm 18.13 进一步研究 388 utSW> 19 vStack 389 [2*?b/q3J 19.1 vStack基本原理 389 mz-sazgV 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 l~mC$>f 19.3 五棱镜 393 9E`Laf 19.4 光束距离 396 5t=7- 19.5 误差 399 KE$I!$zO 19.6 二向分色棱镜 399 H6o_*Y 19.7 偏振泄漏 404 3UR'*5|' 19.8 波前误差—相位 405 CdZS"I 19.9 其它计算参数 405 gUa-6@ 20 报表生成器 406 Z'!Ii+'6 20.1 入门 406 $?Dcp^ 20.2 指令(Instructions) 406 9-ei#|Vnt[ 20.3 页面布局指令 406 IjaFNZZC! 20.4 常见的参数图和三维图 407 s~i73Qk/ 20.5 表格中的常见参数 408 >f\$~cp 20.6 迭代指令 408 7T69tQZ< 20.7 报表模版 408 (&o|}"kRq 20.8 开始设计一个报表模版 409 m#Y[EPF=| 21 一个新的project 413 &x"hM 21.1 创建一个新Job 414 0bz':M#k & 21.2 默认设计 415 &s0_^5B0 21.3 薄膜设计 416 Pt=@U: 21.4 误差的灵敏度计算 420 ;{j@ia 21.5 显色指数计算 422 5K#<VU*: 21.6 电场分布 424 r"4&.&6 后记 426 NG+%H1!$_
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