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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Jt@lH  
     2_+>a"8Y  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 pX?3inQP%(  
     a[(OeVQ5  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 O9(z"c  
     Z,A$h>Z  
    所需工具箱子：光栅工具箱 |uqI}6h.  
     &|~7`  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 hEQyaDD;  
     $2?AJ/2r$b  
    建模任务 8Auek#[  
    wG3b{0  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 dD=$$( je  
    L ,dh$F  
    YcN|L&R.  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ]HuB%G|t1V  
     At4\D+J{Vs  
    cR/Nl pX  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 u;-&r'J>  
     2Lf,~EV  
    )Y7H@e\1  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     QL WnP-  
    'bi;Y1:  
    f\]?,  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 :*M?RL@j  
    J* *(7d  
    xR/CP.dg  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 -AdDPWn  
    d +D~NA[M  
    3ic /xy;}  
    X线偏振光模拟结果：
    .d]/:T -0  
    h*k V@Dc  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ~oa}gJl:}-  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 / \w4k  
    *c$[U{Px  
    E EDFyZ  
    Y线偏光模拟结果  $3^M-w  
    4,I,f>V  
    )4L2&e`k)(  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 /Sw~<B!8N  
    结论： ub-3/T  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     wtTy(j,9  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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