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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 X^)5O>>|t  
    U{m:{'np(H  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 an@Ue7  
    u{^Kyo#v  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 )`0 j\  
    HRh".!lxy  
    所需工具箱子:光栅工具箱 2j|Eh   
    Ews Ja3 `  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 CdjGYS  
    =@ RVLml  
    建模任务 Ac%K+Pgk.  
    ppS`zqq $  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ponvi42u  
    4T-AWk  
    oyY,uB.|  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 [sRQd;+  
    '-qc \6UY  
    fx5vaM!  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 z9ZAY!Zhq]  
    .`9KB3  
    v'=APl+_  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    9 R1]2U$|  
    ; o=mL_[  
    mB`r6'#=  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 #(G&%I A|;  
    Q2uE_w`B  
    1-fz564  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 TUt)]"h<  
    sa($3`d  
    dE~ns ,+  
    X线偏振光模拟结果:
    b6ddXM\Z  
    <R$|J|  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 f]ef 1#  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 7+bzCDKU  
    #SmWF|/  
    OWzIea@  
    Y线偏光模拟结果 uVocl,?.L  
    D.~t#a A  
    bB["Qd}Q  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 $qqusa}`K  
    结论: JB7]51WH@  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    qJsEKuOs  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?