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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 X\`_3=  
    $Z!`Hb  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 sT !~J4  
    =!kk|_0%E  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 bV(Y`g  
    2QD3&Q9  
    所需工具箱子:光栅工具箱 0C =3dnp6  
    $*SW8'],`  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 [=E  
    x*![fK  
    建模任务 b=g8eMm  
    dU6ou'p f  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ta35 K"  
    >z/#_z@LV  
    q+Lr"&'Q  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 aO]ZZleNS  
    ~T ]m>A!  
     tR}MrM  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 VeGL)  
    /,89p&h  
    &qMPq->  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    )jU)_To  
    nc~F_i=  
    I CZ4 A{I  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 f*!j[U/r_  
     W,4QzcQR  
    yL%K4$z  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 QP@%(]fG  
    kjW+QT?T&  
    r#+d&.|  
    X线偏振光模拟结果:
    z8jk[5z  
    ^$%S &W  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 {HL3<2=o  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 VCu{&Sh*  
    ?i)f^O  
    }E+!91't.^  
    Y线偏光模拟结果 Fgkajig  
    $$D}I*^Dt  
    U1@IX4^2`  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 y)F;zW<+  
    结论: <A<{,:5C  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    0]>u )%  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?