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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 YW7Pimks  
    );!IGcgF  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 HS@ EV iht  
    0@LC8Bz+'  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 Q^} Ib[  
    Em]2K:  
    所需工具箱子:光栅工具箱 Z!foD^&R  
    TJ_pMU  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 8~j1  
    %/}46z9\  
    建模任务 |E?,hTRe5  
    ]y\Wc0 q  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 0?Bv zfb  
    FByA4VxB  
    S>;+zVF]  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 T?k!%5,Kj  
    aQHB  
    pQCocy  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 )N3XbbV  
    Ux-i iH#s  
    QruclNW{Bv  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    P<C=9@`!  
    n%K^G4k^  
    1)t*l;.  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 bZlKy`Z  
    &HB!6T/  
    lnQY_~s  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。  %X* *(  
    l}_6 _g>6  
    {wh, "Ok_  
    X线偏振光模拟结果:
    BF/l#)$yK  
    ?)O!(=6%'  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 *X\J[$!  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 $!7$0WbC  
    U28frRa  
    ] XjL""EbC  
    Y线偏光模拟结果 8 -YC#&  
    k"F\4M  
    trz &]v=:  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 x(7Q5Uk\  
    结论: cD ?'lB-  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    KD`*[.tT  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?