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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 n0:Y* Op  
    4~8++b1/;  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 |T~C($9  
    ixZ w;+h  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 \e64Us>"x  
    }u0t i"V  
    所需工具箱子:光栅工具箱 Cvr?%+)$M  
    )>$@cH  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 lV/-jkR  
    h\ema|  
    建模任务 @bQf =N+  
    A\9Q gM  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 !fXwX3B  
    > Q+Bw"W<  
    ?'_E$  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 )'BuRN8  
    2?h c94  
    JyY-@GF  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 :<l(l\MC  
    y#Je%tAe 2  
    _,Wb`P  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Sdl1k+u  
    Zb<IZ)i#1  
    c`94a SnV  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 I;]Q}SUsm  
    $gU6=vN1#  
    #'N"<o[  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 E?1"&D m  
    [;3` Aw  
    (he cvJ  
    X线偏振光模拟结果:
    j3`# v3  
    Nf(Np1?;c  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 dGf:0xE"  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ##~";j  
    cs[_5r&:  
    GMqeC  
    Y线偏光模拟结果 >CtT_yhx  
    TxL;qZRY ^  
    eYd6~T[9  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 v o vc,4}  
    结论: Uf#.b2]  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    [jb3lO$Xa  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?