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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Uf+%W;}  
    D. XvG_  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 @Do= k  
    \dQNLLg/  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 P7/X|M z  
    ,s;Uf F  
    所需工具箱子:光栅工具箱 u,4eCxYE$  
    k|d+#u[Mj@  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 u> 7=AlWF-  
    =odFmF  
    建模任务 }RqK84K  
    $iz|\m  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 *4Y V v  
    h9W^[6  
    '2^Q1{ :\  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 IPo?:1x]s  
    #>+HlT  
    cYt!n5w~W  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 1&Zj  
    ]z9=}=If  
    cExS7~*  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Th%Sjgsn  
    a:6m7U)P#5  
    P";'jVcR  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 U/NoP4~{  
    J7p),[>I<  
    ^gnZ+`3  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 V~5jfcd  
    JaGtsi9%.  
    G'A R`"F  
    X线偏振光模拟结果:
    wAW5 Z0D  
    kZ3ThIk%  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 7Jho}5J  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 D}X\Ca"h  
    Dm<A ^u8  
    /t"3!Z?BOv  
    Y线偏光模拟结果 W6/yn  
    B`J~^+`[*  
    )+2hl  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 LSr]S79N1  
    结论: Jze:[MYS  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    mL: sJf  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?