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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    在线infotek
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 H=WB6~8)  
     5"!K8 N  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 o.|36#Fa  
     K%t&a RjS  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 SJLs3iz_)  
     n[y^S3}%;  
    所需工具箱子：光栅工具箱 I~p*~mLh'  
     2Q%M2Ua  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 x N>\t& c  
     }z\t}lven  
    建模任务 =c#mR" 1  
    fo/sA9  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 <~v4BiQ3l^  
    u| "YS-dH  
    @raJB'  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 'aD"v>  
     SbMRrWy  
    J &=5h.G$  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 6fBA #Kb  
     3?h!nVI+2J  
    `2V{]F  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ErsJWp  
    p`U#  
    g?}h*~<b  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 &,l7wK  
    MDd 2B9cy[  
    ix?Z:pIS0  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 &lzCRRnvt  
    ?aTC+\=  
    VRY@}>W'  
    X线偏振光模拟结果：
    ab)ckRC  
    #zSNDv`  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 r<P?F  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 l#+@!2z  
    e(DuJ-  
    /9P7;1?  
    Y线偏光模拟结果 juM~X5b  
    Sv>CVp*  
    m<cv3dbZo  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 TDg<&ND3  
    结论： +8|Xj!!*}  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     iQCs 8hIR  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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