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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 |P`:NAf2  
    ,#hx%$f}d  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 -Ou@T#h"  
    a9niXy}a(  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 Xw]L'+V=  
    gQlL0jAV  
    所需工具箱子:光栅工具箱 HK4 *+  
    R^=[D#*]>  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 gvy c(d  
    {3){f;b  
    建模任务 u ioBI d  
    (@ixV$Y  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 '/~j!H4q9  
    oa:30@HSb  
    /><+[\q4LM  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 @ !m+s~~]h  
    qb?9i-(  
    !)+8:8H'  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 <ecif_a=m  
    25 m!Bf  
     >q^l  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    (^ ;Fyf/  
    yp\s Jc`  
    V>:ubl8j0l  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 2-x#|9  
    ~E*`+kD  
    #P5tTCM  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ^E= w3g&  
    JsyLWv@6xa  
    =6^phZ(  
    X线偏振光模拟结果:
    ' Y cVFi  
    u!DAeE  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 tC4 7P[b  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 2}8xY:|@(U  
    Z0Df~ @  
    <P#]U"?A  
    Y线偏光模拟结果 MO-)j_o-Z  
    '/ v@q]!  
    a^QyYX}\qR  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ?R8wmE[w  
    结论: J-)9>~[E<  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    X0e#w?  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?