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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 lfoPFJ Z  
     G$`hPNSh  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 jJ>I*'w  
     j"0TAYmXwu  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 =+e;BYD#!  
     `=TJw,q  
    所需工具箱子：光栅工具箱 FN0<iL  
     k%RQf0`T  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 o hPXwp?]  
     i .?l\  
    建模任务 o>M&C X+j$  
    P\X$fD  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 >+BLD  
    0@!-+}i  
    &'5 j!  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 b<g9L4s  
     uoY]@.  
    h*NBSvn  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 k1^&;}/f:  
     9&4z4@on  
    G{s q|1  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     7baQ4QY?n  
    grCz@i  
    d _Y7/_i  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 4H%Ai(F}_  
    "qY_O/Eg]]  
    5 .b U2C  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Gy[m4n~Z5  
    d>Np; "  
    [M.!7+$o  
    X线偏振光模拟结果：
    \N]2V(v  
    #c1c%27cmm  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 _E[)_yH'-  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 #F >R5 D  
    I_h&35^t  
    :'gX//b):  
    Y线偏光模拟结果 IsiCHtY9  
    z/S}z4o/  
    [lAZ)6E~=  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 |NWo.j>4-  
    结论： /4 -6V d"8  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     >BlF< d`X  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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