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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 j5yxdjx9  
     )K0BH q7r  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 | rDv!m  
     -%*w&',G  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 vQ/&iAyut  
     -8]M ,,?  
    所需工具箱子：光栅工具箱 P{-f./(JD  
     @+3@Z?!SZ  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 wSMP^kG  
     P,ox) )+6  
    建模任务 A $9^JF0$  
      vZQ'  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 N<\U$\i  
    T!T6M6?  
    *Hnk,?kPq  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 uD2v6x236  
     wlM"Zt  
    Wy2 pa #Q  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Y!8Ik(/~i  
     $RYsqX\v  
    P1Z+XRWOM  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ,c%>M^d  
    8p?Fql}F [  
    ~9OART='  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 h7( R/Rf  
    #sOkD  
    0t-!6  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 "1P>,\Sjg  
    J8T?=%?=  
    c:/ H}2/C  
    X线偏振光模拟结果：
    se)vi;J7K  
    eJ+uP,$  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 RE72%w(oM  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 V'";u?h#S  
    D=w5Lks  
    JY+ N+c\  
    Y线偏光模拟结果 MVGznf?  
    yX}riXe  
    }=':)?'-.  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 cI9}YSk  
    结论： 5AWIk,[  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     :<    
     
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    离线二牛26
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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