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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 nQM7@"R  
    HQtUNtZ  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 r:9H>4m  
    wm s@1~I  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 .aE%z/@s=  
    jS'hs>Ot  
    所需工具箱子:光栅工具箱 =%R|@lz_x  
    Ll'!aar,  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 (]*!`(_b  
    MD=VR(P?eq  
    建模任务 l$eKV(CZ4  
    :j( D&?ao  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ;+4X<)y*>  
    2mVLR;s{_  
    OCYC Dn  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 "RMvWuNt  
    W.VyH|?  
    j aq/]I7  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 NzuH&o][  
    |4u?Q+k%%  
    U&<w{cuA  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    o;M-M(EZQ6  
    G?QU|<mj<  
    t4CI+fqy  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 9G=ZB^  
    LTt| "D  
    1[r;  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 >Gyg`L\  
    5N4[hQrVJ  
    b=j]tb,  
    X线偏振光模拟结果:
    @dp1bkU  
    um$K^  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 NK0hT,_  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ."\&;:ZNv  
    -(YdK8  
    a?QDf5C q  
    Y线偏光模拟结果 O`W&`B(*k  
    yNu%D$6u7  
    8GD!]t#  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 KV$J*B Y  
    结论: o4g<[X)  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    8{Id+Q>Vo,  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?