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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 _/wV;h~R  
    Ur*6Gi6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 =m5SK5vLKT  
    vDH>H^9Y  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 ^h{)Gf,+\  
    'Ysx=  
    所需工具箱子:光栅工具箱 rk)##)  
    sg+uBCGB  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 I4&::y^ C  
    >Wz;ySEz  
    建模任务 ezPz<iZ\N  
    ~#kT _*sw)  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 e^ v.)  
    =zyC-;r!  
    }d<}FJ-,  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 c+2FC@q{l  
    gks{\H]  
    U#3J0+!  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 G#MdfKH  
    =b/L?dR.-  
    =+AS/Jq  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    {#)0EzV6  
    6P';DB  
    =C~/7N,lW]  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 8>7& E-  
    4q<=K=F  
    Zfyo-Wk  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 J_FNAdQt  
    23h% < ,  
    K# Jk _"W  
    X线偏振光模拟结果:
    _)\c&.p]f  
    ;&ASkI  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 :H c0b=  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 !%c'$f/  
    VO"("7L  
    -=(!g&0  
    Y线偏光模拟结果 _r2J7&  
    W8]lBh5~:  
    sVl-N&/  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 +). 0cs0k5  
    结论: g H G  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    i F+vl]  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?