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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \ZNUt$\  
     X5[.X()M4  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ,#n$YT7  
     i7rO 5<  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 l9Xz,H   
     1jHugss9|  
    所需工具箱子：光栅工具箱 `Vph=`0  
     ;iA6[uz  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 3|++2Z{},  
     KZeaM  
    建模任务 vs=8x\W  
    iO$Z?Dyg9  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Bs?B\k=  
    tW$Di*h  
    {X r|L  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 Dk ^,iY(u  
     oU|yBs1  
    PMOyZ3  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 0c{-$K}  
     nDG41)|  
    ]2zzY::Sd=  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     9Rf})$o+  
    `1xJ1 z#  
    _;z IH5 H  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 L0^rw|Z%'  
    |.]g&m)y^h  
    YRU1^=v  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 PiL[&_8g  
    P3e}G-Oz  
    3'*}ZDC  
    X线偏振光模拟结果：
    v35!? 5{  
    :o37 V!  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ;\mTm;]G  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 xZ\`f-zL  
    1r:i'cW h  
    mMt~4(5  
    Y线偏光模拟结果 +uqP:z  
    =6YffXa_s  
    UngK9uB~  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 T[(4z@d`5  
    结论： o],z/MPL  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     !C6[m1F  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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