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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 %*6RzJO6  
    >)LAjwhBp  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ) !i!3  
    EJ G2^DSS  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 =c&62;O  
    V7:\q^$  
    所需工具箱子:光栅工具箱 zO%w_7 w  
    6J\q`q(W(  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 \*uugw,\y  
    hcyn  
    建模任务 v;Es^ YI  
    AP0|z  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 Xtkw Z3  
    u#FXW_-TK  
    k {a)gFH O  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ilv_D~|  
    ;u,rtEMy;  
    I0iY+@^5  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 MI\]IQU  
    `gI~|A4  
    9\AS@SH{^T  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    (xL :;  
    Oxv+1Ub<Dv  
    =5ug\S  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 2SciB*5  
    J?IC~5*2  
    VD/&%O8n  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 r{S=Z~J  
    -D#5o,]3  
    NI8~QeGah  
    X线偏振光模拟结果:
    9:-T@u  
    ]YsR E>  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ,E?4f @|X  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 wu2:'y>n  
    b/nOdFO@  
    wWTQ6~Y%d  
    Y线偏光模拟结果 EjSD4  
    y@3kU*-1  
    4 \ F P  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ;g9%&  
    结论: f&c]LH _  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    D#jX6  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?