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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 W(~7e?fO  
    ]7+9>V  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 UNK}!>HD  
    {tE9m@[AF  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 &E& _Z6#  
    _]oNbcbt(  
    所需工具箱子:光栅工具箱 Mk-zeq<2z  
    n-djAhy  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Y)V)g9  
    5?] Dn k.o  
    建模任务 5~,usA*  
    Veeuw  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 tfz"9PV80  
    ,,}& Q%5  
    5/w4[d  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 $"e$#<g  
    (U`<r-n\n  
    zDD  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 7XM:4whw  
    -l(G"]tRB  
    zCz"[9k  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    3Gk\3iU!  
    w20)~&LE-  
    5rX_85]  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 |3]#SqX  
    V*d@@%u**  
     4:Ton  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 K;L6<a A#  
    bukdyo;l  
    =Z /*  
    X线偏振光模拟结果:
    lVptA3F  
     Iz_#wO  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 $cSmubZK  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 v#^_|  
    eeVzOq(  
    i;l0)q  
    Y线偏光模拟结果 %(}%#-X  
    O\X=vh/D  
    F2)\%HR  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 )x& 4 Q=  
    结论: r-e-2y7  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    yd=NafPM  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?