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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 X ^ ?M4  
    6AM-^S@  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 :y>$N(.8f  
    b3>`%?A  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 (?G?9M#7_  
    x&ngCB@O  
    所需工具箱子:光栅工具箱 r )EuH.z  
    _'W en  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 kM#ZpI&0%  
    =B+^-2G8  
    建模任务 4iXB`@k  
    l,I[r$TCf  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ]vFtByqn  
    &<oZl.T  
    9r5<A!1#L  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ^Yz.}a##w2  
    I6q]bQ="  
    ,%bG]5  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 da'7* &/  
    x#-+//  
    T6P9Icv?@7  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    \Q CH.~]  
    eJ=K*t|  
    62}rZVJq  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 -W#-m'Lvu  
    q1|! oQ  
    /C'dW  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 `egyk)"aM  
    ~h:/9q  
    B{In "R8  
    X线偏振光模拟结果:
    {J?#KHF'|  
    ggy 7p44  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 /5PV|o nO  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ]0 g$3  
    Ykt{]#  
    -F]0Py8(  
    Y线偏光模拟结果 )|Ho"VEmg  
    zv Dg1p  
    SWrt4G  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 :~% zX*   
    结论: Ot^<:\< `G  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    4X()D {uR  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?