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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 .;Gx.}ITG6  
    $57Q g1v  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 SJh~4R\  
    z#PaQp5F  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 3Og}_  
    (BxmV1  
    所需工具箱子:光栅工具箱 Zr2T^p5u  
    !vJ$$o6#  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 |?{V-L  
    z_R^C%0k  
    建模任务 [pm IQ228  
    eIF6f& F  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 _4L6  
    R-NM ~gp  
    VY8cy2  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 [ei~Xkzkj  
    "]q xjs^3?  
    0(f+a_2^Q  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 \n,L600`q  
    aZ_3@I{d`  
    Lp(`m=;O  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    V,Nu!$)J  
    %]0?vw:;j  
    ;UpJ_y)n8\  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ^W:a7cMw  
    'SlZ-SdR  
    d|Wqx7t]P  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 0?/gEr  
    0KgP'oWvY  
    c"lwFr9x7  
    X线偏振光模拟结果:
    !i (V.A  
    < B]qqqP  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 2P8wvNDG  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 kw2yb   
    $<2d|;7r  
    g&F$hm  
    Y线偏光模拟结果 a$Ud"  
    e<9 ^h)G  
    )}N:t:rry  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 G93V=Bk=  
    结论: 0wVM% Dng  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    y3 N[F  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?