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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \O;2^  
    A vq+s.h  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 N o6!gZ1  
    nFNRiDx  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 )^ Y+Vn  
    B6Kl_~gT  
    所需工具箱子:光栅工具箱 "vSKj/]  
    s:}? rSI  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 ^sD M>OHp  
    4MzQH-U>/  
    建模任务 (MI>7| ';  
    nf0u:M"fm  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 )Xjn:  
    &\N>N7/1  
    t`"m@  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ={ )85N  
    JP5e=Z<  
    Y/kq!)u;%L  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 b<00 %Z  
    5, 1<A@H  
    FAEF  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
     f\<r1  
    P>C'? 'Q7  
    g0tnt)]  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 !k)6r6  
    l~rj7f;  
    25)9R^  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 p H  y  
    K:a8}w>Up  
    q++r\d^{  
    X线偏振光模拟结果:
    #[#evlr=  
    dtC@cK/,D  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 HU $"o6ap  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ^-_*@e*JE  
    :+,;5  
    U=.PL\  
    Y线偏光模拟结果 `N *:,8j  
    Plp.\N%f3  
    J,yKO(}<C  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ={O ~  
    结论: [s>3xWZ+a  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    R+M=)Z  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?