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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 NL ceBok  
     {\= NZ\  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 MD+ eLA7  
     Rk{2ZUeg  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 /z(s1G.  
     3'`X_C|d53  
    所需工具箱子：光栅工具箱 JDMsco+j5  
     7aN oqS+  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 stCFLYox  
     *-_joAWTG  
    建模任务 kZ 9n@($B  
    jRdW=/q+(  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 j)O8&[y=  
    %{P." ki  
    `VOLw*Ci  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ~/R}K g(  
     _ID =]NJ_  
    -(.\> F  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 <=~'Pd-f(  
      M Xl!  
    *WXqN!:  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Yf^/YLLS  
    =~QC)y_  
    $2*&\/;-E!  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 }(if|skau  
    4> [tjz.?k  
    > qIZ  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 51M'x_8  
    AwGDy +  
    AqP\g k  
    X线偏振光模拟结果：
    `?Xt ,  
    4=n%<U`Z/  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 |a[ :L  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 E;x~[MA  
    d`Em) 3v  
    QWxl$%`89<  
    Y线偏光模拟结果 _^0)T@  
    2$%0~Z5  
    !HHbd |B_  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 gIXc-=Ut  
    结论： H~"XlP  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     [ w1"  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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