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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 KsI[  
    F/;uN5{o  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 7kapa59  
    EJ&[I%jU  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 3gZ|^h6 +  
    g}nlb.b]{m  
    所需工具箱子:光栅工具箱 O}\$E{-  
    b#cXn4<3D  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 & xOEp  
    H SEfpbh  
    建模任务 :/'2@M  
     9')  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 o!6gl]U'y9  
    3}{od$3G  
    Cw"Y=`  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 7,U^v}$   
    j8kax/*[  
    Ia-`x/r*m  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ZaYux-0]kF  
    ?.66B9Lld  
    9C[i#+_3M  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    M]PH1 2Ob  
    :[f2iZ"  
    ./nq*4=  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 # T_m|LN 7  
    7u/_3x1  
    Kp[ F@A#  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 -Bymt[  
    mZLrU<)Y  
    rMkoE7n  
    X线偏振光模拟结果:
    w~EBm=v_>  
    mD @#,B7A  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 yxq+<A4,a  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 #;ez MRKM"  
    /7Z5_q_  
    lt 74`9,f  
    Y线偏光模拟结果 PYWp2V/  
    f?)BAah  
    (dZu&  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 p^1s9CM%  
    结论: )Zx;Z[  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    wxw3t@%mNm  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?