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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 *I0{1cST  
     WN?1J4H  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 |Uz?i7z  
     ;<Dou7=  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 :IFTiq5a;  
     rs$sAa*f  
    所需工具箱子：光栅工具箱 3lc'(ts %  
     ~Uw **PT3M  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 A&#P=m j  
     5gP#V K  
    建模任务 `3!ERQU  
    =4z:Df  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ^ q]BCOfJ(  
    jHPJk8@y  
    k> I;mEV  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 jq{rNxdGx  
     JV|GE n\@N  
    Ea@N:t?(8=  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 yBKkx@o#z  
     {6YLiQ*_  
    cT abZc  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     xX l^\?HC  
    Ug=8:a(U.  
    k~WX6rEJ  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 BJDe1W3;'  
    EB'(%dH  
    ^\kv> WBE  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 W/U&w.$  
    * ";A~XNx  
    f/G YDat  
    X线偏振光模拟结果：
    *9}2Bmojv  
    7MreBs(M  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 *h Ph01  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 I^'kt[P'FZ  
    <7TE[M'  
    is`Eqcj`dr  
    Y线偏光模拟结果 |,F/_    
    W!g'*L/#L  
    L- [<C/`;t  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 kKnz F  
    结论： k WYjqv  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     n0#HPI"  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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