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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 O>>8%=5Q  
     qzyQ2a_p  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 >3Y&jsh<  
     %Mu dc  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 jf2E{48P  
     4i19HD_  
    所需工具箱子：光栅工具箱 IWQ8e$N  
     _6[NYv$"  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ><DE1tG  
     Gce_gZH7{  
    建模任务 [lJ[kr*7  
    EagI)W!s[  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 {oZ]1Qf_  
    RcE%?2l D  
     )Ob{]  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 P6?Q;-\q0  
     OL=bhZ  
    nAYjSE  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 8_ LDS  
     D;E&;vP6%  
    \E30.>%,  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     v ;A  
    [+1 i$d  
    s0h)~z  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 _\<M58/z  
    Ylf4q/-  
    JSL 3.J  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Mu%'cwp$  
    YUH/ tl  
    *Zvw&y*  
    X线偏振光模拟结果：
    <eI;Jph5  
    kDKpuA!  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ZA P+jX;  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 i>~?XVU  
    6 qq7:  
    ibq@0CR  
    Y线偏光模拟结果 4>W`XH  
    oMVwId f  
    WAEKvM4*i0  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 o?3R HP47  
    结论： ^/+sl-6/F  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     )v9[/ ]*P  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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