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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 &PQ{e8w  
    4G;`KqR@  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 vu.S>2Wv  
    ]N(zom_0d  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 .k:&&sAz  
    aIt 0;D  
    所需工具箱子:光栅工具箱 ,f /IG.  
    <>*''^  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 1:{O RX[;  
    / =Uv  
    建模任务 _qzo):G.s  
    nxh/&%  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 A Fm*60C  
    Jn:GA@[I  
    :jKXKY+T  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 VGDEP!)-8  
    ]kplb0`  
    | C2.Zay  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 n%ArA])_&  
    yA>p[F  
    1'U%7#;E  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    1d@^,7MF-  
    k}0  
    wgR@M[]o;  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 `SS~=~WY  
    E~g}DKs_5  
    rgZ rE;*;  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 W lLZtgq  
    Zn 5m.=z  
    W4rw;(\  
    X线偏振光模拟结果:
    B oj{+rE0  
    D>x'3WYR  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 T#^6u)  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 7/OOq=z  
    BLH3$*,H  
    "vRqtEBO@  
    Y线偏光模拟结果 a3 _0F@I  
    S| -{wC%  
    e4W];7_K!  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ZE(RvPW  
    结论: TtjSLkF  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    B l/e>@M  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?