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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 s-v  
    y99mC$"Ee`  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 !/wtYI-`  
    & \f{E\A#  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 V5rS T +  
    z[;z>8|c  
    所需工具箱子:光栅工具箱 ow]053:i  
    [1u-Q%?#  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 (P$H<FtH  
    mWvl 38  
    建模任务 ^f(@gS}?  
    )-. _FOZ6  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 1@-Ns  
    k`N^Vdr  
    GN2Sn` ;  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 j*vYBGD  
    gN"7be&J  
    T~='5iy|  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,KFapz!  
    y_?Me]  
    UNBH  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    g?ULWeZg5  
    .qZI$ l .  
    &e!7Z40w@&  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 q?8| [.  
    pS7w' H  
    a8UwhjFO  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ^RI?ybDd  
    @qYp>|AF  
    H7DJ~z~J  
    X线偏振光模拟结果:
    B]l)++~  
    HKUn`ng  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 sdo [D  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 uwy:t!(j  
    &*aIEa^  
    EU+S^SyZi  
    Y线偏光模拟结果 LBZ+GB  
    VB*oGG  
    3zcU%*  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 W*I(f]8:y`  
    结论: Iepsz  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    V6,H}k   
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?