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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 /t;Kn m  
     O<}KrmUC~  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 X ^\kI1  
     _N2tf/C&=  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 kM o7mkV  
     0<4Sw j3s7  
    所需工具箱子：光栅工具箱 .`5BgX7W  
     o?]g  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 fd&=\~1_$  
     A DW>  
    建模任务 +^tw@b  
    G&f~A;'7k  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 |`c=`xK7'  
    c_+y~X)i  
    D8r=V f  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 B 4my  
     u''~nSR3&  
    8Z1pQx-P2C  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 [;*Vm0>t  
     J[7|Ul1 <  
    _6/q.  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     j+-+<h/(  
    H6! <y-  
    C?h`i ^ >2  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 "JBTsQDj!  
    tc4"huG  
    xZpGSlA  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 I6B4S"Q5<  
    p#6V|5~8  
    !5escR!\D  
    X线偏振光模拟结果：
    \8HLQly|@  
    SeX:A)*ez%  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 q(YFt*(;w  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 @c{rqa v  
    yD n8{uI  
    I nCo[ 8SI  
    Y线偏光模拟结果 QZ:xG:qyk;  
    6*Y>Y&sea  
    &:MfLD J  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 6;^ e  
    结论： [WxRwE  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     <6L=% \X{*  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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