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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 :ok!,QN  
    pU\xzLD  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 C=pPI  
    8*Nt&`@  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 {&Gk.ODI7  
    n[S41809<  
    所需工具箱子:光栅工具箱  G> 5=`  
    \3@2rW"5  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Z"PDOwj5  
    ~]D \&D9=?  
    建模任务 "m\UqQGX  
    b smoLT  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 [M zc^I&  
    b{ubp  
    8Y;zs7Y  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 n=Z[w5  
    Cvu8X&y  
    a#~Z5>{  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 a)yNXn8E_  
    IQIb\OUo!v  
    1\7"I-  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    ct|'I]nB.h  
    5)o-]S>  
    LMhY"/hAXa  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 1V?Sj  
    emDvy2uA#  
    PY3Vu]zD  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 O7#}8-@}<u  
    n3@g{4~  
    sou$qKoG01  
    X线偏振光模拟结果:
    IbNTdg]/F`  
    OYRR'X.E  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 C">=2OO  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 /Vj byRwV  
    ![."xHVeL  
    FlA$G3  
    Y线偏光模拟结果 c 6}xnH  
    ~IN$hKg^  
    H)}1xQ{3F  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ch2e#Jf8  
    结论: 7{/:,  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    z$im4'\c  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?