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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 LKp;sV  
    k{#k:  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 B>>_t2IU  
    WZn;u3,R  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 2t_g\Q  
    ^h2+""  
    所需工具箱子:光栅工具箱 GiX3c^V"1  
    |8~)3P k  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 mj e9i  
     iY$iL<  
    建模任务 U m\HX6  
    {[tmz;C  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 )Jk$j  
    r>ed/<_>m;  
    YcX"Z~O6j=  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 yc?L OW0  
    J-'XT_k:iM  
    4V4S5V  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ^gx~{9`RR  
    ^ '|y^t  
    IMbF]6%p(  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Miw=2F  
    ~Yg) 8  
    y7:f^4  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 qx1Js3%  
    WHBGhU  
    X41Qkf{  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 !Whx^B:  
    8%u|[Si;  
    [<U=)!Swg  
    X线偏振光模拟结果:
    2e1%L,y{W  
    ibZ[U p?  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 @OT$* Qh  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 >SvS(N{  
    &l ]F&-  
    aWRi`poZT  
    Y线偏光模拟结果 $mKExW  
    qS! Lt3+  
    qzvht4  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 h>*3i#  
    结论: o:ow"cOEf  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    ~E8/m_> rU  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?