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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 @ $ 9m>6V  
    ]rKH|i  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 65 NWX8f}  
    m21QN9(i%  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 F@oT7NB/n  
    @:I \\S@bN  
    所需工具箱子:光栅工具箱 _ak.G=  
    3~#ZE;>#  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 *vEU}SxRuv  
    jp"XS  
    建模任务 +*WUH513  
    QJb7U5:B+  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。  eYPt  
    ,%& LG],6  
    Z1 E` I89<  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 EY=\C$3J:  
    bf&.rJ0  
    6yV5Yjs  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 bgkbwE  
    30wYc &H  
    Z_ iQU1  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Nn~tb2\vk  
    ^' edE5  
    $fq-wl-=  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 <T4 7kLI  
    /S-/SF:>g  
    k:&?$  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 hnM9-hqm  
    I_R5\l}O+D  
    o+PQ;Dl  
    X线偏振光模拟结果:
    xF\}.OfWG  
    b6rzHnl{  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 z/Mhu{ttL  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 A,-[/Z K/  
    81%qM7v9H  
    %tklup]LF8  
    Y线偏光模拟结果 Lrm tPnL  
    8VBkIYgb  
    ;@=@N9q K  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 HZ[68T[8b  
    结论: QBN=l\m+  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    *;V2_fWJ@  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?