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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟  ='jT~ \  
     DmcZta8n]  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 /bmN\I  
     :4|4=mkr  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 \U_@S.  
     '3;b@g,  
    所需工具箱子：光栅工具箱 rm_Nn8p,  
     -?a 26o%e  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 q3`u1S7Z7  
     W+* V)tf  
    建模任务 =(^3}x  
    \M-OC5fQv  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 l,).p  
    An@t?#4gxi  
    dRMx[7jVA  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 \)e'`29;  
     *zLMpL_  
    5zJq9\)d+  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Ys7]B9/1O  
     p ll)Y  
    Q b%J8juRf  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     "N#Y gSr  
    4M T 7`sr  
    /wv0i3_e  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 '"Nr,vQo  
    A}!J$V:w]  
    d-%hjy3N  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 2<6UwF  
     !u hT  
    #9s,# }  
    X线偏振光模拟结果：
    W*G<X.Hf  
    Ort(AfW  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 kxCSs7J/  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 $;PMkUE  
    E{@[k%,_  
    SX#&5Ka/  
    Y线偏光模拟结果 Ul# r  
    [>9is=>o.  
    ->jDb/a{C  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 A}^mdw9  
    结论： A}w/OA97RO  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     iDD$pd,e\  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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