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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 h|qTMwPr  
    Htl2CcZ  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 SO @d\H  
    *?bOH5$@Nw  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 x7\b-EC  
    qF'lh  
    所需工具箱子:光栅工具箱 3/_rbPr  
    Q*4{2oQ  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 {Tx"G9  
    =r z7x  
    建模任务 m31l[e  
    rlxZ,]ul  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ymH>] cUm  
    c12mT(+-  
    (D2G.R\pr  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 h</,p49gM  
    S 7pf QF  
    pmda9V4  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Wh).%K(t  
    u}I-#j)wap  
    tofX.oi+C$  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    ;]v{3m  
    M%&1j >d  
    +4L]Z ;k  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 U{1%ldOJ%  
    mIW8K ):  
    |"]#jx*8KC  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 F8xz^UQO  
    gq%U5J"x;J  
    ;|qbz]t2(  
    X线偏振光模拟结果:
    2P35#QI[)  
    }%75 Wety  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 \ -n&z;`  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ,GeW_!Q[  
    Q|KD$2rB  
    r+=%Ag  
    Y线偏光模拟结果 )6 U6~!k  
    B*Z}=$1j  
    pyUzHF0  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 xAwP  
    结论: #W$6[#7=I  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    L"8Z5VHA&&  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?