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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [hU5ooB  
    "Xq.b"N{*  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 h?H:r <  
    <=KtRE>$  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 Wx&gI4~  
    >P*wK9|(  
    所需工具箱子:光栅工具箱 PfKIaW<  
    gGl}~  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 T@c{5a  
    Z6G>j  
    建模任务 *G|w#-\.c  
    tjw4.L<r  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 9Tbi_6[  
    \ UCOe  
    fg1_D  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 zX+NhTTB  
     #P8R  
    y#-mj,e  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 %<cfjo  
    *^cJn*QeL  
    S i[:l  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    A*)G . o:  
    go^?F- dZ  
    Ra%" +=  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 g~EJja;  
    /Q Xq<NG  
    ~Dsz9  f  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 wGfU@!m  
    $`L!2  
    #Fx$x#Gc@y  
    X线偏振光模拟结果:
    8I o--Ew3  
    Jr/|nhGl5  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 </,RS5ukn  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 E3X6-J|  
    ^ ,`;x  
    o5(`7XV6D  
    Y线偏光模拟结果 ~s_n\r&23  
    qF9z@a  
    5.st!Lp1  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 i@7b  
    结论: rSGp]W|  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    o/uA_19  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?