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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 MFm2p?zPm  
     &>%9JXU  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 H{j jA+0  
     6'1m3<G_  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 16R0#Q/{+*  
     ww$Ec  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ?mJ&zf|B8  
     I9;,qd%<T  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 &S+o oj  
     $:SSm $k  
    建模任务 rRzc"W}K+  
    lcYjwA  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 rc+}KO  
    rW B/#m  
    1=Nh<FuQ  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 r;c ILS|Xr  
     jQrw^6C  
    tKKQli4Mn4  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 v)J(@>CZ[  
     :J6lJ8w ?  
    zyi;vu  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     !U8n=A#,-  
    |Y&&g=7  
    .-HwT3  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 s'Wu \r'  
    $|%BaEyk  
    >qC,IQ'  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 o-_H+p6a  
    U/l3C(bc!  
    lLi)?  
    X线偏振光模拟结果：
    4RoE>m1[G  
    >s|zr S)  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 .bvEE  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Vx*O^cM  
    {kNV|E  
    pa8R;A70Dl  
    Y线偏光模拟结果 RJk42;]  
    !)$e+o^W  
    !b4v}70,  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 -b$m<\0*  
    结论： )LDBvpJyQ  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     r!e:sJAB.  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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