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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 !}<Y^="  
    SxH b76 ;  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 E7ixl~  
    5ILce%#zL  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 |s=)*DZv  
    iku) otUc  
    所需工具箱子:光栅工具箱 v, 9MAZ,  
    r;SA1n#  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 'f]\@&Np  
    D&$%JT'3  
    建模任务 QF Vy2 q  
     {|a=  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 UhXZ^ k3  
    EN'}+E 8  
    SBZqO'}7  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 Fn1|Wt*  
    }GRZCX>  
    !-)Hog5\  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ;(5b5PA  
    cl/}PmYIZ  
    :[A>O(  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    dJ#mk5= "  
    9/'zk  
    z^'3f!:3  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 |Q[[WHqj2f  
    fIWOo >)D  
    K`Vi5hR~c  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Pm*FA8a7  
    .0}]/%al  
    Z]jm.'@z@  
    X线偏振光模拟结果:
    2guWWFS  
    _vr> -:G  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 E>NRC\^@  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 #0GvL=}k  
    w7+3?'L  
    [Wf%iwB  
    Y线偏光模拟结果 ER-X1fD  
    @|BaZq,g  
    g ]%sX6T  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 'So,*>]63  
    结论: G |033(j  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    `\Z7It?aDs  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?